JPH0594263U - 蒸着ヒーター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 均一な蒸着膜を得ることができる蒸着ヒータ
ーの提供。 【構成】 セラミックヒーター（１）に段差面（３）を
有するキャビティ（２）を設けてなることを特徴とする
蒸着ヒーター。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えばテレビブラウン管にアルミニウム等の金属を蒸着する際に使 用される蒸着ヒーターに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、蒸着ヒーターは、図５に示すように、導電性発熱体を基材とするセラミ ックヒーター１にキャビティ２を設けてなるものが知られている。これは、キャ ビティに金属を入れ、セラミックヒーターを通電・加熱して金属を蒸発させ、上 部に置かれた被蒸着物に蒸着膜を形成させるものであるが、通常、キャビティ底 面と側面は平坦である。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、このようにキャビティ面が平坦であると、蒸着ヒーターに通電 したときに、キャビティ中央部が最も高温となるので金属の蒸発は主にその部分 で起こり、蒸着膜は蒸着ヒーターの真上の部分が厚くなりその周囲になる程薄く なるという問題があった。この対策として、キャビティを大きくしたりキャビテ ィの底面と側面とのなす角度を大きくしたりしてキャビティ開口面を広くする工 夫がとられているが、満足な結果は得られていない。

【０００４】 本考案の目的は、上記問題を解消し、均一な蒸着膜を得ることができる蒸着ヒ ーターの提供にある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

すなわち、本考案は、セラミックヒーター１に段差面３を有するキャビティ２ を設けてなることを特徴とする蒸着ヒーターである。

【０００６】 以下、本考案を実施態様を示す図面にもとづいてさらに詳しく説明する。

【０００７】 本考案の蒸着ヒーターの一例を図１〜図４に示す。本考案の大きな特徴は、キ ャビティ２がその中央付近に段差面３を有していることである。これによって、 セラミックヒーター１に通電すると、段差の部分は断面積が大きいので電気抵抗 が小さくなり発熱量が少ないので高温とならず、キャビティ２の広い範囲で温度 が均一化され、キャビティ２に入れた金属は、その全体で均一に溶融・蒸発し、 蒸着膜は広範囲で均一な分布となる。

【０００８】 本考案における段差面の段差形状は、図１（２）に示されるような矩形断面に 限られることはなく、例えば、図２に示すようにスロープ状であってもよく、そ の数は一個でも複数個であってもよい。さらには、段差を設ける位置は、キャビ ティの中央内底面付近が望ましいが、内側面であってもよく、さらには、図３又 は図４のように、キャビティの外底面又は外側面であってもよい。

【０００９】 本考案においては、セラミックヒーターの材質や形状については何ら制約を受 けるものではない。その材質の一例を示せば、窒化硼素（BN）と硼化チタン（Ti B₂）の複合焼結体であり、その市販品としては電気化学工業（株）製商品名「Ｂ ＮコンポジットＥＣ」がある。

【００１０】

【実施例】

以下、実施例と比較例をあげてさらに具体的に本考案を説明する。

【００１１】 実施例１ セラミックヒーター１（幅6mm 長さ110mm 高さ4mm ）にキャビティ２（幅4mm 長さ60mm 深さ2mm ）を設けてなる蒸着ヒーター〔TiB₂とBNを主成分とする市販 品（電気化学工業（株）製商品名「ＢＮコンポジットＥＣ」）〕を機械加工して 、図１に示すように、キャビティの内底面の中央部に段差（幅4mm 長さ10mm 高 さ0.5mm ）を設けた。

【００１２】 上記キャビティに直径2mm のアルミニウム線材（純度99.99%）80mgを入れ、８ Ｖの電圧を印加して４０秒間の通電・加熱をし、蒸着ヒーターの上部250mm の位 置に置かれたパネルにアルミニウム蒸着膜を施し、その膜厚分布を測定した。膜 厚はパネル面のＡ、Ｂ、Ｃ及びＤ点の４ヵ所で測定し、Ａ点は、蒸着ヒーターの 真上に位置し、Ｂ、Ｃ及びＤ点は、Ａ点を１隅とする一辺が150mm の正方形を形 成させた残りの３隅である。その結果を表１に示す。

【００１３】 実施例２ キャビティ２の段差面３を、図２に示すように、高さ0.5mm のスロープ状とし た蒸着ヒーターを用いて実施例１と同様な試験を行った。

【００１４】 実施例３ キャビティ２の段差面３を、図３に示すように、キャビティの外底面の中央部 に段差（幅6mm 長さ10mm 高さ0.3mm ）を設けた蒸着ヒーターを用いて実施例１ と同様な試験を行った。

【００１５】 比較例１ 図５に示すように、段差面を有しないキャビティを設けた蒸着ヒーターを用い て実施例１と同様な試験を行った。

【００１６】 表 １

【００１７】

【考案の効果】 本考案の蒸着ヒーターによれば、キャビティ中央部での発熱を抑制することが できるのでキャビティ全面での金属の蒸発が可能となり、均一な蒸着膜を得るこ とができる。また、局部加熱がなくなるので蒸着ヒーターの長寿命化が達成され る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案の蒸着ヒーターの一例を示すものであ
り、（１）は平面図、（２）は断面図である。

【図２】 本考案の蒸着ヒーターの一例を示す断面図で
ある。

【図３】 本考案の蒸着ヒーターの一例を示す断面図で
ある。

【図４】 本考案の蒸着ヒーターの一例を示す平面図で
ある。

【図５】 従来の蒸着ヒーターの斜視図である。

【符号の説明】

１ セラミックヒーター ２ キャビティ ３ 段差面

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 セラミックヒーター（１）に段差面
   （３）を有するキャビティ（２）を設けてなることを特
   徴とする蒸着ヒーター。