JPS58697Y2 - スパッタ用タ−ゲット - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は均一なスパッタ蒸着膜を得るためのスパッタ用
ターゲットに関するもので゛ある。

従来におけるこの種スパッタ用ターゲットは第１図に示
すように、セラミック１と電極２は接着剤３等で接着さ
れていたが、セラミック１と電極２間の距離を均一に保
持することが困難であるため、スパッタを行なった時セ
ラミック１の表面の電荷の分布が均一ではなかった。

そのため、セラミック１の表面からスパッタされる量が
不均一であった。

本発明は上述のような従来における欠点を除去すべく創
案されたものであり、以下その一実施例について第２面
とともに上記と同一個所には同一番号を付して説明する
。

本考案では第２図に示すように、セラミック１が電極２
と接する面に導電膜４を、導電体を塗布、蒸着または無
電解メッキあるいは無電解メッキ上に電解メッキを施す
等の手段で形成して設けている。

このように本考案は構成されていることにより、セラミ
ックの表面が等電位になるため、セラミックの表面から
スパッタされる量が均一になり、従来のような欠点は大
巾に改善されるものである。

また、電極を冷却した場合に熱の伝導がよくなり、冷却
効果を高めるとともにセラミックの温度分布が軽減され
るため、セラミックの熱によるひずみが少なくなり、セ
ラミックの破壊の防止にも役立つものである。

【図面の簡単な説明】 第１図は従来例におけるスパッタ用ターゲットの半断面
図、第２図は本考案に係るスパッタ用ターゲットの一実
施例を示す半断面図である。 １・・・・・・セラミック、２・・・・・・電極、４・
・・・・・導電膜。

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１）セラミックが電極と接する面に導電膜を形成した
   スパッタ用ターゲット。
2. （２）導電体を塗布し、導電膜を形成してなる実用新案
   登録請求の範囲第（１）項記載のスパッタ用ターゲット
   。
3. （３）導電体をメッキし、導電膜を形成してなる実用新
   案登録請求の範囲第（１）項記載のスパッタ用ターゲッ
   ト。