KR100788389B1 - 배기 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 배기가스의 흐름을 원활하게 하고 응결액을 배출시킬 수 있는 배기 장치에 관한 것으로서, 본 발명의 배기 장치는 배기관 및 유틸리티 배기관의 최하단에 복수의 응결 포집 탱크(Trap Tank)를 각각 연결하여 배기가스를 응결 포집시키고, 상기 배기관과 유틸리티 배기관의 온도차에 의해 발생하는 응결액을 제거할 수 있다.
응결 포집 탱크(Trap Tank)

Description

배기 장치{Exhaust Equipment}
도 1은 종래 기술에 따른 배기 장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면.
도 2는 본 발명에 따른 배기 장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면.
*도면의 주요 부분에 대한 부호설명
101 : 코터 장비 102 : 흡입관
103 : 보조 펌프 104 : 드라이 펌프
105 : 배기관 106a : 제 1 응결 포집 탱크
106b : 제 2 응결 포집 탱크 107 : 소음기
108 : 역류 방지용 밸브 109 : 유틸리티 배기관
110 : 냉각 장치 111 : 밸브
본 발명은 배기 장치에 관한 것으로, 특히 배기가스를 응결 포집하고 응결액을 제거할 수 있는 응결 포집 탱크를 구비한 배기 장치에 관한 것이다.
최근, 액정표시장치는 콘트라스트(contrast) 비가 크고, 계조 표시나 동화상 표시에 적합하며 전력소비가 작다는 장점 때문에, CRT(cathode ray tube)의 단점을 극복할 수 있는 대체수단으로써 점차 그 사용 영역이 확대되고 있다.
일반적으로, 액정표시장치의 액정패널은 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 화소 영역에 박막트랜지스터와 화소전극을 구비한 박막트랜지스터 기판과, 컬러필터층과 공통전극을 구비한 컬러필터 기판과, 상기 두 기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다.
이와 같이 구성된 액정표시장치의 제조공정은 기판 제작공정, 셀 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나눌 수 있다.
먼저, 기판 제작공정은 세정된 유리 기판을 사용하여 각각 박막트랜지스터 제작과 칼라필터 제작 공정으로 나눈다. 따라서, 상기 박막트랜지스터 제작공정은 하부 기판 상에 복수의 박막트랜지스터와 화소전극을 제작하는 공정을 말하는 것이며, 칼라필터 제조공정은 차광막이 형성된 상부 기판 상에 염료나 안료를 사용하여 R. G. B 색상의 칼라필터층을 형성하여 공통전극(ITO)을 형성하는 공정을 일컫는다.
또한, 셀 공정은 박막트랜지스터 공정이 완료된 상기 하부 기판과 칼라필터 공정이 완료된 상기 상부 기판의 두 기판 사이에 일정한 간격이 유지되도록 스페이서를 산포하고 합착한 후 액정을 주입하여 액정표시장치 셀을 제조하는 공정이며, 마지막으로 모듈 공정은 신호처리를 위한 회로부를 제작하고 박막트랜지스터 액정표시장치 패널과 신호처리 회로부를 연결시켜 모듈을 제작하는 공정이다.
여기서, 상기 기판 제작공정은 실리콘 반도체 제조공정과 유사하여 기판 상에 증착된 박막을 패터닝(Patterning)하기 위해 사진(Photolithography), 식각(Etching), 세정(Cleaning)과 같은 단위공정이 이루어지는 데, 이와 같은 단위 공정은 상기 박막의 형성에 따라 다수의 반복 작업을 요한다.
이와 같은 단위 공정은 상기 박막이 증착된 기판 상에 PR(Photo-Resistor)을 먼저 패터닝시킨 다음 상기 박막을 식각한 후 상기 PR을 제거하여 상기 박막을 패터닝시키는 방법으로 이루어진다. 특히, 상기 PR의 패터닝은 상기 박막을 정확하게 패터닝하기 위한 기초작업으로 액정표시장치 제조공정에 없어서는 안될 중요한 공정단계이다.
이러한 상기 PR 패터닝 공정은 기판 상에 상기 PR을 균일하게 코팅(Coating)한 후, 상기 PR 상에 이미 제작된 마스크(Mask)를 얼라인(Align)시켜 자외선을 노광시킨 다음, 상기 자외선에 의해 노광된 부분과 노광되지 않은 부분을 차이를 두어 현상시킴으로써 이루어진다.
즉, 상기 PR은 솔벤트에 용해되어 액상에서 스핀 코터(Spin Coater)를 이용하여 상기 기판 전면에 코팅한 후 상기 기판에 균일하게 코팅된 액상의 상기 PR을신속히 굳히고 경화시키기 위해 진공 건조 및 상온보다 높은 온도에서 소프트 베이킹(Soft Baking)을 실시한다.
이때, 상기 진공 건조 및 소프트 베이킹 공정은 저진공 상태에서 상기 기판 상에 코팅된 액상의 상기 PR을 빠르게 굳히기 위해 휘발성이 강한 솔벤트를 기화시킨다. 이와 같은 상기 PR의 진공건조 공정은 진공펌프를 이용하여 일정시간동안 저진공 상태를 유지시킬 수 있는 배기 장치를 필요로 한다.
이하, 종래 기술의 배기 장치에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 종래 기술에 따른 배기 장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래 기술의 배기 장치는 PR을 건조하기 위한 일체의 코터(Coater)장비(11)로부터 흡입관(10)을 통하여 배기가스를 1차로 펌핑하는 보조 펌프(Booster Pump)(13)와, 상기 보조 펌프(13)의 하부에 직렬로 연결되어 상기 보조 펌프(13)의 펌핑보다 강한 2차 펌핑을 하는 드라이 펌프(Dry Pump)(15)와, 상기 드라이 펌프(15)의 배기관(21a)에 의해 연결되어 상기 보조 펌프(13) 및 드라이 펌프(15)의 동작에 의한 소음을 감소시키기 위한 소음기(17)와, 상기 소음기(17)와 직렬로 연결되어 배기관(21a)을 따라 배출되는 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류 방지용 체크 밸브(Check Valve)(19)를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 보조 펌프(13) 및 드라이 펌프(15)는 배기가스를 흡입하고, 상시 가동되기 때문에 과열될 수 있으므로 냉각 장치(23)를 이용하여 냉각수를 순환시킴으로써 냉각시킬 수 있다.
삭제
또한, 상기 배기가스는 솔벤트 및 수분 등의 물질로 이루어져 있으며, 상기 코터 장비(11)로부터 상기 보조 펌프(13), 드라이 펌프(15), 소음기(17) 및 역류 방지용 밸브(19)가 연결되는 배기관(21a)을 따라 상기 배기가스를 대기중으로 방출하기 위한 유틸리티 배기관(Utility Exhaust)(21b)으로 전달된다.
따라서, 종래 기술의 배기 장치는 상기 보조 펌프(13) 및 드라이 펌프(15)를 이용하여 상기 배기 가스를 펌핑함로써 상기 코터 장비(11) 내에 진공을 유지할 수 있고, 특히, 드라이 펌프(15)에 의해 상기 배기 가스를 배기관(21a) 및 유틸리티 배기관(21b)으로 압송시킬 수 있다.
하지만, 종래 기술에 따른 배기 장치는 다음과 같은 문제점이 있다.
첫째, 종래 기술의 배기 장치는 수직으로 연결된 상기 보조 펌프(13) 및 드라이 펌프(15)에 의해 흡입 및 가열되는 배기가스가 배기관(21a)을 통과할 경우 상기 배기관(21a)과의 온도차에 의해 상기 배기관(21a) 내벽에 응결됨으로써 이와 같은 응결액에 의해 배기관(21a)을 막을 뿐만 아니라, 다량의 상기 응결액의 발생으로 인해 상기 보조 펌프(13) 및 드라이 펌프(15)를 손상시킬 수 있다.
둘째, 종래 기술의 배기 장치는 상기 소음기(17)의 흡음재에 흡수된 배기가스가 응결되고 이와 같이 형성된 응결액이 상기 드라이 펌프(15)로 유입되어 상기 드라이 펌프(15)를 손상시킬 수 있다.
셋째, 종래 기술의 배기 장치는 상기 역류 방지용 체크 밸브(19)를 통하여 배기된 고온의 배기가스가 상기 유틸리티 배기관(21b)과의 온도차에 의해 상기 유틸리티 배기관(21b)의 내벽에 응결되고 이와 같이 형성된 응결액이 상기 유틸리티 배기관(21b) 및 역류 방지용 체크 벨브(19)에 고이게 되기 때문에 상기 드라이 펌프(15)가 상기 배기가스를 압송시키기 어려워져 상기 드라이 펌프(15) 및 보조 펌프(13)에 과부하가 걸릴 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 상기 배기관 및 유틸리티 배기관의 최하단에 복수의 응결 포집 탱크(Condensation Trap Tank)를 각각 연결하여 배기가스를 응결 포집시키고, 상기 배기가스와 배기관간의 온도차 및 상기 배기가스와 유틸리티 배기관간의 온도차에 의해 각각 발생하는 응결액을 제거할 수 있는 배기 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 배기 장치는, PR 코터 장비로부터 복수의 펌프에 의해 배기된 가스를 압송하기 위한 배기관과, 상기 배기관으로 전달된 배기가스를 대기중으로 배출하기 위한 유틸리티 배기관과, 상기 배기관과 상기 유틸리티 배기관의 최하단에 형성된 복수의 응결 포집 탱크를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 배기 장치는 상기 배기관 및 유틸리티 배기관의 최하단에 복수의 응결 포집 탱크(Trap Tank)를 각각 연결하여 배기가스를 응결 포집시키고, 상기 배기가스와 배기관간의 온도차 및 상기 배기가스와 유틸리티 배기관간의 온도차에 의해 각각 발생하는 응결액을 제거할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 배기 장치의 바람직한 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 따른 배기 장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 배기 장치는 PR을 건조하기 위한 일체의 코터(Coater)장비(101)로부터 흡입관(102)을 통하여 배기가스를 1차로 펌핑하는 보조 펌프(Booster Pump)(103)와, 상기 보조 펌프(103)의 하부에 직렬로 연결되어 상기 보조 펌프(103)의 펌핑보다 강한 2차 펌핑을 하는 드라이 펌프(Dry Pump)(104)와, 상기 드라이 펌프(104) 하부의 배기관(105)에 연결되어 상기 배기가스를 응결 포집하기 위한 제 1 응결 포집 탱크(106a)와, 상기 제 1 응결 포집 탱크(106a)의 상부에 형성되어 상기 보조 펌프(103) 및 드라이 펌프(104)의 동작에 의한 소음을 감소시키기 위한 소음기(107)와, 상기 소음기(107)와 직렬로 연결되어 상기 배기관(105)을 따라 배출되는 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류 방지용 체크 밸브(Check Valve)(108)를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 소음기(107) 및 역류 방지용 체크 밸브(108)를 통하여 압송된 배기가스를 대기중으로 배출하기 위한 유틸리티 배기관(109)과, 상기 유틸리티 배기관(019)에 연결되고, 상기 유틸리티 배기관(109)의 최하부에 형성된 제 2 응결 포집 탱크(106b)를 더 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 보조 펌프(103) 및 드라이 펌프(104)는 배기가스를 흡입하고, 상시 가동되기 때문에 과열될 수 있으므로 냉각 장치(110)를 이용하여 냉각수를 순환시킴으로써 냉각시킬 수 있다.
또한, 상기 제 1 및 제 2 응결 포집 탱크(106a)(106b)에는 상기 두 응결 포집 탱크, 배기관(105) 및 유틸리티 배기관(109)의 내벽에서 응결된 응결액을 배출시키기 위한 밸브(111)가 형성되어 있다.
삭제
이와 같이 구성된 본 발명의 배기 장치의 구성요소는 위치를 달리하여 형성될 수도 있다. 하지만, 상기 제 1 및 제 2 응결 포집 탱크(106a)(106b)는 상기 배기관(105)과 상기 유틸리티 배기관(109)의 내벽에서 응결된 상기 응결액을 배출시키기 위해 상기 배기관(105)과 상기 유틸리티 배기관(109)의 최하단에 위치함이 바람직하다.
상기 배기가스는 솔벤트 및 수분 등을 주성분으로 하며, 상기 코터 장비(101)로부터 상기 보조 펌프(103), 상기 드라이 펌프(104)로 흡입되고, 상기 드라이 펌프(104)의 압송으로 인해 상기 배기관(105)를 통하여 상기 제 1 응결 포집 탱크(106a), 상기 소음기(107), 역류 방지용 밸브(108) 및 제 2 응결 포집 탱크(106b)를 거쳐 상기 배기가스를 대기중으로 방출하기 위한 유틸리티 배기관(Utility Exhaust)(109)으로 전달된다.
이때, 상기 보조 펌프(103)와 상기 드라이 펌프(104)의 펌핑에 의해 상기 배기가스의 온도가 상승 할 수 있다. 이와 같이 가열된 상기 배기가스는 상기 제 1 및 제 2 응결 포집 탱크(106a)(106b)와의 온도차이에 의해 상기 제 1 및 제 2 응결 포집 탱크(106a)(106b)에 응결 포집될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 배기 장치는 상기 배기관(105) 및 유틸리티 배기관(109)의 최하단에 복수의 응결 포집 탱크(Trap Tank)(106a)(106b)를 각각 연결하여 배기가스를 응결 포집시키고, 상기 배기가스와 배기관(105)간의 온도차 및 상기 배기가스와 유틸리티 배기관(109)간의 온도차에 의해 발생하는 응결액을 제거할 수 있다.
상기와 같은 본 발명의 배기 장치는 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 본 발명의 배기 장치는 보조 펌프 및 드라이 펌프의 하부의 배기관에 연결된 응집 포집 탱크를 이용하여 배기가스를 응결 포집할 수 있기 때문에 상기 배기가스의 흐름을 원활하게 할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 소음기의 흡음제에 의해 응결된 응결액을 상기 제 1 응결 포집 탱크에서 저장 후 제거시킬 수 있기 때문에 상기 응결액으로부터 상기 드라이 펌프를 보호할 수 있다.
둘째, 본 발명의 배기 장치는 제 2 응결 포집 탱크를 구비하기 때문에 배기가스와 유틸리티 배기관의 온도차에 의해 상기 유틸리티 배기관의 내벽에 발생하는 응결액을 제거시켜 역류 방지용 밸브를 보호할 수 있다.

Claims (3)

  1. PR 코터 장비로부터 복수의 펌프에 의해 배기된 가스를 압송하기 위한 배기관과,
    상기 배기관으로 전달된 배기가스를 대기중으로 배출하기 위한 유틸리티 배기관과,
    상기 배기관과 상기 유틸리티 배기관의 최하부에 형성되어 상기 배기가스를 응집하는 복수의 응결 포집 탱크를 포함하는 것을 특징으로 하는 배기 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 응결 포집 탱크는 상기 배기가스와 상기 배기관 및 유틸리티 배기관과의 온도차에 의해 발생하는 응결액을 배출시키기 위한 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 배기 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 배기관은 상기 펌프의 소음을 감소시키기 위한 소음기와 상기 배기가스의 역류를 방지하기 위한 역류 방지용 체크 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배기 장치.
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