JPH11131220A - フラッシュｔｖ蒸発器 - Google Patents
フラッシュｔｖ蒸発器Info
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- JPH11131220A JPH11131220A JP10231541A JP23154198A JPH11131220A JP H11131220 A JPH11131220 A JP H11131220A JP 10231541 A JP10231541 A JP 10231541A JP 23154198 A JP23154198 A JP 23154198A JP H11131220 A JPH11131220 A JP H11131220A
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- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
-
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 一層長い耐用寿命を有するようにし、アルミ
ニウムのための蒸発特性をより規定し、湿潤特性を改善
し、しかも汎用の蒸発装置において使用可能であるよう
にする。 【解決手段】 フラッシュＴＶ蒸発器１のキャビティ２
の幅が蒸発器上縁部から蒸発器下縁部に向かって先細に
なっている。
ニウムのための蒸発特性をより規定し、湿潤特性を改善
し、しかも汎用の蒸発装置において使用可能であるよう
にする。 【解決手段】 フラッシュＴＶ蒸発器１のキャビティ２
の幅が蒸発器上縁部から蒸発器下縁部に向かって先細に
なっている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、受像管にアルミニ
ウムを蒸着するためのフラッシュテレビジョン蒸発器つ
まりフラッシュＴＶ蒸発器(Flash-TV-Verdampfer)であ
って、キャビティが設けられており、該キャビティから
アルミニウムが通電時にフラッシュＴＶ蒸発器によって
蒸発させられるようになっている形式のものに関する。
この「フラッシュＴＶ蒸発器」を以下「フラッシャ(Fla
sher)」とも呼ぶ。
ウムを蒸着するためのフラッシュテレビジョン蒸発器つ
まりフラッシュＴＶ蒸発器(Flash-TV-Verdampfer)であ
って、キャビティが設けられており、該キャビティから
アルミニウムが通電時にフラッシュＴＶ蒸発器によって
蒸発させられるようになっている形式のものに関する。
この「フラッシュＴＶ蒸発器」を以下「フラッシャ(Fla
sher)」とも呼ぶ。
【０００２】
【従来の技術】フラッシャは、受像管において数１００
ｎｍの導電層を生ぜしめるために、白黒受像管もしくは
カラー受像管にアルミニウムを蒸着するために使用され
る。このような層は完成された受像管内で電子を加速さ
せるための電極を形成する。
ｎｍの導電層を生ぜしめるために、白黒受像管もしくは
カラー受像管にアルミニウムを蒸着するために使用され
る。このような層は完成された受像管内で電子を加速さ
せるための電極を形成する。
【０００３】フラッシャの寸法は一般的に４×６×１１
０ｍｍである。フラッシャ１はフラッシャの横断面で見
て方形のキャビティ２（図１Ｃ）を有している。このキ
ャビティは一般的に２×４×４０ｍｍまたは２×４×６
０ｍｍの寸法を有している。蒸着装置においては、フラ
ッシャは２つのねじ５によって２つの鋼プレート６の間
に締め込まれている。これらの鋼プレートは、銅ケーブ
ル７を介して電流源８に接続されている。より良好な接
触接続を得るために、一般的に、鋼プレート６とフラッ
シャ１との間に黒鉛シート９が設けられている（図１Ａ
参照）。側方の緊定装置の幅は両端部においてほぼ１５
ｍｍである。フラッシャの加熱されるべき長さは通常の
場合８０ｍｍである。
０ｍｍである。フラッシャ１はフラッシャの横断面で見
て方形のキャビティ２（図１Ｃ）を有している。このキ
ャビティは一般的に２×４×４０ｍｍまたは２×４×６
０ｍｍの寸法を有している。蒸着装置においては、フラ
ッシャは２つのねじ５によって２つの鋼プレート６の間
に締め込まれている。これらの鋼プレートは、銅ケーブ
ル７を介して電流源８に接続されている。より良好な接
触接続を得るために、一般的に、鋼プレート６とフラッ
シャ１との間に黒鉛シート９が設けられている（図１Ａ
参照）。側方の緊定装置の幅は両端部においてほぼ１５
ｍｍである。フラッシャの加熱されるべき長さは通常の
場合８０ｍｍである。
【０００４】受像管へのアルミニウムの蒸着は次のよう
に行われる。
に行われる。
【０００５】フラッシャのキャビティ内に、アルミニウ
ム片（＜１００ｍｇ）、一般的には円筒状のアルミニウ
ム体、つまりいわゆるペレットが導入される。フラッシ
ャの上方には、アルミニウムが蒸着されるようになって
いる受像管カバーが位置決めされる。次いで、受像管カ
バーの下方の空間が排気されて、フラッシャが緊定装置
とともにこのような真空（１０−５ｍｂａｒ）内に位置
するようになっている。
ム片（＜１００ｍｇ）、一般的には円筒状のアルミニウ
ム体、つまりいわゆるペレットが導入される。フラッシ
ャの上方には、アルミニウムが蒸着されるようになって
いる受像管カバーが位置決めされる。次いで、受像管カ
バーの下方の空間が排気されて、フラッシャが緊定装置
とともにこのような真空（１０−５ｍｂａｒ）内に位置
するようになっている。
【０００６】直接の通電によってフラッシャが加熱さ
れ、このフラッシャはそのキャビティ内に位置するアル
ミニウムを蒸発させる。このような過程のために必要な
時間は、４０秒〜２分の範囲内にある。この場合発生す
る電流密度は短時間に１０３Ａ／ｃｍ２の値にまで達す
る。
れ、このフラッシャはそのキャビティ内に位置するアル
ミニウムを蒸発させる。このような過程のために必要な
時間は、４０秒〜２分の範囲内にある。この場合発生す
る電流密度は短時間に１０３Ａ／ｃｍ２の値にまで達す
る。
【０００７】このような高い電流負荷、ひいては温度負
荷は、耐用寿命、すなわちフラッシャの加熱サイクル数
を制限する。
荷は、耐用寿命、すなわちフラッシャの加熱サイクル数
を制限する。
【０００８】一般的には５００〜９００加熱サイクルの
後でフラッシャはキャビティの領域で裂断する。このフ
ラッシャは破壊され、交換されなければならない。
後でフラッシャはキャビティの領域で裂断する。このフ
ラッシャは破壊され、交換されなければならない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
で述べた形式の、受像管にアルミニウムを蒸着するため
のフラッシュＴＶ蒸発器を改良して、一層長い耐用寿命
を有し、アルミニウムのための蒸発特性がより明確に規
定され、改善された湿潤特性を示し、しかも汎用の蒸発
装置において使用可能であるようなフラッシュＴＶ蒸発
器を提供することである。
で述べた形式の、受像管にアルミニウムを蒸着するため
のフラッシュＴＶ蒸発器を改良して、一層長い耐用寿命
を有し、アルミニウムのための蒸発特性がより明確に規
定され、改善された湿潤特性を示し、しかも汎用の蒸発
装置において使用可能であるようなフラッシュＴＶ蒸発
器を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の構成では、キャビティの幅が蒸発器上縁部か
ら蒸発器下縁部に向かって先細になっているようにし
た。
に本発明の構成では、キャビティの幅が蒸発器上縁部か
ら蒸発器下縁部に向かって先細になっているようにし
た。
【００１１】
【発明の効果】本発明によるフラッシャは、例えば、フ
ラッシャの横断面において三角形状を示すキャビティを
有している。この三角形の、蒸発器に向いた両側面つま
りキャビティの両壁は、真直ぐに延びるか、または、凹
面状または凸面状に湾曲されていてよい。キャビティの
最深点は、所定の曲率半径を有するように形成されてい
てよい。
ラッシャの横断面において三角形状を示すキャビティを
有している。この三角形の、蒸発器に向いた両側面つま
りキャビティの両壁は、真直ぐに延びるか、または、凹
面状または凸面状に湾曲されていてよい。キャビティの
最深点は、所定の曲率半径を有するように形成されてい
てよい。
【００１２】キャビティの側面が凸面状に湾曲されてい
る場合、極端な場合には、キャビティは半円形状にもた
らされる。
る場合、極端な場合には、キャビティは半円形状にもた
らされる。
【００１３】キャビティの側面が凹面状に湾曲されてい
る場合、極端な場合には、狭幅の線状の凹部がフラッシ
ャの長手方向でキャビティとして形成される。
る場合、極端な場合には、狭幅の線状の凹部がフラッシ
ャの長手方向でキャビティとして形成される。
【００１４】キャビティの仮想の蒸発器上縁部とキャビ
ティのそれぞれ一方の側壁との間の角度αは２５゜〜６
０°であると有利である。
ティのそれぞれ一方の側壁との間の角度αは２５゜〜６
０°であると有利である。
【００１５】キャビティは蒸発器上面において２ｍｍ〜
６ｍｍの幅を有していると有利である。
６ｍｍの幅を有していると有利である。
【００１６】キャビティの最も深い個所は、蒸発器下縁
部から上方の、最小１ｍｍ、最大３ｍｍの高さのところ
に位置していると有利である。
部から上方の、最小１ｍｍ、最大３ｍｍの高さのところ
に位置していると有利である。
【００１７】キャビティの長さは３０ｍｍ〜８０ｍｍで
あると有利である。
あると有利である。
【００１８】本発明に基づき、フラッシャの横断面がキ
ャビティの領域で増大されることにより、最大電流密度
が減じられ、より高い加熱サイクル数が可能になる。
ャビティの領域で増大されることにより、最大電流密度
が減じられ、より高い加熱サイクル数が可能になる。
【００１９】これと共に、キャビティの本発明による形
状により、円筒形のアルミニウムペレットはこのような
フラッシャのキャビティの長手方向軸線において正確に
位置決めされる。このことは、加熱サイクル数とは無関
係にアルミニウム蒸気雲の均質な広がりをもたらす。
状により、円筒形のアルミニウムペレットはこのような
フラッシャのキャビティの長手方向軸線において正確に
位置決めされる。このことは、加熱サイクル数とは無関
係にアルミニウム蒸気雲の均質な広がりをもたらす。
【００２０】さらに、このような横断面の下縁部は毛管
として作用する。このことはアルミニウムによるフラッ
シャのより良好な湿潤を生ぜしめる。
として作用する。このことはアルミニウムによるフラッ
シャのより良好な湿潤を生ぜしめる。
【００２１】本発明によるフラッシャは、この種の蒸発
器にとっては一般的な、ＴｉＢ２、ＢＮ、および場合に
よってはＡｌＮを含有するセラミックス粉末から製造す
ることができる。
器にとっては一般的な、ＴｉＢ２、ＢＮ、および場合に
よってはＡｌＮを含有するセラミックス粉末から製造す
ることができる。
【００２２】このようなフラッシャは、汎用の蒸発装置
において運転することができ、しかもこの場合この装置
を変化させる必要はない。
において運転することができ、しかもこの場合この装置
を変化させる必要はない。
【００２３】
【発明の実施の形態】次に本発明を図面に示した実施の
形態について説明する。
形態について説明する。
【００２４】本発明によるフラッシャは例えば、図１で
従来のフラッシャを横断面Ａ−Ａで断面したのと同様の
横断面図において、三角形状を示すキャビティを有して
いる。この三角形の、蒸発器に向いた両側面つまりキャ
ビティの両壁３は、真直ぐに延びているか（図２）、ま
たは、凹面状（図３）または凸面状（図４）に湾曲され
ていてよい。キャビティの最深点は、所定の曲率半径を
有するように形成されていてよい（図５）。
従来のフラッシャを横断面Ａ−Ａで断面したのと同様の
横断面図において、三角形状を示すキャビティを有して
いる。この三角形の、蒸発器に向いた両側面つまりキャ
ビティの両壁３は、真直ぐに延びているか（図２）、ま
たは、凹面状（図３）または凸面状（図４）に湾曲され
ていてよい。キャビティの最深点は、所定の曲率半径を
有するように形成されていてよい（図５）。
【００２５】焼結体から、公知の横断面（図１Ｃ）を有
するキャビティ２を備えたフラッシャ１、および、本発
明による横断面（図２）を有するキャビティ２を備えた
フラッシャ１を形成した。これらの両フラッシャを、比
較のために２つのフラッシャを平行に運転させることが
できる緊定装置に固定した。蒸発されるべきアルミニウ
ム量はそれぞれ８３ｍｇである。公知のキャビティを有
するフラッシャは８２０加熱サイクルに耐えた。これに
対して、図２に示したキャビティを有するフラッシャは
１０８０加熱サイクルに耐えた。
するキャビティ２を備えたフラッシャ１、および、本発
明による横断面（図２）を有するキャビティ２を備えた
フラッシャ１を形成した。これらの両フラッシャを、比
較のために２つのフラッシャを平行に運転させることが
できる緊定装置に固定した。蒸発されるべきアルミニウ
ム量はそれぞれ８３ｍｇである。公知のキャビティを有
するフラッシャは８２０加熱サイクルに耐えた。これに
対して、図２に示したキャビティを有するフラッシャは
１０８０加熱サイクルに耐えた。
【００２６】別のフラッシャ対で繰り返し測定を行い、
同様の結果が得られた。
同様の結果が得られた。
【図１】緊定装置で緊定された標準的なフランジＴＶ蒸
発器を示す平面図Ａ、側面図Ｂおよび横断面図Ｃであ
る。
発器を示す平面図Ａ、側面図Ｂおよび横断面図Ｃであ
る。
【図２】本発明によるフラッシュＴＶ蒸発器を、そのキ
ャビティが横断面で、真直ぐの壁を備えた三角形状を有
している状態で示す図である。
ャビティが横断面で、真直ぐの壁を備えた三角形状を有
している状態で示す図である。
【図３】本発明によるフラッシュＴＶ蒸発器を、そのキ
ャビティが横断面で、凹面状に湾曲された壁を備えた三
角形状を有している状態で示す図である。
ャビティが横断面で、凹面状に湾曲された壁を備えた三
角形状を有している状態で示す図である。
【図４】本発明によるフラッシュＴＶ蒸発器を、そのキ
ャビティが横断面で、凸面状に湾曲された壁を備えた三
角形状を有している状態で示す図である。
ャビティが横断面で、凸面状に湾曲された壁を備えた三
角形状を有している状態で示す図である。
【図５】本発明によるフラッシュＴＶ蒸発器を、そのキ
ャビティの最も深い個所が所定の曲率半径を有する形状
に形成されている状態を示す図である。
ャビティの最も深い個所が所定の曲率半径を有する形状
に形成されている状態を示す図である。
１ フラッシャ（フラッシュＴＶ蒸発器）、 ２ キャ
ビティ、 ３ 壁、５ ねじ、 ６ 鋼プレート、 ７
銅ケーブル、 ８ 電流源、 ９ 黒鉛シート
ビティ、 ３ 壁、５ ねじ、 ６ 鋼プレート、 ７
銅ケーブル、 ８ 電流源、 ９ 黒鉛シート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マーティン ザイフェルト ドイツ連邦共和国 ケムプテン フランツ ィスカーナーヴェーク 23
Claims (9)
- 【請求項１】 受像管にアルミニウムを蒸着するための
フラッシュＴＶ蒸発器であって、キャビティが設けられ
ており、該キャビティからアルミニウムが通電時にフラ
ッシュＴＶ蒸発器によって蒸発させられるようになって
いる形式のものにおいて、 キャビティの幅が蒸発器上縁部から蒸発器下縁部に向か
って先細になっていることを特徴とする、フラッシュＴ
Ｖ蒸発器。 - 【請求項２】 キャビティがフラッシュＴＶ蒸発器の横
断面において真直ぐな壁を備えた三角形状を有してい
る、請求項１記載のフラッシュＴＶ蒸発器。 - 【請求項３】 キャビティがフラッシュＴＶ蒸発器の横
断面において、凸面状に湾曲された壁を備えた三角形状
を有している、請求項１記載のフラッシュＴＶ蒸発器。 - 【請求項４】 キャビティがフラッシュＴＶ蒸発器の横
断面において、凹面状に湾曲された壁を備えた三角形状
を有している、請求項１記載のフラッシュＴＶ蒸発器。 - 【請求項５】 キャビティの最深点が所定の曲率半径を
有する形状に形成されている、請求項１から４までのい
ずれか１項記載のフラッシュＴＶ蒸発器。 - 【請求項６】 キャビティが蒸発器上縁部で２ｍｍ〜６
ｍｍの幅を有している、請求項１から５までのいずれか
１項記載のフラッシュＴＶ蒸発器。 - 【請求項７】 キャビティの最深個所が蒸発器下縁部か
ら上方の最小１ｍｍ、最大３ｍｍの高さのところに位置
している、請求項１から６までのいずれか１項記載のフ
ラッシュＴＶ蒸発器。 - 【請求項８】 キャビティの長さが３０ｍｍ〜８０ｍｍ
である、請求項１から７までのいずれか１項記載のフラ
ッシュＴＶ蒸発器。 - 【請求項９】 キャビティの仮想の蒸発器上縁部とキャ
ビティのそれぞれ一方の側壁との間の角度αが２５゜〜
６０°である、請求項１から８までのいずれか１項記載
のフラッシュＴＶ蒸発器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19735814A DE19735814A1 (de) | 1997-08-18 | 1997-08-18 | Keramische Flash-TV-Verdampfer |
| DE19735814.4 | 1997-08-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11131220A true JPH11131220A (ja) | 1999-05-18 |
| JP3034848B2 JP3034848B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=7839346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10231541A Expired - Fee Related JP3034848B2 (ja) | 1997-08-18 | 1998-08-18 | フラッシュｔｖ蒸発器 |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6081652A (ja) |
| EP (1) | EP0900858B1 (ja) |
| JP (1) | JP3034848B2 (ja) |
| KR (1) | KR100297574B1 (ja) |
| DE (2) | DE19735814A1 (ja) |
| ID (1) | ID20700A (ja) |
| MX (1) | MXPA98006671A (ja) |
| MY (1) | MY115761A (ja) |
| SG (1) | SG70106A1 (ja) |
| TW (1) | TW419528B (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19956811A1 (de) * | 1999-11-25 | 2001-06-13 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Keramischer Flash-TV-Verdampfer |
| DE10015847C2 (de) * | 2000-03-30 | 2002-03-14 | Wacker Chemie Gmbh | Vorrichtung zum Bedampfen von Schwarzweiß- oder Farbbildröhren mit Aluminium |
| EP2019156A1 (en) * | 2007-07-27 | 2009-01-28 | Applied Materials, Inc. | Shaped crucible and evaporation apparatus having same |
| US20160208373A1 (en) | 2015-01-20 | 2016-07-21 | Kennametal Inc. | Imc evaporator boat assembly |
| US10184168B2 (en) | 2015-01-20 | 2019-01-22 | Kennametal Inc. | IMC evaporator boat-thermal insulation cartridge assembly |
| CN209619438U (zh) * | 2019-01-17 | 2019-11-12 | 云谷（固安）科技有限公司 | 一种点蒸发源以及蒸镀设备 |
| DE102019110950A1 (de) | 2019-04-29 | 2020-10-29 | Kennametal Inc. | Hartmetallzusammensetzungen und deren Anwendungen |
| CN110453182B (zh) * | 2019-08-22 | 2024-01-05 | 南阳清水科技有限公司 | 一种旋转式多位阻蒸舟 |
| KR102384758B1 (ko) | 2020-07-21 | 2022-04-08 | 주식회사 엔엔티 | 염수분무시험기 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3020177A (en) * | 1959-05-13 | 1962-02-06 | Continental Can Co | Art of vaporizing materials |
| DE1207179B (de) * | 1961-02-09 | 1965-12-16 | Licentia Gmbh | Oxydkeramischer Tiegel zum Vakuum-Aufdampfen von Metallen |
| JPS5274580A (en) * | 1975-12-19 | 1977-06-22 | Hitachi Ltd | Boat for vacuum evaporation |
| JPS57200560A (en) * | 1981-06-03 | 1982-12-08 | Fuji Electric Co Ltd | Vessel for source of vaporization for vacuum deposition |
| JPS62202868A (ja) * | 1986-02-27 | 1987-09-07 | 電気化学工業株式会社 | 導電性セラミツク及びその製造法 |
| US5239612A (en) * | 1991-12-20 | 1993-08-24 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Method for resistance heating of metal using a pyrolytic boron nitride coated graphite boat |
| US5395180A (en) * | 1993-12-14 | 1995-03-07 | Advanced Ceramics Corporation | Boron nitride vaporization vessel |
| US5537507A (en) * | 1994-09-28 | 1996-07-16 | Advanced Ceramics Corporation | Coated flash evaporator heater |
| US5671322A (en) * | 1996-01-17 | 1997-09-23 | Advanced Ceramics Corporation | Lateral flash evaporator |
-
1997
- 1997-08-18 DE DE19735814A patent/DE19735814A1/de not_active Withdrawn
-
1998
- 1998-08-04 US US09/129,009 patent/US6081652A/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-08-05 SG SG1998002779A patent/SG70106A1/en unknown
- 1998-08-06 EP EP98114772A patent/EP0900858B1/de not_active Expired - Lifetime
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