JPH051368A - 真空蒸着用セラミツク容器 - Google Patents
真空蒸着用セラミツク容器Info
- Publication number
- JPH051368A JPH051368A JP17780591A JP17780591A JPH051368A JP H051368 A JPH051368 A JP H051368A JP 17780591 A JP17780591 A JP 17780591A JP 17780591 A JP17780591 A JP 17780591A JP H051368 A JPH051368 A JP H051368A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramics
- vessel
- boron nitride
- container
- molten metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 溶融金属の容器からの這い出し防止効果に優
れた真空蒸着用セラミック容器の提供。 【構成】 容器の内側壁の一部又は全部を窒化ホウ素セ
ラミックスで、その内底面を窒化ホウ素を含む導電性セ
ラミックスで構成してなることを特徴とする真空蒸着用
セラミック容器。
れた真空蒸着用セラミック容器の提供。 【構成】 容器の内側壁の一部又は全部を窒化ホウ素セ
ラミックスで、その内底面を窒化ホウ素を含む導電性セ
ラミックスで構成してなることを特徴とする真空蒸着用
セラミック容器。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空蒸着時の金属溶湯
の這い出しを改良した真空蒸着用セラミック容器に関す
る。
の這い出しを改良した真空蒸着用セラミック容器に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、窒化ホウ素と金属ホウ化物を
主体とする導電性セラミックスが蒸発金属に対する耐食
性に優れた蒸着用容器として市販され、特にテレビブラ
ウン管を始めとするディスプレイ用、アルミバックメタ
ル用のセラミック容器として使用されている。
主体とする導電性セラミックスが蒸発金属に対する耐食
性に優れた蒸着用容器として市販され、特にテレビブラ
ウン管を始めとするディスプレイ用、アルミバックメタ
ル用のセラミック容器として使用されている。
【０００３】しかしながら、これらの導電性セラミック
容器には、アルミニウム等の溶融金属が蒸発時に這い出
すという欠点がある。この欠点は、抵抗加熱式容器の場
合には、這い出しが電極までに達して短絡するという現
象が起こるし、また、電子ビーム式容器の場合には、冷
却帯銅ハースの中に溶融金属が流れ込み、冷却固化して
蒸着ができなくなり、場合によっては容器が破損してし
まう。
容器には、アルミニウム等の溶融金属が蒸発時に這い出
すという欠点がある。この欠点は、抵抗加熱式容器の場
合には、這い出しが電極までに達して短絡するという現
象が起こるし、また、電子ビーム式容器の場合には、冷
却帯銅ハースの中に溶融金属が流れ込み、冷却固化して
蒸着ができなくなり、場合によっては容器が破損してし
まう。
【０００４】這い出しは、溶融金属との濡れ性が良好な
ために生ずる現象であるので利点もある。すなわち、溶
融金属は容器内面一杯に濡れ広がったのち被蒸着基板へ
蒸着されるので均質かつ安定な蒸着膜が得られやすいと
いうことである。
ために生ずる現象であるので利点もある。すなわち、溶
融金属は容器内面一杯に濡れ広がったのち被蒸着基板へ
蒸着されるので均質かつ安定な蒸着膜が得られやすいと
いうことである。
【０００５】溶融金属の這い出し防止については、従来
から多くの改良と工夫が重ねられてきた。例えば、抵抗
加熱式タングステンボート等においては、キャビテー隣
接部に切り込みを設けたり、導電性セラミックボートに
おいては、特公昭５４−４２６７６号公報に記載のよう
にボート寸法を厳格にしたり、さらには電子ビーム蒸着
用容器においては、キャビテー上部の内側に溝を切った
り、這い出し防止用のＢＮコーティング層を設けたりさ
れてきた。しかしながら、これらの方法では、依然とし
て十分な這い出し防止はできていない。
から多くの改良と工夫が重ねられてきた。例えば、抵抗
加熱式タングステンボート等においては、キャビテー隣
接部に切り込みを設けたり、導電性セラミックボートに
おいては、特公昭５４−４２６７６号公報に記載のよう
にボート寸法を厳格にしたり、さらには電子ビーム蒸着
用容器においては、キャビテー上部の内側に溝を切った
り、這い出し防止用のＢＮコーティング層を設けたりさ
れてきた。しかしながら、これらの方法では、依然とし
て十分な這い出し防止はできていない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、上記問
題点を解決することを目的として鋭意検討した結果、窒
化ホウ素が溶融金属との濡れ性が悪いことを利用し、溶
融金属と接する機会の少ない部分を窒化ホウ素とし、接
する機会の多い部分を窒化ホウ素を含む導電性セラミッ
クスで構成すれば這い出し防止効果が著大になることを
見出し、本発明を完成したものである。
題点を解決することを目的として鋭意検討した結果、窒
化ホウ素が溶融金属との濡れ性が悪いことを利用し、溶
融金属と接する機会の少ない部分を窒化ホウ素とし、接
する機会の多い部分を窒化ホウ素を含む導電性セラミッ
クスで構成すれば這い出し防止効果が著大になることを
見出し、本発明を完成したものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、容
器の内側壁の一部又は全部を窒化ホウ素セラミックス
で、内底面を窒化ホウ素を含む導電性セラミックスで構
成してなることを特徴とする真空蒸着用セラミック容器
である。
器の内側壁の一部又は全部を窒化ホウ素セラミックス
で、内底面を窒化ホウ素を含む導電性セラミックスで構
成してなることを特徴とする真空蒸着用セラミック容器
である。
【０００８】以下、図面にもとづいてさらに詳しく本発
明について説明すると、図１は、本発明の真空蒸着用セ
ラミック容器の一例を示す斜視図である。１は窒化ホウ
素セラミックス、２は窒化ホウ素を含む導電性セラミッ
クス、３はキャビティーである。
明について説明すると、図１は、本発明の真空蒸着用セ
ラミック容器の一例を示す斜視図である。１は窒化ホウ
素セラミックス、２は窒化ホウ素を含む導電性セラミッ
クス、３はキャビティーである。
【０００９】図１に示したものは、容器の内底面を導電
性セラミックス２により、また、その内側壁を、その上
部開口付近が窒化ホウ素セラミックス１で、またその底
面付近が導電性セラミックス２により構成されている。
本発明においては、この構造に限られるものではなく、
例えば、内側壁の全てを窒化ホウ素セラミックス１で構
成してもよく、また、窒化ホウ素セラミックス１と導電
性セラミックス２とを交互に積層された構造であっても
よい。
性セラミックス２により、また、その内側壁を、その上
部開口付近が窒化ホウ素セラミックス１で、またその底
面付近が導電性セラミックス２により構成されている。
本発明においては、この構造に限られるものではなく、
例えば、内側壁の全てを窒化ホウ素セラミックス１で構
成してもよく、また、窒化ホウ素セラミックス１と導電
性セラミックス２とを交互に積層された構造であっても
よい。
【００１０】窒化ホウ素セラミックス１としては、窒化
ホウ素９９．５〜８０重量％、焼結助剤０．５〜２０重
量％の焼結体が望ましい。窒化ホウ素としては、ＢＮ純
度９０重量％以上特に９８重量％以上の六方晶窒化ホウ
素が好ましく、また、焼結助剤としては、B2O3、B2O3・
CaO 、B2O3・SiO2等が使用される。
ホウ素９９．５〜８０重量％、焼結助剤０．５〜２０重
量％の焼結体が望ましい。窒化ホウ素としては、ＢＮ純
度９０重量％以上特に９８重量％以上の六方晶窒化ホウ
素が好ましく、また、焼結助剤としては、B2O3、B2O3・
CaO 、B2O3・SiO2等が使用される。
【００１１】一方、導電性セラミックス２としては、窒
化ホウ素を２０〜７０重量％程度を含み、比抵抗が１０
０〜２０００μΩcm程度のものが望ましい。具体的に
は、窒化ホウ素２０〜７０重量％、二ホウ化チタン等の
成分８０〜３０重量％からなるものである。これの市販
品としては、電気化学工業（株）製商品名「ＢＮコンポ
ジットＥＣ」がある。
化ホウ素を２０〜７０重量％程度を含み、比抵抗が１０
０〜２０００μΩcm程度のものが望ましい。具体的に
は、窒化ホウ素２０〜７０重量％、二ホウ化チタン等の
成分８０〜３０重量％からなるものである。これの市販
品としては、電気化学工業（株）製商品名「ＢＮコンポ
ジットＥＣ」がある。
【００１２】上記窒化ホウ素セラミックス１と導電性セ
ラミックス２とを接合し本発明の真空蒸着用セラミック
容器とするには、それぞれの粉体、金型成型体、反応焼
結体、ホットプレス成型体のいずれかの組合せにより接
合し、機械加工等を行って容器を形成する。
ラミックス２とを接合し本発明の真空蒸着用セラミック
容器とするには、それぞれの粉体、金型成型体、反応焼
結体、ホットプレス成型体のいずれかの組合せにより接
合し、機械加工等を行って容器を形成する。
【００１３】
【実施例】以下、実施例と比較例をあげてさらに具体的
に本発明を説明する。
に本発明を説明する。
【００１４】実施例１〜４ 比較例１〜２ 表１に示す窒化ホウ素セラミックスをφ１５０×５０mm
の形状に成型したのちそれを上面に、また導電性セラミ
ックス成型体を下面にして重ね合せて黒鉛型に挿入しホ
ットプレス成型した。ホットプレス方向は上下からの一
軸加圧で、圧力２００kg／cm2 、温度１９５０℃とし
た。比較例１〜２は導電性セラミックスのみをφ１５０
×５０mmの形状にホットプレス成型したものである。
の形状に成型したのちそれを上面に、また導電性セラミ
ックス成型体を下面にして重ね合せて黒鉛型に挿入しホ
ットプレス成型した。ホットプレス方向は上下からの一
軸加圧で、圧力２００kg／cm2 、温度１９５０℃とし
た。比較例１〜２は導電性セラミックスのみをφ１５０
×５０mmの形状にホットプレス成型したものである。
【００１５】得られた接合体について、実施例１〜４に
ついては図１に示す形状に機械加工して、比較例１〜２
については、図１と同一形状のキャビティーに機械加工
して容器を作製した。これらの容器に線径１mmのアルミ
線1.２ｇを入れ、真空蒸着機にて真空度１×１０-4Tor
r、印加電圧8.５Ｖ、電流１４０〜１８０mAで９０秒の
蒸着テストを２０回くり返し行い、容器からのアルミニ
ウムの這い出し状況とアルミニウムの蒸着膜厚を以下に
従って測定した。それらの結果を表２に示す。
ついては図１に示す形状に機械加工して、比較例１〜２
については、図１と同一形状のキャビティーに機械加工
して容器を作製した。これらの容器に線径１mmのアルミ
線1.２ｇを入れ、真空蒸着機にて真空度１×１０-4Tor
r、印加電圧8.５Ｖ、電流１４０〜１８０mAで９０秒の
蒸着テストを２０回くり返し行い、容器からのアルミニ
ウムの這い出し状況とアルミニウムの蒸着膜厚を以下に
従って測定した。それらの結果を表２に示す。
【００１６】（１） キャビティーからのアルミニウム
の這い出し状況 蒸着テスト２０回目の容器キャビティーからのアルミニ
ウムの這い出し状況を観察した。 ○：キャビティーからの這い出しなし。 △：キャビティーからの這い出しが１〜５mmあり。 ×：キャビティーからの這い出しが５mm超あり。 （２） アルミニウムの蒸着膜厚 真空蒸着容器から２５０mm離れた上部空間にセンターガ
ラス板（Ｇ−Ｏ）を、該センターガラス板から同一平面
の左側に８４mm離れた空間にガラス板（Ｇ−１）を、該
センターガラス板から同一平面の奥側に１６７mm離れた
空間にガラス板（Ｇ−２）を、そしてＧ−１とＧ−２と
が交差する空間にガラス板（Ｇ−３）を配置し、蒸着テ
スト１回目と２０回目におけるアルミニウムの蒸着膜厚
を多重干渉検鏡法により測定した。なお、上記ガラス板
の大きさはいずれも３０×６０mmである。結果の判定
は、各測定位置における１回目の蒸着膜厚に対し２０回
目のそれが５００Å以内であれば○、５００Å超であれ
ば×とした。
の這い出し状況 蒸着テスト２０回目の容器キャビティーからのアルミニ
ウムの這い出し状況を観察した。 ○：キャビティーからの這い出しなし。 △：キャビティーからの這い出しが１〜５mmあり。 ×：キャビティーからの這い出しが５mm超あり。 （２） アルミニウムの蒸着膜厚 真空蒸着容器から２５０mm離れた上部空間にセンターガ
ラス板（Ｇ−Ｏ）を、該センターガラス板から同一平面
の左側に８４mm離れた空間にガラス板（Ｇ−１）を、該
センターガラス板から同一平面の奥側に１６７mm離れた
空間にガラス板（Ｇ−２）を、そしてＧ−１とＧ−２と
が交差する空間にガラス板（Ｇ−３）を配置し、蒸着テ
スト１回目と２０回目におけるアルミニウムの蒸着膜厚
を多重干渉検鏡法により測定した。なお、上記ガラス板
の大きさはいずれも３０×６０mmである。結果の判定
は、各測定位置における１回目の蒸着膜厚に対し２０回
目のそれが５００Å以内であれば○、５００Å超であれ
ば×とした。
【００１７】
【表１】
【００１８】
【表２】
【００１９】
【発明の効果】本発明の真空蒸着用セラミック容器は、
溶融金属の容器からの這い出し防止効果に優れたもので
ある。
溶融金属の容器からの這い出し防止効果に優れたもので
ある。
【図１】 本発明の真空蒸着用セラミック容器の一例を
示す斜視図。
示す斜視図。
１ 窒化ホウ素セラミックス ２ 導電性セラミックス ３ キャビティー
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 容器の内側壁の一部又は全部を窒化ホウ
素セラミックスで、その内底面を窒化ホウ素を含む導電
性セラミックスで構成してなることを特徴とする真空蒸
着用セラミック容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17780591A JPH051368A (ja) | 1991-06-24 | 1991-06-24 | 真空蒸着用セラミツク容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17780591A JPH051368A (ja) | 1991-06-24 | 1991-06-24 | 真空蒸着用セラミツク容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH051368A true JPH051368A (ja) | 1993-01-08 |
Family
ID=16037398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17780591A Pending JPH051368A (ja) | 1991-06-24 | 1991-06-24 | 真空蒸着用セラミツク容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH051368A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7319079B2 (en) | 2003-09-24 | 2008-01-15 | Rusinko Jr David Michael | Container for evaporation of metal and method to manufacture thereof |
| JP2013076120A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 蒸発源および成膜装置 |
-
1991
- 1991-06-24 JP JP17780591A patent/JPH051368A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7319079B2 (en) | 2003-09-24 | 2008-01-15 | Rusinko Jr David Michael | Container for evaporation of metal and method to manufacture thereof |
| JP2013076120A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 蒸発源および成膜装置 |
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