JP2718463B2 - チタン蒸発源の保持通電装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は蒸発型のチタンゲッタポ
ンプに係り、特に、蒸発源自身に直接に通電することに
よって蒸発源を発熱せしめ、その熱によってチタンを蒸
発させる方式（直接通電加熱方式）のチタン蒸発源を用
いる場合に、１個のチタン蒸発源から蒸発させ得るチタ
ンの量が多く、かつ保持通電装置に一度に装着可能なチ
タン蒸発源の数が多く、長時間チタンゲッタポンプを作
動させて真空を発生維持するのに好適なチタンの保持通
電装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の、直接通電加熱方式のチタン蒸発
源の保持通電装置は、図２に示す構造を有する。保持通
電装置は、チタン蒸発源６を加熱するために必要とされ
る電流を、真空系外から供給するために複数個の電流導
入用電極２及び３が、真空フランジ１に取り付けられて
いる。そのなかの１個の電流導入用電極２の真空側の接
続端子を４のように延長して、その先端に複数個のチタ
ン蒸発源６の一方の端を固定するための共通端子５を設
け、チタン蒸発源６の他の端を他の電流導入用電極３に
固定するようになっている。実際の使用に際しては、電
流導入用電極３の中の１個３ａと電流導入用電極２とに
電源を接続して通電し、チタン蒸発源６ａを加熱，蒸発
させる。チタン蒸発源６ａがチタンの消耗あるいは溶断
等によって使用に耐えなくなると、電流導入用電極３の
中の他の１個３ｂに電源を繋ぎ換え、新しいチタン蒸発
源６ｂを使用する。このように電流導入用電極３を繋ぎ
換えることによって、組み込んであるチタン蒸発源６
を、順次、使用することが出来る。そして全ての蒸発源
が使用に耐えなくなると、装置を大気に開放して保持通
電装置をとり外し、新しいチタン蒸発源と交換して再び
真空排気を行なう（例えば特開昭51−90016 号公報）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】電流導入用電極２及び
３は、大電流を流してもそれ自身が発熱しないように、
電気抵抗が出来るだけ小さくなるように設計され、かつ
真空中でのガス放出が少ないように金属で出来ている。
一般に電気の良導体は、熱の良導体でもある。このた
め、チタン蒸発源６は均一に発熱するように長さ方向に
一様な組成及び構造を有するが、電流導入用電極に接続
された部分から電流導入用電極に向けて、伝導によって
熱が逃げる。従来技術では、チタン蒸発源の両端が電流
導入用端子に接続されて、両端から熱が逃げる。このた
め、チタン蒸発源の温度分布は図３の実線で示すように
両端部で低くなり、チタンが蒸発するのは高温に保持さ
れる蒸発源の中央部の約２分の１である。両端部のそれ
ぞれ４分の１の部分のチタンは蒸発することなく捨てら
れる。このように従来技術では、チタン蒸発源の約２分
の１の部分が、利用されることなく無駄に捨てられると
いう欠点があった。また、蒸発させて有効に利用し得る
チタンの量が少ないため、使用期間が短くチタン蒸発源
を頻繁に交換しなければならないという欠点があった。

【０００４】本発明の目的は、チタン蒸発源から蒸発さ
せて有効に利用し得る、チタンの量を多くして無駄に捨
てられる部分を減らし、かつチタン蒸発源の交換回数を
減らすことにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的は、以下の手段
によって達成される。

【０００６】加熱に必要とされる電流を真空系外から供
給する、電流導入用電極に直接に接続されない方のチタ
ン蒸発源の端を、２本ずつを１組として電気の導体を用
いて連結する。

【０００７】

【作用】加熱に必要とされる電流を真空系外から供給す
る、電流導入用電極に直接に接続されない方のチタン蒸
発源の端を、２本ずつを１組として電気の導体を用いて
連結して通電加熱すると、連結に用いられる導体は熱容
量が小さく、両端からチタン蒸発源によって加熱される
のに加えて、連結導体自身も多少は発熱するため、容易
に高温となる。連結導体から失われる熱は輻射によるも
ののみで、連結導体の表面積が小さいため、その量は僅
かである。従って、チタン蒸発源と連結導体との温度差
が小さくなり、チタン蒸発源から伝導によって失われる
熱量が極めて小さくなる。この結果、チタン蒸発源の温
度分布は図３の破線で示すようになり、連結導体に接続
される端部も、チタンを蒸発させるに必要な温度に保持
されることになる。このため、チタン蒸発源の中央部か
ら、連結導体に接続された端部までの、チタンを有効に
蒸発させ、利用することができる。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の実施例を図１により説明す
る。保持通電装置は、チタン蒸発源を加熱するために必
要とされる電流を、真空系外から供給するために複数個
の電流導入用電極２及び３が、真空フランジ１に取り付
けられている。この電流用電極２及び３の真空側の接続
端子にチタン蒸発源６の一方の端を固定し、他の端を２
本ずつを１組として連結導体７を用いて接続する。実際
の使用に際しては、連結導体７で接続された２本のチタ
ン蒸発源に電源を接続して通電することによって加熱
し、チタンを蒸発させる。チタン蒸発源６がチタンの消
耗あるいは溶断等によって使用に耐えなくなると、連結
導体で接続された他の２本一組のチタン蒸発源に、電源
を繋ぎ換えて使用する。このように電流導入用電極２及
び３を繋ぎ換えることによって、組み込んであるチタン
蒸発源６を、順次、全て使用することが出来る。

【０００９】連結導体としてタングステン，モリブデ
ン，タンタルやチタン等の高融点金属並びにこれらの金
属の合金を用いることによって、連結導体の溶断による
使用不能等の事故を防ぐことが出来る。

【００１０】

【発明の効果】チタン蒸発源において、従来技術におけ
る中央部の２分の１に加えて、連結導体に接続される端
部に続く４分の１からチタンを蒸発させることが可能と
なるので、１本のチタン蒸発源の有効利用部分が従来の
１.５ 倍となり、無駄に捨てられる部分が減って省資源
の効果がある。また、図２における共通端子５及び延長
電極４が不要になるので、電流導入用電極２にも図１に
示すようにチタン蒸発源を取り付けることができ、保持
通電装置に取り付けることの出来るチタン蒸発源が１本
増加する。加えて、保持通電装置の構造が簡素化され
る。チタン蒸発源の利用可能部分の１.５ 倍増、及び、
チタン蒸発源の取付け数の増加により、１台の保持通電
装置から蒸発利用できるチタンの量が１.５ 倍以上にな
る。従って、保持通電装置の全てのチタン蒸発源が使用
に耐えなくなって、チタン蒸発源を交換するまでの時間
が１.５ 倍以上に長くなる。このため、チタン蒸発源を
交換する回数が減少して真空装置の運転，保守が簡単化
され、装置を真空に保持して作業を行なう時間に対す
る、チタン蒸発源交換に要する無駄な時間の割合が小さ
くなり、真空装置の利用効率が高まる。

【図面の簡単な説明】

【図１】保持通電装置の構成を示す斜視図。

【図２】保持通電装置の構成を示す斜視図。

【図３】チタン蒸発源の温度分布を示す特性図。

【符号の説明】

１…真空フランジ、２，３…電流導入用電極、４…延長
電極、５…共通端子、６…チタン蒸発源、７…連結導
体。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】直接通電加熱により複数のチタン蒸発源を
   加熱してチタンを蒸発させ真空系内に供給する構造のチ
   タンゲッタポンプであって、上記複数のチタン蒸発源
   は、加熱に必要とされる電流を真空系外から供給する、
   電流導入用電極に直接に接続されない方のチタン蒸発源
   の端を、２本ずつを一組として連結導体により連結して
   なることを特徴とするチタン蒸発源の保持通電装置。