JPH09235665A - 基板をコーティングする装置のための蒸発器ボート - Google Patents
基板をコーティングする装置のための蒸発器ボートInfo
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- JPH09235665A JPH09235665A JP9043145A JP4314597A JPH09235665A JP H09235665 A JPH09235665 A JP H09235665A JP 9043145 A JP9043145 A JP 9043145A JP 4314597 A JP4314597 A JP 4314597A JP H09235665 A JPH09235665 A JP H09235665A
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- JP
- Japan
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- tank
- evaporator
- shaped part
- evaporator boat
- coating
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
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- Organic Chemistry (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 真空コーティング室内で基板をコーティ
ングする装置のための蒸発器ボートであって、導電性材
料から成る扁平な縦長の槽状部分から成っており、この
槽状部分が直接的な通電により加熱可能であり、このこ
とのために、槽状部分の、直径方向で互いに対向して位
置する両方の端部に、それぞれほぼ方形の鉛直に延びる
接触面が設けられており、これらの接触面が槽状部分の
保持のための互いに平行な締付け箇所と通電部とを形成
している形式のものにおいて、槽状部分に、蒸発させる
べき物質を受容するための単数又は複数の互いに並んで
位置する部位が設けられており、さらに、槽状部分がそ
れぞれの部位の前後に切欠又は孔を備えている。 【効果】 均一なコーテングが得られる。
ングする装置のための蒸発器ボートであって、導電性材
料から成る扁平な縦長の槽状部分から成っており、この
槽状部分が直接的な通電により加熱可能であり、このこ
とのために、槽状部分の、直径方向で互いに対向して位
置する両方の端部に、それぞれほぼ方形の鉛直に延びる
接触面が設けられており、これらの接触面が槽状部分の
保持のための互いに平行な締付け箇所と通電部とを形成
している形式のものにおいて、槽状部分に、蒸発させる
べき物質を受容するための単数又は複数の互いに並んで
位置する部位が設けられており、さらに、槽状部分がそ
れぞれの部位の前後に切欠又は孔を備えている。 【効果】 均一なコーテングが得られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は真空コーティング室
内で基板をコーティングする装置のための蒸発器ボート
であって、導電性材料から成る扁平な縦長の槽状部分か
ら成っており、この槽状部分が直接的な通電により加熱
可能であり、このことのために、槽状部分の、直径方向
で互いに対向して位置する両方の端部に、それぞれほぼ
方形の鉛直に延びる接触面が設けられており、これらの
接触面が槽状部分の保持のための互いに平行な締付け箇
所と通電部とを形成している形式のものに関する。
内で基板をコーティングする装置のための蒸発器ボート
であって、導電性材料から成る扁平な縦長の槽状部分か
ら成っており、この槽状部分が直接的な通電により加熱
可能であり、このことのために、槽状部分の、直径方向
で互いに対向して位置する両方の端部に、それぞれほぼ
方形の鉛直に延びる接触面が設けられており、これらの
接触面が槽状部分の保持のための互いに平行な締付け箇
所と通電部とを形成している形式のものに関する。
【０００２】
【従来の技術】特に列形蒸発器のための、方形の輪郭平
面を備えた槽状の通電可能な蒸発器ボートは公知であ
り、この蒸発器ボートはその両側の鉛直な狭幅側もしく
は端面に締付け面を備えており、この締付け面により蒸
発器ボートがボート保持体に支持されている。
面を備えた槽状の通電可能な蒸発器ボートは公知であ
り、この蒸発器ボートはその両側の鉛直な狭幅側もしく
は端面に締付け面を備えており、この締付け面により蒸
発器ボートがボート保持体に支持されている。
【０００３】帯状の基板を真空コーティング室内で連続
コーティングするための旧式の装置では、蒸発器バンク
により形成されていて互いに平行にかつ帯材走行方向に
沿ってほぼ同じ相互間隔で配置されたほぼ同じ大きさ及
び形状の蒸発器ボートが設けられており、さらに、この
蒸発器ボートは全体として導電性のセラミックから形成
されており、かつ直接的な通電により加熱可能であり、
かつ蒸発させるべき線材を連続供給するための装置を備
えており、個々の蒸発器ボートがそれぞれ互いにずれて
配置されており、さらに、すべての蒸発器ボートが共通
して、帯材走行方向に対して直角に延びる１つの狭いコ
ーティング区域をカバーしている。
コーティングするための旧式の装置では、蒸発器バンク
により形成されていて互いに平行にかつ帯材走行方向に
沿ってほぼ同じ相互間隔で配置されたほぼ同じ大きさ及
び形状の蒸発器ボートが設けられており、さらに、この
蒸発器ボートは全体として導電性のセラミックから形成
されており、かつ直接的な通電により加熱可能であり、
かつ蒸発させるべき線材を連続供給するための装置を備
えており、個々の蒸発器ボートがそれぞれ互いにずれて
配置されており、さらに、すべての蒸発器ボートが共通
して、帯材走行方向に対して直角に延びる１つの狭いコ
ーティング区域をカバーしている。
【０００４】ずれた配置によりそれぞれの源の相互の交
換作用を軽減せしめ、かつこれによりコーティングの均
一性を改善するというのがこの場合の解決すべき課題で
ある。個々の蒸発器ボート自体は方形横断面を有してお
り、さらに、溶融物を受容するためのシンクは全体とし
て１つの方形の輪郭面を有している。
換作用を軽減せしめ、かつこれによりコーティングの均
一性を改善するというのがこの場合の解決すべき課題で
ある。個々の蒸発器ボート自体は方形横断面を有してお
り、さらに、溶融物を受容するためのシンクは全体とし
て１つの方形の輪郭面を有している。
【０００５】列をなして相前後して配置された複数の直
接加熱式蒸発器を備えた、無端の組織物の連続蒸着のた
めの別の装置（ドイツ連邦共和国特許第９７０２４６号
明細書）では、シンクのための方形の輪郭面を備えた従
来種の蒸発器において蒸発させるべき物質が電流のため
の著しい導体として蒸発器を部分的に短絡し、その結
果、個々のシンクの間に存在する蒸発器部分だけが熱発
生器として役立ち、その結果、不均一なコーティングを
生じるという欠点を排除することが試みられている。こ
の公開された文献によれば、この欠点を解決すべく、蒸
発器の電気抵抗がほぼコンスタントとなり、かつコーテ
ィング室内の蒸発物の装填量と無関係になるように、蒸
発器が個々のシンクの間に蒸発器横断面の減少部を有し
ている。
接加熱式蒸発器を備えた、無端の組織物の連続蒸着のた
めの別の装置（ドイツ連邦共和国特許第９７０２４６号
明細書）では、シンクのための方形の輪郭面を備えた従
来種の蒸発器において蒸発させるべき物質が電流のため
の著しい導体として蒸発器を部分的に短絡し、その結
果、個々のシンクの間に存在する蒸発器部分だけが熱発
生器として役立ち、その結果、不均一なコーティングを
生じるという欠点を排除することが試みられている。こ
の公開された文献によれば、この欠点を解決すべく、蒸
発器の電気抵抗がほぼコンスタントとなり、かつコーテ
ィング室内の蒸発物の装填量と無関係になるように、蒸
発器が個々のシンクの間に蒸発器横断面の減少部を有し
ている。
【０００６】ドイツ連邦共和国特許出願第４０１６２２
５．７号明細書によれば、真空蒸着装置、特に帯材蒸着
装置のための列形蒸発器が開示されており、この真空蒸
着装置は、個々に出力制御可能であると共に通電により
加熱される複数の蒸発器から成っており、これらの蒸発
器が控え状に形成された電気供給導体に当接されてお
り、さらに、この控え状の電気供給導体は列形蒸発器の
全長にわたり延びている１つの導電性支持体により保持
されており、かつ一方の極性の電気供給導体が導電的に
支持体に結合されており、かつ他方の極性の電気供給導
体が絶縁状態でこの支持体を貫通案内されており、かつ
絶縁的に配置された導線に結合されており、さらに、蒸
発器は有利には円筒部分として形成された支承エレメン
トを介して電気供給導体の上方端部又はノーズに支持さ
れており、そのことのために、支承エレメントは導電的
な材料、有利にはセラミックから形成されている。
５．７号明細書によれば、真空蒸着装置、特に帯材蒸着
装置のための列形蒸発器が開示されており、この真空蒸
着装置は、個々に出力制御可能であると共に通電により
加熱される複数の蒸発器から成っており、これらの蒸発
器が控え状に形成された電気供給導体に当接されてお
り、さらに、この控え状の電気供給導体は列形蒸発器の
全長にわたり延びている１つの導電性支持体により保持
されており、かつ一方の極性の電気供給導体が導電的に
支持体に結合されており、かつ他方の極性の電気供給導
体が絶縁状態でこの支持体を貫通案内されており、かつ
絶縁的に配置された導線に結合されており、さらに、蒸
発器は有利には円筒部分として形成された支承エレメン
トを介して電気供給導体の上方端部又はノーズに支持さ
れており、そのことのために、支承エレメントは導電的
な材料、有利にはセラミックから形成されている。
【０００７】この旧式の列形蒸発器は電気供給導体の間
に蒸発器を対状に締付ける問題もしくは蒸発プロセス中
の良好な電気的接触の問題を解決する。しかし、蒸発器
のこの対状の配置では、著しく均一なコーティングの問
題が依然として完全には解決されない。
に蒸発器を対状に締付ける問題もしくは蒸発プロセス中
の良好な電気的接触の問題を解決する。しかし、蒸発器
のこの対状の配置では、著しく均一なコーティングの問
題が依然として完全には解決されない。
【０００８】さらに、真空コーティング室内で基板をコ
ーティングする装置のための蒸発器ボートが公知であり
（ドイツ連邦共和国特許公開第４１３９７９２号明細
書）、この蒸発器ボートは導電性材料から成る扁平な槽
状部分から成っており、さらに、蒸発器ボートは直接的
な通電により加熱可能であり、かつほぼ斜方形又は長斜
方形の輪郭面を有しており、さらに、シンクの形状は蒸
発器ボートの形状に対応しており、かつさらに、蒸発器
ボートの、直径方向で互いに対向して位置する２つの角
隅がそれぞれほぼ方形の鉛直な平面部を備えており、こ
れらの平面部が相共に蒸発器ボートの互いに平行な締付
け面を形成している。
ーティングする装置のための蒸発器ボートが公知であり
（ドイツ連邦共和国特許公開第４１３９７９２号明細
書）、この蒸発器ボートは導電性材料から成る扁平な槽
状部分から成っており、さらに、蒸発器ボートは直接的
な通電により加熱可能であり、かつほぼ斜方形又は長斜
方形の輪郭面を有しており、さらに、シンクの形状は蒸
発器ボートの形状に対応しており、かつさらに、蒸発器
ボートの、直径方向で互いに対向して位置する２つの角
隅がそれぞれほぼ方形の鉛直な平面部を備えており、こ
れらの平面部が相共に蒸発器ボートの互いに平行な締付
け面を形成している。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題とすると
ころは、公知蒸発器もしくは蒸発器装置の欠点を回避す
ると共に、最適なコーティングを可能ならしめるように
蒸発器を改良することにある。
ころは、公知蒸発器もしくは蒸発器装置の欠点を回避す
ると共に、最適なコーティングを可能ならしめるように
蒸発器を改良することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題は本発明によれ
ば、槽状部分に、蒸発させるべき物質を受容するための
単数又は複数の互いに並んで位置する部位が設けられて
おり、さらに、槽状部分がそれぞれの部位の前後に切
欠、有利には鉛直に延びる孔を備えていることにより解
決される。
ば、槽状部分に、蒸発させるべき物質を受容するための
単数又は複数の互いに並んで位置する部位が設けられて
おり、さらに、槽状部分がそれぞれの部位の前後に切
欠、有利には鉛直に延びる孔を備えていることにより解
決される。
【００１１】蒸発させるべき物質の溶融のための、列を
なして互いに前後して配置された多数の区域を備えた蒸
発器ボートでは、個々の部位の間及びそれぞれ最後の部
位の前後に槽状部分が切欠を有していると効果的であ
る。
なして互いに前後して配置された多数の区域を備えた蒸
発器ボートでは、個々の部位の間及びそれぞれ最後の部
位の前後に槽状部分が切欠を有していると効果的であ
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明は種々の実施例を可能なら
しめる。そのうちの２つを以下に図面について詳しく説
明する。
しめる。そのうちの２つを以下に図面について詳しく説
明する。
【００１３】ボート保持体の締付ジョーが冷えている状
態で、従来の蒸発器ボートではこの蒸発器ボートの中央
部で最も熱い区域を有する温度勾配が生じる。ほぼ２〜
３ｃｍの長さ（キャビティの全長が９ｃｍの場合）のこ
の区域を介して、本発明によれば残りのキャビティ面
（シンクの面）に比して単位面積当たり２倍のアルミニ
ウムが蒸発する。
態で、従来の蒸発器ボートではこの蒸発器ボートの中央
部で最も熱い区域を有する温度勾配が生じる。ほぼ２〜
３ｃｍの長さ（キャビティの全長が９ｃｍの場合）のこ
の区域を介して、本発明によれば残りのキャビティ面
（シンクの面）に比して単位面積当たり２倍のアルミニ
ウムが蒸発する。
【００１４】スプラッシュのない蒸発、ひいては“ピン
ホール”のないコーティングを得るためには、予定され
た（最大の）温度が越えられてはならない。この温度は
熱い区域の温度により規定される。このようにして全キ
ャビティ面にわたり平均された蒸発率を得ることができ
る。本発明によれば、温度勾配が軽減され、その結果、
比較的広い区域がこの（最大）温度まで高められること
ができ、これにより、スプラッシュのない比較的大きな
平均蒸発率が生じる。
ホール”のないコーティングを得るためには、予定され
た（最大の）温度が越えられてはならない。この温度は
熱い区域の温度により規定される。このようにして全キ
ャビティ面にわたり平均された蒸発率を得ることができ
る。本発明によれば、温度勾配が軽減され、その結果、
比較的広い区域がこの（最大）温度まで高められること
ができ、これにより、スプラッシュのない比較的大きな
平均蒸発率が生じる。
【００１５】締付ジョー１５，１６による蒸発器ボート
の端面側での締付けが行われている場合、上記目的は、
槽状部分３，８に切欠又は孔７，７′，７′′，
７′′′もしくは１２，１２′，１２′′′の群を配置
することにより、大きな費用なしに達成することができ
る。
の端面側での締付けが行われている場合、上記目的は、
槽状部分３，８に切欠又は孔７，７′，７′′，
７′′′もしくは１２，１２′，１２′′′の群を配置
することにより、大きな費用なしに達成することができ
る。
【００１６】端部の冷却を軽減するためには、蒸発器ボ
ートもしくはその槽状部分３もしくは８が、端面４，５
もしくは９，１０のほぼ２／３のところでだけ締付けら
れると効果的である。横断面の減少により、蒸発器ボー
トは締付け箇所の近くの領域内で比較的高温に加熱され
る。蒸発器ボートの中央部分内では、蒸発されるべき材
料は液滴になることなく溶融されて蒸発する。
ートもしくはその槽状部分３もしくは８が、端面４，５
もしくは９，１０のほぼ２／３のところでだけ締付けら
れると効果的である。横断面の減少により、蒸発器ボー
トは締付け箇所の近くの領域内で比較的高温に加熱され
る。蒸発器ボートの中央部分内では、蒸発されるべき材
料は液滴になることなく溶融されて蒸発する。
【００１７】長い蒸発器ボートでは、それぞれの線材供
給が隣り合う線材供給から熱い区域により分離される。
このようにすれば、従来に比して著しく高い蒸発率がス
プラッシュなしに得られる。長い蒸発器ボートにおいて
蒸発器ボートの長さにわたり種々異なる温度及び濡れに
もとづいて蒸発率の不均一を発生する欠点が排除され
る。蒸発器ボートにおける熱い区域と比較的冷たい区域
との比は、液滴を生じることのない線材の均一な溶融が
それぞれの所望の率のために保証されるように横断面減
少により調整される。
給が隣り合う線材供給から熱い区域により分離される。
このようにすれば、従来に比して著しく高い蒸発率がス
プラッシュなしに得られる。長い蒸発器ボートにおいて
蒸発器ボートの長さにわたり種々異なる温度及び濡れに
もとづいて蒸発率の不均一を発生する欠点が排除され
る。蒸発器ボートにおける熱い区域と比較的冷たい区域
との比は、液滴を生じることのない線材の均一な溶融が
それぞれの所望の率のために保証されるように横断面減
少により調整される。
【００１８】図３に示された長い蒸発器ボートは特別に
長い槽状部分８を備えており、かつ全体で５つの溶融区
域１１，１１′．１１′′．．を有している。換言すれ
ば、溶融すべきもしくは蒸発させるべき材料が５つの線
材切断片の形状でこれらの５つの溶融区域１１，１
１′，１１′′．．に供給され、その場所でそれぞれ
“溶融液湖”（Ｓｃｈｍｅｌｚｓｅｅｎ）を形成し、こ
の溶融液湖から材料が蒸発する。個々の“溶融液湖”又
は溶融区域は図面に楕円の形状で示されている。個々の
溶融区域１１，１１′，１１′′．．の間には３つの孔
１２，１２′，１２′′から成るそれぞれ１つの孔群が
配置されており、これらの孔はその直径に応じて槽状部
分８の横断面を減少せしめる。さらに、孔１２，１
２′，１２′′は槽面に対して鉛直に延びているのが効
果的であるが、しかし槽平面に対して直角にかつ平行に
設けられてもよい。
長い槽状部分８を備えており、かつ全体で５つの溶融区
域１１，１１′．１１′′．．を有している。換言すれ
ば、溶融すべきもしくは蒸発させるべき材料が５つの線
材切断片の形状でこれらの５つの溶融区域１１，１
１′，１１′′．．に供給され、その場所でそれぞれ
“溶融液湖”（Ｓｃｈｍｅｌｚｓｅｅｎ）を形成し、こ
の溶融液湖から材料が蒸発する。個々の“溶融液湖”又
は溶融区域は図面に楕円の形状で示されている。個々の
溶融区域１１，１１′，１１′′．．の間には３つの孔
１２，１２′，１２′′から成るそれぞれ１つの孔群が
配置されており、これらの孔はその直径に応じて槽状部
分８の横断面を減少せしめる。さらに、孔１２，１
２′，１２′′は槽面に対して鉛直に延びているのが効
果的であるが、しかし槽平面に対して直角にかつ平行に
設けられてもよい。
【図１】本発明にもとづく蒸発区域を備えた蒸発器ボー
トであって、直径方向で対向して位置する締付け面の領
域内にそれぞれ１群の孔を備えた実施例を示す平面図で
ある。
トであって、直径方向で対向して位置する締付け面の領
域内にそれぞれ１群の孔を備えた実施例を示す平面図で
ある。
【図２】図１に示す蒸発器ボートの側面図である。
【図３】本発明に基づく蒸発器ボートであって、物質の
溶融及び蒸発のための、列をなして互いに前後して配置
された区域を備えた実施例の平面図である。
溶融及び蒸発のための、列をなして互いに前後して配置
された区域を備えた実施例の平面図である。
【符号の説明】 ３ 槽状部分、 ４，５ 端面（接触面）、 ６
溶融液湖（溶融区域）、 ７，７′，７′′．． 切
欠（孔）、 ８ 槽状部分、 ９，１０端面（接触
面）、 １１，１１′，１１′′．． 溶融区域、
１２，１２′，１２′′．． 切欠（孔）、 １
３，１４ キャビティ（シンク）、１５，１５ 締付ジ
ョー
溶融液湖（溶融区域）、 ７，７′，７′′．． 切
欠（孔）、 ８ 槽状部分、 ９，１０端面（接触
面）、 １１，１１′，１１′′．． 溶融区域、
１２，１２′，１２′′．． 切欠（孔）、 １
３，１４ キャビティ（シンク）、１５，１５ 締付ジ
ョー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヴォルフガング アハトナー ドイツ連邦共和国 マインタール アイヒ ヴァルトシュトラーセ 10 (72)発明者 ギュンター クレム ドイツ連邦共和国 ニッダ アイヒェンド ルフシュトラーセ １
Claims (4)
- 【請求項１】 真空コーティング室内で基板をコーティ
ングする装置のための蒸発器ボートであって、導電性材
料から成る扁平な縦長の槽状部分（３，８）から成って
おり、この槽状部分が直接的な通電により加熱可能であ
り、このことのために、槽状部分（３，８）の、直径方
向で互いに対向して位置する両方の端部に、それぞれほ
ぼ方形の鉛直に延びる接触面（４，５，９，１０）が設
けられており、これらの接触面が槽状部分（３，８）の
保持のための互いに平行な締付け箇所と通電部とを形成
している形式のものにおいて、槽状部分（３，８）に、
蒸発させるべき物質を受容するための単数又は複数の互
いに並んで位置する部位（６，１１，１１′．．．）が
設けられており、さらに、槽状部分（３，８）がそれぞ
れの部位（６，１１，１１′．．．）の前後に切欠
（７，７′，．．．１２，１２′．．．）又は孔を備え
ていることを特徴とする基板をコーティングする装置の
ための蒸発器ボート。 - 【請求項２】 単数又は複数の蒸発区域又は部位（６，
１１，１１′．．．）が、槽状部分（３，８）の上側で
その縦方向に延びる浅いシンク又は凹所（１３，１４）
内に設けられている、請求項１記載の蒸発器ボート。 - 【請求項３】 切欠がそれぞれ互いに並んでかつ互いに
平行に配置された鉛直な一群の孔（７，７′．．．，１
２，１２′）から形成されている、請求項２記載の蒸発
器ボート。 - 【請求項４】 槽状部分（３，８）がほぼ平行六面体状
の形状を有しており、かつ、槽状部分（３，８）の上側
に位置するシンク（１３，１４）の深さ（Ｔ）に対する
槽状部分（３，８）の厚さ（Ｄ）の比がほぼ５である、
請求項１から３までのいずれか１項記載の蒸発器ボー
ト。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19607400A DE19607400C2 (de) | 1996-02-28 | 1996-02-28 | Verdampferschiffchen für eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten |
| DE19607400.2 | 1996-02-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09235665A true JPH09235665A (ja) | 1997-09-09 |
Family
ID=7786598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9043145A Pending JPH09235665A (ja) | 1996-02-28 | 1997-02-27 | 基板をコーティングする装置のための蒸発器ボート |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5788769A (ja) |
| EP (1) | EP0792946A1 (ja) |
| JP (1) | JPH09235665A (ja) |
| KR (1) | KR100247302B1 (ja) |
| CN (1) | CN1067117C (ja) |
| DE (1) | DE19607400C2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4684414B2 (ja) * | 2000-12-27 | 2011-05-18 | 株式会社アドバンテスト | 蒸着装置、蒸着方法、電子ビーム露光装置、偏向装置及び偏向装置の製造方法 |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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