SU387050A1 - Нагревательный элемент для испарения металлов в вакууме типа «лодочка» - Google Patents

Нагревательный элемент для испарения металлов в вакууме типа «лодочка»

Info

Publication number
SU387050A1
SU387050A1 SU1612224A SU1612224A SU387050A1 SU 387050 A1 SU387050 A1 SU 387050A1 SU 1612224 A SU1612224 A SU 1612224A SU 1612224 A SU1612224 A SU 1612224A SU 387050 A1 SU387050 A1 SU 387050A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
evaporation
heating element
metals
vacuum
type
Prior art date
Application number
SU1612224A
Other languages
English (en)
Inventor
изобретени Автор
Original Assignee
А. Г. Зеберин Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by А. Г. Зеберин Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий filed Critical А. Г. Зеберин Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий
Priority to SU1612224A priority Critical patent/SU387050A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU387050A1 publication Critical patent/SU387050A1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

1
Изобретение относитс  к нанесению покрытий .в вакууме.
Известен нагревательный элемент дл  испарени  металлов в вакууме типа «Лодочка, выполненный из листового тугоплавкого металла с токоподводами, рабоча  часть которой имеет углублени .
Предлагаемый элемент отличаетс  от известного тем, что углублени  соединены между собой и токоподводами дугообразными перемычками , причем углублени  имеют форму, образованную симметричным пересечением цилиндрической и двух конических поверхностей .
Это позвол ет повысить производительность процесса ,и улучшить услови  подвода тепла.
На фиг. 1 изображен предлагаемый элемент , общий вид, фронтальна  проекци ; на фиг. 2 - вид в плане.
Нагревательный элемент выполнен из листового тугоплавкого металла с токоподводами 1. Рабоча  часть элемента имеет углублени  2, соединенные между собой и токоподводами дугообразными перемычками 3. Углублени  имеют форму, образованную симметричным Пересечением цилиндрической и двух конических поверхностей.
Нагревательный элемент своими токоподводами ) закрепл ют в контактных зажимах испарител  и испар емый металл в виде гранул
или отдельных кусков помещают в углублени  2. При включении тока этот металл плавитс , ст гива сь, поначалу, в сферические капли, которые интенсивно перемещаютс  по дну углублений. С дальнейщим повышением температуры смачиваемость резко возрастает и капли растекаютс  по всей поверхности. Вследствие этого сопротивление стенок углублений понижаетс  и это вызывает нераспределение выдел емой в лодочке тепловой мощности такйм образом, что температура основной массы испар емого металла понижаетс , а нагрев перемычек резко возрастает. Благодар  наличию таких перемычек тепло, в основном,
путем теплопроводности сообщаетс  испар емому металлу. При этом основное испарение происходит на границах смоченных зон. Поскольку число таких зон в данной конструкции увеличено, испарение происходит достаточно интенсивно.
Повышенна  равномерность испарени  достигаетс  тем, что по мере уменьшени  количества оставшегос  металла температура отдельных частей элемента выравниваетс .
Предмет изобретени 
Нагревательный элемент дл  испарени  металлов в BaiKyyiMe типа «Лодоч1Ка, выполнениый из листового тугоплавкого металла с токоподводами , рабоча  часть которого имеет
углублени , отличающийс  тем, что, с целью повышени  производительности и улучшени  условий подвода тепла, углублени  соединены между собой и токоподводами дугообразными перемычками, причем углублени  имеют форму, образованную симметричным пересечением цилиндрической и двух конических поверхностей .
XZ.
иг. f
Фиг. 2
SU1612224A 1971-01-20 1971-01-20 Нагревательный элемент для испарения металлов в вакууме типа «лодочка» SU387050A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1612224A SU387050A1 (ru) 1971-01-20 1971-01-20 Нагревательный элемент для испарения металлов в вакууме типа «лодочка»

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1612224A SU387050A1 (ru) 1971-01-20 1971-01-20 Нагревательный элемент для испарения металлов в вакууме типа «лодочка»

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU387050A1 true SU387050A1 (ru) 1973-06-21

Family

ID=20463813

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU1612224A SU387050A1 (ru) 1971-01-20 1971-01-20 Нагревательный элемент для испарения металлов в вакууме типа «лодочка»

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU387050A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4139792A1 (de) * 1991-12-03 1993-06-09 Leybold Ag, 6450 Hanau, De Verdampferschiffchen fuer eine vorrichtung zur beschichtung von substraten

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4139792A1 (de) * 1991-12-03 1993-06-09 Leybold Ag, 6450 Hanau, De Verdampferschiffchen fuer eine vorrichtung zur beschichtung von substraten
US5261964A (en) * 1991-12-03 1993-11-16 Leybold Aktiengesellschaft Evaporator boat for an apparatus for coating substrates

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DK137695B (da) Fordampningsvarmeveksler med dråbefangere.
US2499835A (en) Steam iron
SU387050A1 (ru) Нагревательный элемент для испарения металлов в вакууме типа «лодочка»
BE769179A (fr) Echangeur de chaleur a evaporation du type a injecteur
GB1313387A (en) Heat stores
US1432864A (en) Heating device
US3541301A (en) Source for evaporation in a vacuum
GB1581127A (en) Electrical heating devices
JPS5267978A (en) Boiling-cooling type semiconductor unit
KR910008487Y1 (ko) 오일보일러용 버어너의 예열히터관
JPS55159802A (en) Scatter preventing structure of circulating liquid in plate shaped liquid film flow-down type evaporation boiler
SU1469288A1 (ru) Теплообменна поверхность
SU562704A1 (ru) Чувствительный элемент ионизационного индикатора пламени
US1337774A (en) Top plate for stoves
DE690687C (de) Temperaturkippschalter
FR2423112A1 (fr) Element resistant gaine pour radiateurs par convection a ailettes ou dispositifs chauffants similaires
CHARWAT et al. Shape evolution of a subliming surface subjected to unsteady spatially nonuniform heat flux(Two dimensional unsteady heat conduction in solid with subliming surface, replacing original boundary value problem by ordinary integrodifferential equation)
SU113399A1 (ru) Нагревательный прибор дл центральных систем отоплени
JPS55131687A (en) Heat exchanger
FR1601556A (en) Electric furnace
SU391353A1 (ru) Многосопловая газовая горелка
SU415084A1 (ru)
Ashbaugh Corrosion in Heat Exchangers Using Brackish Water
GB1129633A (en) Means for utilizing a heat transfer material as a heating medium
JPS5317582A (en) Evaporation apparatus