JPH07207434A - 蒸着用ボート - Google Patents
蒸着用ボートInfo
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- JPH07207434A JPH07207434A JP1785894A JP1785894A JPH07207434A JP H07207434 A JPH07207434 A JP H07207434A JP 1785894 A JP1785894 A JP 1785894A JP 1785894 A JP1785894 A JP 1785894A JP H07207434 A JPH07207434 A JP H07207434A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- cavity
- main body
- vapor deposition
- molten metal
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 導電性セラミックスからなる長尺ブロック状
の蒸着用ボート本体（２）の上面に溶融金属保持用の溝
状キャビティ（３）が形成され、上記ボート本体（２）
の長さ方向両端部にそれぞれ電極を取り付けて該ボート
本体（２）を通電するようにした蒸着用ボート（１）に
おいて、上記キャビティ（３）の長さ方向中央部におけ
るボート本体（２）の縦断面積を上記キャビティ（３）
の長さ方向両端部におけるボート本体（１）の縦断面積
よりそれぞれ大きく形成したことを特徴とする蒸着用ボ
ート。 【効果】 本発明の蒸着用ボートによれば、ボート本体
のキャビティ形成部分において可及的に均一な温度分布
を有するため、溶融金属がキャビティ全長に亘って均一
に蒸発し、溶融金属がキャビティからあふれたり突沸し
たりすることがないものである。
の蒸着用ボート本体（２）の上面に溶融金属保持用の溝
状キャビティ（３）が形成され、上記ボート本体（２）
の長さ方向両端部にそれぞれ電極を取り付けて該ボート
本体（２）を通電するようにした蒸着用ボート（１）に
おいて、上記キャビティ（３）の長さ方向中央部におけ
るボート本体（２）の縦断面積を上記キャビティ（３）
の長さ方向両端部におけるボート本体（１）の縦断面積
よりそれぞれ大きく形成したことを特徴とする蒸着用ボ
ート。 【効果】 本発明の蒸着用ボートによれば、ボート本体
のキャビティ形成部分において可及的に均一な温度分布
を有するため、溶融金属がキャビティ全長に亘って均一
に蒸発し、溶融金属がキャビティからあふれたり突沸し
たりすることがないものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属を真空蒸着する際
に用いる通電加熱用のセラミックス製蒸着用ボートに関
する。
に用いる通電加熱用のセラミックス製蒸着用ボートに関
する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
真空蒸着の際に溶融金属を保持するために用いるセラミ
ックス製通電加熱式の蒸着用ボートとしては、図５に示
すように、長尺ブロック状（角柱状）の導電性セラミッ
クスからなる蒸着用ボート本体ａの上面に溶融金属を保
持するための溝状のキャビティｂを形成したものが主と
して用いられている。この蒸着用ボートを使用するに際
しては、図６に示すようにボート本体ａの両端部にそれ
ぞれ電極ｃ，ｃを取り付け、ボート本体ａを通電して発
熱させることにより、蒸着金属源となる金属線ｄを溶融
させるものであるが、この場合、従来の蒸着用ボートに
あっては、図７に示すようにボート本体ａの長さ方向中
央部が高温になり、両端部がそれぞれ低温になるという
温度分布が発生する場合が多い。
真空蒸着の際に溶融金属を保持するために用いるセラミ
ックス製通電加熱式の蒸着用ボートとしては、図５に示
すように、長尺ブロック状（角柱状）の導電性セラミッ
クスからなる蒸着用ボート本体ａの上面に溶融金属を保
持するための溝状のキャビティｂを形成したものが主と
して用いられている。この蒸着用ボートを使用するに際
しては、図６に示すようにボート本体ａの両端部にそれ
ぞれ電極ｃ，ｃを取り付け、ボート本体ａを通電して発
熱させることにより、蒸着金属源となる金属線ｄを溶融
させるものであるが、この場合、従来の蒸着用ボートに
あっては、図７に示すようにボート本体ａの長さ方向中
央部が高温になり、両端部がそれぞれ低温になるという
温度分布が発生する場合が多い。
【０００３】ここで、上記キャビティｂの長さは蒸着の
条件によって様々であるが、キャビティｂが長く形成さ
れ、その長さがボート本体ａの全長の１／２以上の場
合、キャビティｂ内での温度分布の不均一性が問題にな
る。即ち、キャビティｂの長さ方向中央部において蒸着
に使用する金属が蒸発し得るようなボート温度に設定す
ると、キャビティｂの長さ方向両端部においてはボート
温度が低く、このため溶融金属の全てが蒸発することが
できないため、残った溶融金属がキャビティからあふれ
てしまい、また、これとは反対に中央部から離れたキャ
ビティ両端部においても溶融金属が蒸発するための十分
な蒸発速度を得ることができる温度にボート温度を設定
すると、キャビティ中央部では温度が上がり過ぎてしま
い、このため溶融金属の突沸が発生するという問題があ
る。
条件によって様々であるが、キャビティｂが長く形成さ
れ、その長さがボート本体ａの全長の１／２以上の場
合、キャビティｂ内での温度分布の不均一性が問題にな
る。即ち、キャビティｂの長さ方向中央部において蒸着
に使用する金属が蒸発し得るようなボート温度に設定す
ると、キャビティｂの長さ方向両端部においてはボート
温度が低く、このため溶融金属の全てが蒸発することが
できないため、残った溶融金属がキャビティからあふれ
てしまい、また、これとは反対に中央部から離れたキャ
ビティ両端部においても溶融金属が蒸発するための十分
な蒸発速度を得ることができる温度にボート温度を設定
すると、キャビティ中央部では温度が上がり過ぎてしま
い、このため溶融金属の突沸が発生するという問題があ
る。
【０００４】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたもので、キャビティ部分において可及的に均一な温
度分布を有する蒸着用ボートを提供することを目的とす
る。
れたもので、キャビティ部分において可及的に均一な温
度分布を有する蒸着用ボートを提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、導電性セラミックスからなる長尺ブロック
状の蒸着用ボート本体の上面に溶融金属保持用の溝状キ
ャビティが形成され、上記ボート本体の長さ方向両端部
にそれぞれ電極を取り付けて該ボート本体を通電するよ
うにした蒸着用ボートにおいて、上記キャビティの長さ
方向中央部におけるボート本体の縦断面積を上記キャビ
ティの長さ方向両端部におけるボート本体の縦断面積よ
りそれぞれ大きく形成したことを特徴とする蒸着用ボー
トを提供する。
成するため、導電性セラミックスからなる長尺ブロック
状の蒸着用ボート本体の上面に溶融金属保持用の溝状キ
ャビティが形成され、上記ボート本体の長さ方向両端部
にそれぞれ電極を取り付けて該ボート本体を通電するよ
うにした蒸着用ボートにおいて、上記キャビティの長さ
方向中央部におけるボート本体の縦断面積を上記キャビ
ティの長さ方向両端部におけるボート本体の縦断面積よ
りそれぞれ大きく形成したことを特徴とする蒸着用ボー
トを提供する。
【０００６】この場合、溝状キャビティの長さが蒸着用
ボート本体の全長の１／２以上であることが有効であ
り、また蒸着用ボート本体を形成する導電性セラミック
スを窒化硼素と硼化チタンとの混合物で形成することが
好適である。
ボート本体の全長の１／２以上であることが有効であ
り、また蒸着用ボート本体を形成する導電性セラミック
スを窒化硼素と硼化チタンとの混合物で形成することが
好適である。
【０００７】
【作用】本発明の蒸着用ボートは、ボート本体のキャビ
ティ形成部分における断面積をキャビティの長さ方向中
央部で大きく両端部でそれぞれ小さくしたことにより、
キャビティが長く形成され、ボート本体全長の１／２以
上であっても、ボート本体のキャビティ形成部分の温度
分布の不均一性が可及的に改善され、キャビティから溶
融金属があふれたり突沸したりすることが防止されて、
キャビティから溶融金属を均一に蒸発させることができ
る。
ティ形成部分における断面積をキャビティの長さ方向中
央部で大きく両端部でそれぞれ小さくしたことにより、
キャビティが長く形成され、ボート本体全長の１／２以
上であっても、ボート本体のキャビティ形成部分の温度
分布の不均一性が可及的に改善され、キャビティから溶
融金属があふれたり突沸したりすることが防止されて、
キャビティから溶融金属を均一に蒸発させることができ
る。
【０００８】ここで、ボート本体の単位長さ当りの発熱
量はボート本体の断面積に反比例するが、ボート本体に
はキャビティが形成されているため、従来の蒸着用ボー
トは、ボート本体の長さ方向中央部（キャビティの長さ
方向中央部）の断面積が両端部の断面積と比較して小さ
いのが通常であり、このためボート本体の長さ方向中央
部（キャビティの長さ方向中央部）に発熱量が偏ってい
たものである。これに対し、本発明においては、ボート
本体形状をそのキャビティの長さ方向両端部よりも中央
部の断面積を大きくするように形成したものとすること
によって、従来はボート本体の中央部に偏っていた発熱
量をボート本体の長さ方向ほぼ全体に亘って可及的に均
一化することができたものである。
量はボート本体の断面積に反比例するが、ボート本体に
はキャビティが形成されているため、従来の蒸着用ボー
トは、ボート本体の長さ方向中央部（キャビティの長さ
方向中央部）の断面積が両端部の断面積と比較して小さ
いのが通常であり、このためボート本体の長さ方向中央
部（キャビティの長さ方向中央部）に発熱量が偏ってい
たものである。これに対し、本発明においては、ボート
本体形状をそのキャビティの長さ方向両端部よりも中央
部の断面積を大きくするように形成したものとすること
によって、従来はボート本体の中央部に偏っていた発熱
量をボート本体の長さ方向ほぼ全体に亘って可及的に均
一化することができたものである。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例につき図１〜４を参照
して説明する。図１は、本発明の第１実施例に係る蒸着
用ボートを示すもので、この蒸着用ボート１は、長尺略
四角ブロック状の蒸着用ボート本体２の上面にその長さ
方向に沿ってボート本体２全長の１／２以上の長さの四
角浅溝状キャビティ３が上記ボート本体２と該キャビテ
ィ３の長さ方向中央部が互に一致するように形成されて
なるものである。なお、キャビティ３の長さ方向両端側
はそれぞれ上向傾斜面をなしている。
して説明する。図１は、本発明の第１実施例に係る蒸着
用ボートを示すもので、この蒸着用ボート１は、長尺略
四角ブロック状の蒸着用ボート本体２の上面にその長さ
方向に沿ってボート本体２全長の１／２以上の長さの四
角浅溝状キャビティ３が上記ボート本体２と該キャビテ
ィ３の長さ方向中央部が互に一致するように形成されて
なるものである。なお、キャビティ３の長さ方向両端側
はそれぞれ上向傾斜面をなしている。
【００１０】この場合、ボート本体２の底面はその長さ
方向中央部が突出し、該中央部においてボート本体２が
厚肉に形成されていると共に、該突出中央部４より長さ
方向両端部に向うに従い、それぞれボート本体２が漸次
薄肉になるように緩やかなテーパ面をなして形成され、
これによって上記キャビティ３の長さ方向中央部におけ
るボート本体２の縦断面積がキャビティ３の長さ方向両
端部におけるボート本体２の縦面積より大きく形成され
ている。
方向中央部が突出し、該中央部においてボート本体２が
厚肉に形成されていると共に、該突出中央部４より長さ
方向両端部に向うに従い、それぞれボート本体２が漸次
薄肉になるように緩やかなテーパ面をなして形成され、
これによって上記キャビティ３の長さ方向中央部におけ
るボート本体２の縦断面積がキャビティ３の長さ方向両
端部におけるボート本体２の縦面積より大きく形成され
ている。
【００１１】図２は本発明の第２実施例に係る蒸着用ボ
ートを示すもので、このボート１は、その底面に平板状
第１膨出部５が一体に突設されていると共に、この第１
膨出部５の長さ方向中央部に更に平板状第２膨出部６が
一体に突設され、底面が階段状形状を有している。な
お、第１膨出部５の長さ方向両端部はキャビティ３の長
さ方向両端部より内側に位置しており、この第２実施例
においても、上記キャビティ３の長さ方向中央部におけ
るボート本体２の縦断面積がキャビティ３の長さ方向両
端部におけるボート本体２の縦断面積より大きく形成さ
れている。なお、第２実施例のその他の構成は第１実施
例と同様である。
ートを示すもので、このボート１は、その底面に平板状
第１膨出部５が一体に突設されていると共に、この第１
膨出部５の長さ方向中央部に更に平板状第２膨出部６が
一体に突設され、底面が階段状形状を有している。な
お、第１膨出部５の長さ方向両端部はキャビティ３の長
さ方向両端部より内側に位置しており、この第２実施例
においても、上記キャビティ３の長さ方向中央部におけ
るボート本体２の縦断面積がキャビティ３の長さ方向両
端部におけるボート本体２の縦断面積より大きく形成さ
れている。なお、第２実施例のその他の構成は第１実施
例と同様である。
【００１２】図３は、本発明の第３実施例で、この実施
例はボート本体２の底面に長さ方向全長に沿って互に所
定間隔離間する複数個（本実施例では３個）の長溝７が
形成されたものである。この場合、これらの長溝７は、
ボート本体２の長さ方向中央部で最も浅く（実質的に溝
が形成されていない状態）、長さ方向両端部に向うに従
って漸次深くなるように形成され、これによって上記キ
ャビティ３の長さ方向中央部におけるボート本体２の縦
断面積がキャビティ３の長さ方向両端部におけるボート
本体２の縦面積より大きく形成されている。
例はボート本体２の底面に長さ方向全長に沿って互に所
定間隔離間する複数個（本実施例では３個）の長溝７が
形成されたものである。この場合、これらの長溝７は、
ボート本体２の長さ方向中央部で最も浅く（実質的に溝
が形成されていない状態）、長さ方向両端部に向うに従
って漸次深くなるように形成され、これによって上記キ
ャビティ３の長さ方向中央部におけるボート本体２の縦
断面積がキャビティ３の長さ方向両端部におけるボート
本体２の縦面積より大きく形成されている。
【００１３】図４は本発明の第４実施例で、この実施例
は、ボート本体２の底面の長さ方向両端部からそれぞれ
互に所定間隔離間する複数個（本実施例では各３個、計
６個）の溝８，８が形成されたものである。この場合、
上記溝８，８はそれぞれ同一の深さに形成されていると
共に、キャビティ３の長さ方向両端部より内方に延出さ
れており、かつ中央の溝８ａ，８ａが両側の溝８ｂ，８
ｂ，８ｃ，８ｃより長く形成され、これら中央の溝８
ａ，８ａはボート本体２全長のほぼ１／３まで延出され
ており、これによって上記キャビティ３の長さ方向中央
部におけるボート本体２の縦断面積がキャビティ３の長
さ方向両端部におけるボート本体２の縦面積より大きく
形成されている。なお、第３及び第４実施例のその他の
構成は第１実施例と同一である。
は、ボート本体２の底面の長さ方向両端部からそれぞれ
互に所定間隔離間する複数個（本実施例では各３個、計
６個）の溝８，８が形成されたものである。この場合、
上記溝８，８はそれぞれ同一の深さに形成されていると
共に、キャビティ３の長さ方向両端部より内方に延出さ
れており、かつ中央の溝８ａ，８ａが両側の溝８ｂ，８
ｂ，８ｃ，８ｃより長く形成され、これら中央の溝８
ａ，８ａはボート本体２全長のほぼ１／３まで延出され
ており、これによって上記キャビティ３の長さ方向中央
部におけるボート本体２の縦断面積がキャビティ３の長
さ方向両端部におけるボート本体２の縦面積より大きく
形成されている。なお、第３及び第４実施例のその他の
構成は第１実施例と同一である。
【００１４】ここで、キャビティ３の長さ方向中央部に
おけるボート本体２の縦断面積は、キャビティ３の長さ
方向両端部におけるボート本体２の縦断面積の１．１〜
３倍、特に１．５〜２倍とすることが好適である。
おけるボート本体２の縦断面積は、キャビティ３の長さ
方向両端部におけるボート本体２の縦断面積の１．１〜
３倍、特に１．５〜２倍とすることが好適である。
【００１５】また、上記ボート本体２を形成するセラミ
ックスとしては、導電性セラミックスであれば特に限定
されるものではないが、特に窒化硼素と硼化チタンとの
混合物が好ましく、この場合、窒化硼素と硼化チタンと
の混合割合は窒化硼素１００重量部に対して４０〜６０
重量部とすることが好ましい。
ックスとしては、導電性セラミックスであれば特に限定
されるものではないが、特に窒化硼素と硼化チタンとの
混合物が好ましく、この場合、窒化硼素と硼化チタンと
の混合割合は窒化硼素１００重量部に対して４０〜６０
重量部とすることが好ましい。
【００１６】上述した各実施例の蒸着用ボート１は、い
ずれもキャビティ３の長さ方向中央部におけるボート本
体２の縦断面積がキャビティ３の長さ方向両端部におけ
るボート本体２の縦面積より大きく形成されているの
で、ボート本体２の長さ方向両端部に電極を取り付け、
通電した場合、キャビティ３の長さ方向中央部における
ボート本体２の発熱量とキャビティ３の長さ方向両端部
におけるボート本体２の発熱量とがほぼ同じになり、ボ
ート本体２のキャビティ３形成部分の温度分布が可及的
に均一化し、従って、キャビティ３内の溶融金属の蒸発
が均一化するものである。
ずれもキャビティ３の長さ方向中央部におけるボート本
体２の縦断面積がキャビティ３の長さ方向両端部におけ
るボート本体２の縦面積より大きく形成されているの
で、ボート本体２の長さ方向両端部に電極を取り付け、
通電した場合、キャビティ３の長さ方向中央部における
ボート本体２の発熱量とキャビティ３の長さ方向両端部
におけるボート本体２の発熱量とがほぼ同じになり、ボ
ート本体２のキャビティ３形成部分の温度分布が可及的
に均一化し、従って、キャビティ３内の溶融金属の蒸発
が均一化するものである。
【００１７】なお、本発明は上記実施例に制限されるも
のではなく、ボート本体の断面積を中央部側で大きく、
両端側で小さくする手段として、ボート本体の厚さを変
化させたり、底面に溝を形成するなどの上述した実施例
以外の手段を採用し得、その他の構成についても本発明
の要旨を変更しない範囲で種々変更して差し支えない。
のではなく、ボート本体の断面積を中央部側で大きく、
両端側で小さくする手段として、ボート本体の厚さを変
化させたり、底面に溝を形成するなどの上述した実施例
以外の手段を採用し得、その他の構成についても本発明
の要旨を変更しない範囲で種々変更して差し支えない。
【００１８】
【発明の効果】本発明の蒸着用ボートによれば、ボート
本体のキャビティ形成部分において可及的に均一な温度
分布を有するため、溶融金属がキャビティ全長に亘って
均一に蒸発し、溶融金属がキャビティからあふれたり突
沸したりすることがないものである。
本体のキャビティ形成部分において可及的に均一な温度
分布を有するため、溶融金属がキャビティ全長に亘って
均一に蒸発し、溶融金属がキャビティからあふれたり突
沸したりすることがないものである。
【図１】本発明の第１実施例を示し、（Ａ）は平面図、
（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図である。
（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図である。
【図２】本発明の第２実施例を示し、（Ａ）は平面図、
（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図である。
（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図である。
【図３】本発明の第３実施例を示し、（Ａ）は平面図、
（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図である。
（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図である。
【図４】本発明の第４実施例を示し、（Ａ）は平面図、
（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図、（Ｄ）は底面図であ
る。
（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図、（Ｄ）は底面図であ
る。
【図５】従来の蒸着用ボートを示し、（Ａ）は上面図、
（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図である。
（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図である。
【図６】従来の蒸着用ボートの使用例を示す正面図であ
る。
る。
【図７】従来の蒸着用ボートにおける温度分布を示すグ
ラフである。
ラフである。
１ 蒸着用ボート ２ 蒸着用ボート本体 ３ キャビティ ４ 突出中央部 ５ 平板状第１膨出部 ６ 平板状第２膨出部 ７ 長溝 ８ 溝
Claims (3)
- 【請求項１】 導電性セラミックスからなる長尺ブロッ
ク状の蒸着用ボート本体の上面に溶融金属保持用の溝状
キャビティが形成され、上記ボート本体の長さ方向両端
部にそれぞれ電極を取り付けて該ボート本体を通電する
ようにした蒸着用ボートにおいて、上記キャビティの長
さ方向中央部におけるボート本体の縦断面積を上記キャ
ビティの長さ方向両端部におけるボート本体の縦断面積
よりそれぞれ大きく形成したことを特徴とする蒸着用ボ
ート。 - 【請求項２】 溝状キャビティの長さが蒸着用ボート本
体の全長の１／２以上である請求項１記載の蒸着用ボー
ト。 - 【請求項３】 蒸着用ボート本体を形成する導電性セラ
ミックスが窒化硼素と硼化チタンとの混合物である請求
項１又は２記載の蒸着用ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1785894A JPH07207434A (ja) | 1994-01-18 | 1994-01-18 | 蒸着用ボート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1785894A JPH07207434A (ja) | 1994-01-18 | 1994-01-18 | 蒸着用ボート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07207434A true JPH07207434A (ja) | 1995-08-08 |
Family
ID=11955363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1785894A Pending JPH07207434A (ja) | 1994-01-18 | 1994-01-18 | 蒸着用ボート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07207434A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2313713B (en) * | 1996-05-31 | 2001-05-30 | Nec Corp | High-density mounting method for and structure of elctronic circuit board |
| JP2012188692A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Panasonic Corp | 蒸着用ボートとこれを使用した成膜方法 |
| CN114127327A (zh) * | 2019-07-17 | 2022-03-01 | 3M创新有限公司 | 用于蒸发金属的蒸发舟 |
-
1994
- 1994-01-18 JP JP1785894A patent/JPH07207434A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2313713B (en) * | 1996-05-31 | 2001-05-30 | Nec Corp | High-density mounting method for and structure of elctronic circuit board |
| JP2012188692A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Panasonic Corp | 蒸着用ボートとこれを使用した成膜方法 |
| CN114127327A (zh) * | 2019-07-17 | 2022-03-01 | 3M创新有限公司 | 用于蒸发金属的蒸发舟 |
| CN114127327B (zh) * | 2019-07-17 | 2024-04-05 | 3M创新有限公司 | 用于蒸发金属的蒸发舟 |
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