KR970062062A - 기판 피복 장치용 증착기 셔틀 - Google Patents

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페. 좀머캄프, 에. 튜테
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Abstract

편평하고 길이방향으로 연장된 트로프형 부분(8)으로 이루어지고, 직접적인 전류의 통과에 의해 가온되며, 이를 위해 트로프형 부분(8)의 양쪽에 서로 대향하여 위치하는 말단에 각각 대략 직사각형의 수직 연장된 접촉평면(9, 10)이 있고, 이들 평면은 트로프형 부분(8)의 고정 및 전류 통과를 위해 서로 평행한 고정장소를 형성하는 진공 피복 챔버내 전기 전도성 재료로 이루어진 기판의 피복장치용 증착기 셔틀에 있어서, 트로프형 부분(8)에 증착시킬 제품을 수용하기 위해 하나 이상의 서로 후속적으로 위치하여 배열된 부분(11, 11'…)이 제공되며, 이때 각각의 부분(11, 11'…)의 전방과 후방의 트로프형 부분(8)에 천공부(7, 12, 12'…) 또는 구멍이 있는 것을 특징으로 하는 증착기 셔틀을 개시한다.

Description

기판 피복 장치용 증착기 셔틀
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 제품을 용융 및 증착시키기 위해 일렬로 서로 후속적으로 위치하는 영역이 장착된 본 발명에 따른 셔틀의 평면도이다.

Claims (4)

  1. 편평하고 길이방향으로 연장된 트로프형 부분(3, 8)으로 이루어지고, 직접적인 전류의 통과에 의해 가온되며, 이를 위해 트로프형 부분(3, 8)의 양쪽에 서로 대향하여 위치하는 말단에 각각 대략 직사각형의 수직 연장된 접촉평면(4, 5, 9, 10)이 있고,이들 평면은 트로프형 부분(3, 8)의 고정 및 전류 통과를 위해 서로 평행한 고정장소를 형성하는 진공 피복 챔버내 전기 전도성 재료로 이루어진 기판의 피복장치용 증착기 셔틀에 있어서, 트로프형 부분(3, 8)에 증착시킬 제품을 수용하기 위해 하나 이상의 서로 후속적으로 위치하여 배열된 부분(6, 11, 11'…)이 제공되며, 이때 각각의 부분(6, 11, 11'…)의 전방과 후방의 트로프형 부분(3, 8)에 천공부(7, 7'…12, 12'…) 또는 구멍이 있는 것을 특징으로 하는 증착기 셔틀.
  2. 제1항에 있어서, 하나 이상의 증착 영역 또는 부분(6, 11, 11…)이 편평한 트로프형 부분(3, 8)의 표면상에 셔틀의 길이방향으로 연장된 함몰부 또는 오목부(13, 14)에 제공되는 것을 특징으로 하는 증착기 셔틀.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 천공부가 서로 인접하고 서로 평행하게 배열된 수직 구멍(7, 7'…12, 12'…)의 군으로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착기 셔틀.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 트로프형 부분(3, 8)에 대략 평행 파이프 형태를 나타내고 그 부분(3, 8)의 두께(D) 대 그 부분의 표면에 존재하는 함몰부(13, 14)의 깊이 (T)의 비가 5인 것을 특징으로 하는 증착기 셔틀.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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