DE10015847C2 - Vorrichtung zum Bedampfen von Schwarzweiß- oder Farbbildröhren mit Aluminium - Google Patents
Vorrichtung zum Bedampfen von Schwarzweiß- oder Farbbildröhren mit AluminiumInfo
- Publication number
- DE10015847C2 DE10015847C2 DE2000115847 DE10015847A DE10015847C2 DE 10015847 C2 DE10015847 C2 DE 10015847C2 DE 2000115847 DE2000115847 DE 2000115847 DE 10015847 A DE10015847 A DE 10015847A DE 10015847 C2 DE10015847 C2 DE 10015847C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- evaporator
- clamping
- flash
- flash evaporator
- base body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2209/00—Apparatus and processes for manufacture of discharge tubes
- H01J2209/01—Generalised techniques
- H01J2209/012—Coating
- H01J2209/015—Machines therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Bedampfen von
Schwarzweiß- oder Farbbildröhren mit Aluminium umfassend eine
stirnseitige Einspannvorrichtung und einen keramischen Blitz-
Verdampfer.
Schwarzweiß- oder Farbbildröhren werden mit Aluminium bedampft,
um eine elektrisch leitende Schicht von einigen 100 nm in den
Bildröhren zu erzeugen. Diese Schicht stellt die Elektrode zur
Beschleunigung der Elektronen in der funktionsfertigen Bildröh
re dar.
Die Bedampfung erfolgt in einer Bedampfungsanlage in der zahl
reiche Vorrichtungen zum Bedampfen von Schwarzweiß- oder Farb
bildröhren mit Aluminium vorhanden sind. Die einzelne Vorrich
tung zum Bedampfen einer Bildröhre mit Aluminium besteht aus
einem Blitz-Verdampfer und einer Vorrichtung zur Einspannung
des Blitz-Verdampfers.
Die Maße der bekannten Blitz-Verdampfer betragen üblicherweise
4 × 6 × 110 mm. In den Verdampfer wird in der Regel eine Kavi
tät mit rechteckigem Querschnitt (Fig. 1 Schnitt A-A) durch
Schleifen oder Fräsen eingearbeitet. Die Kavität hat üblicher
weise die Dimension 2 × 4 × 40 mm oder 2 × 4 × 60 mm. Die
Blitz-Verdampfer werden in der Bedampfungsanlage üblicherweise
seitlich eingespannt, wobei die Klemmung auf der Stahleinspan
nung, die mit einer Nut zur Aufnahme des Verdampfers versehen
ist, mittels einer Stahlplatte und Schrauben erfolgt. Die Klem
mung kann im einfachsten Fall auch mit Hilfe von Schrauben zwi
schen Stahlplatten erfolgen, wie dies beispeilsweise aus DE 197 35 814
bekannt und in Fig. 1 dargestellt ist. Die Stahlplatten
sind über Kabel mit einer Stromquelle verbunden, wobei zur bes
seren Kontaktierung zwischen Stahlplatte und Verdampfer eine
Graphitfolie liegt. Die Breite der seitlichen Einspannung beträgt
an den Enden etwa 15 mm, so daß sich mit einer Verdamp
ferlänge von 110 mm eine aufzuheizende Länge (wirksame Länge)
des Blitz-Verdampfers von 80 mm ergibt. Solche üblichen Ein
spannvorrichtungen sind z. B. in US 5,410,631 beschrieben.
Das Bedampfen der Bildröhren erfolgt folgendermaßen:
In die Kavität des Blitz-Verdampfers wird ein Stück Aluminium (< 100 mg), in der Regel als zylinderförmiger Al-Körper (ein sog. Pellet), gelegt. Über dem Blitz-Verdampfer wird der zu be dampfende Bildröhrendeckel in geeigneter Entfernung positio niert. Anschließend erfolgt die Evakuierung des Raumes unter halb des Bildröhrendeckels, so daß der Blitz-Verdampfer mit der Einspannung in diesem Vakuum liegt (ca. 10-5 mbar).
In die Kavität des Blitz-Verdampfers wird ein Stück Aluminium (< 100 mg), in der Regel als zylinderförmiger Al-Körper (ein sog. Pellet), gelegt. Über dem Blitz-Verdampfer wird der zu be dampfende Bildröhrendeckel in geeigneter Entfernung positio niert. Anschließend erfolgt die Evakuierung des Raumes unter halb des Bildröhrendeckels, so daß der Blitz-Verdampfer mit der Einspannung in diesem Vakuum liegt (ca. 10-5 mbar).
Durch direkten Stromdurchgang wird der Blitz-Verdampfer erhitzt
und das in seiner Kavität liegende Aluminium zunächst aufge
schmolzen und dann verdampft. Die Zeit, die für diesen Vorgang
benötigt wird, beträgt von ca. 40 sec. bis zu 2 min. Die Strom
dichten, die dabei auftreten, erreichen Werte bis zu 103 A/cm2.
Die hohe Strom- und Temperaturbelastung begrenzt die Lebensdau
er des Blitz-Verdampfers, so daß er üblicherweise nach 500-
900 Aufheizzyklen ausgetauscht werden muß.
Die übliche seitliche Einspannung birgt ein großes Risiko hin
sichtlich einer unsymmetrischen mechanischen Belastung des Ver
dampfers beim Einspannen bzw. Anziehen der für die Klemmung be
nötigten Schrauben. Häufig wird der Verdampfer durch das Anzie
hen der Schrauben auf Torsion und/oder Biegung beansprucht, was
zu thermomechanischen Spannungen im Verlauf des Aufheizzyklus
führt. Dies kann zum Versagen des Verdampfers durch Bruch füh
ren.
US 3 387 116, DE 196 32 581 A1 und DE 41 23 342 C2 offenbaren
Widerstandsverdampfer zur Metallbeschichtung umfassend ein Ver
dampferschiffchen und beidseitige Kontaktblöcke mit planpara
lellen Kontaktflächen, wobei ein Kontaktblock ortsfest und der
gegenüberliegende axial verschieblich mit Federkraft beauf
schlagt angeordnet ist. Die Kontaktblöcke sind von Stützen
gehalten und elektrisch voneinander getrennt und die Einspann
kraft ist über die Federspannung einstellbar.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung zum
Bedampfen von Schwarzweiß- oder Farbbildröhren mit Aluminium
umfassend eine Einspannvorrichtung und einen keramischen Blitz-
Verdampfer zur Verfügung zu stellen, welche die Probleme der
üblichen Einspannung vermeidet.
Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Einspannvorrichtung
(1) aus einem elektrisch isolierenden Grundkörper (2) und zwei
Einspannblöcken (3, 4) besteht, wobei der Grundkörper (2) die
zwei Einspannblöcke (3) und (4) elektrisch voneinander trennt
und die zwei Einspannblöcke (3, 4) den Blitz-Verdampfer (5) an
seinen Stirnflächen mittels je einer planparallelen Kontaktflä
che fixieren und die Stromeinleitung in den Blitz-Verdampfer
(5) durch diese planparallelen Kontaktflächen erfolgt, wobei
der eine Einspannblock (3) am Grundkörper (2) fixiert ist und
der andere Einspannblock (4) axial beweglich ist und mittels
einer Feder (6) so vorgespannt werden kann, daß bei eingespann
tem Verdampfer (5) die Einstellung einer definierten axialen
Einspannkraft möglich ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Ein
spannblock (3) mit dem Grundkörper (2) verschraubt ist und der
Einspannblock (4) mit Hilfe eines Stiftes (7) gegen Verdrehung
gegenüber dem Grundkörper (2) gesichert und formschlüssig mit
einer Gewindestange (8) verbunden ist, wobei die Gewindestange
(8) im Grundkörper (2) so gelagert ist, daß sie in Längsrich
tung verschiebbar und in Umfangsrichtung drehbar ist und wobei
sich auf der Gewindestange (8) eine Feder (6) und eine Schraube
(9) befinden, und die Feder (6) mittels der Schraube (9) vorge
spannt werden kann, sobald der Blitz-Verdampfer (5) zwischen
die planparallelen Kontaktflächen der Einspannblöcke (3) und
(4) eingebracht wird.
Fig. 2 zeigt eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vor
richtung. In Fig. 2 erfolgt die formschlüssige Verbindung von
Einspannblock (4) mit der Gewindestange (8) durch einen Gewin
destift (10).
Die Vorspannung der Feder (6) mittels der Schraube (9) erfolgt
vorzugsweise mit Hilfe eines Werkzeuges, vorzugsweise mit Hilfe
eines Drehmomentschlüssels. Dadurch ist die Einstellung einer
definierten Einspannkraft möglich.
Vorzugsweise besteht der elektrisch isolierende Grundkörper (2)
aus einer elektrisch isolierenden Keramik, besonders bevorzugt
aus einer BN-Keramik.
Vorzugsweise bestehen die Einspannblöcke (3; 4) der Einspann
vorrichtung (1) aus Stahl, besonders bevorzugt aus Edelstahl.
Vorzugsweise handelt es sich bei der Feder (6) um eine Teller
feder oder ein Paket aus Tellerfedern oder um eine Spiralfeder.
Vorzugsweise ist die Feder aus einem hochtemperaturfestem Stahl
gefertigt, der besonders bevorzugt für Betriebstemperaturen bis
500°C geeignet ist.
Die Stromzufuhr zum Erhitzen des Blitz-Verdampfers erfolgt in
üblicher Weise über die Einspannblöcke. Zur Verbesserung des
elektrischen Kontaktes zwischen Verdampfer und den Einspannblö
cken wird vorzugsweise eine Graphitfolie zwischen die jeweilige
Verdampferkontaktfläche und die jeweilige Kontaktfläche des
Einspannblockes geklemmt.
Im Verlauf des Erhitzens eines in einer Einspannvorrichtung be
festigten Verdampfers kommt es zu einer thermischen Ausdehnung
des Verdampfers. Die thermische Ausdehnung eines Blitz-
Verdampfers üblicher Dimension bei der Aufheizung von Raumtem
peratur auf Betriebstemperatur beträgt ca. 1-2 mm. Die Kom
pensation der thermischen Ausdehnung des Verdampfers im Verlauf
der Aufheizung erfolgt in der erfindungsgemäßen Einspannvor
richtung durch die Feder (6). Es ist daher erforderlich, daß
ein ausreichender Federweg (in der Regel mindestens etwa zwei
mm) zur Verfügung steht, der in einer erfindungsgemäßen Vor
richtung eine Vergrößerung des Abstandes zwischen den Kontakt
flächen der Einspannblöcke um mindestens die thermische Dehnung
des Blitz-Verdampfers zuläßt. Dies ist notwendig, um während
der Aufheizung des Blitz-Verdampfers und der Verdampfung des
Aluminiums aus dem Blitz-Verdampfer eine Biegebeanspruchung des
Blitz-Verdampfers zu vermeiden. Die Federkonstante ist daher
vorzugsweise so gewählt, daß bei thermischer Dehnung des Blitz-
Verdampfers die zur Verkürzung der Feder um die Länge der ther
mischen Dehnung des Blitz-Verdampfers notwendige Kraft kleiner
ist, als die Kraft, die durch die thermische Dehnung des Blitz-
Verdampfers von diesem auf den beweglichen Einspannblock ausge
übt wird. Voraussetzung dafür ist, daß die Bewegung der Gewin
destange im Isolationskörper weitgehend reibungsfrei erfolgt.
Liegt eine nicht zu vernachlässigende Reibung zwischen Gewinde
stange und dem isolierenden Grundkörper vor, so sollte die Fe
derkraft um die wirkende Reibungskraft vermindert werden, was
eine entsprechend geringere Federkonstante D zur Folge hat.
Die Federkonstante D läßt sich beispielsweise wie folgt ab
schätzen:
Die für Verdampferschiffchen in Bandbedampfungsanlagen aufge brachte Einspannkraft beträgt ca. 70 N/cm2, so daß für Blitz- Verdampfer mit dem Querschnitt 4 × 6 mm2 eine Einspannkraft von ca. 16,8 N notwendig ist. Der thermische Ausdehnungskoeffizient für übliches TiB2/BN/AlN Verdampfermaterial beträgt ca. 5- 8 . 10-6 l/K, so daß sich bei einer Betriebstemperatur von ca. 1700°C eine thermische Dehnung von 0,7-1,1 mm für besonders bevorzugt in der erfindungsgemäßen Einspannung einsetzbare Blitz-Verdampfer einer Länge von 80 mm ergibt. Für übliche Blitz-Verdampfer (110 mm Länge)ergibt sich eine thermische Deh nung von 0,9-1,5 mm.
Die für Verdampferschiffchen in Bandbedampfungsanlagen aufge brachte Einspannkraft beträgt ca. 70 N/cm2, so daß für Blitz- Verdampfer mit dem Querschnitt 4 × 6 mm2 eine Einspannkraft von ca. 16,8 N notwendig ist. Der thermische Ausdehnungskoeffizient für übliches TiB2/BN/AlN Verdampfermaterial beträgt ca. 5- 8 . 10-6 l/K, so daß sich bei einer Betriebstemperatur von ca. 1700°C eine thermische Dehnung von 0,7-1,1 mm für besonders bevorzugt in der erfindungsgemäßen Einspannung einsetzbare Blitz-Verdampfer einer Länge von 80 mm ergibt. Für übliche Blitz-Verdampfer (110 mm Länge)ergibt sich eine thermische Deh nung von 0,9-1,5 mm.
Damit läßt sich die vorzugsweise verwendete maximale Federkon
stante Dmax, unter der Annahme, daß der Federweg s mindestens
der thermischen Dehnung des Verdampfers entsprechen muß, für
Blitz-Verdampfer der besonders bevorzugten Länge von 80 mm wie
folgt abschätzen:
Federkonstante D = Federkraft F/Federweg s
Dmax = 16,8 N/1,1 mm = 15,3 N/mm
Federkonstante D = Federkraft F/Federweg s
Dmax = 16,8 N/1,1 mm = 15,3 N/mm
Für andere Längen läßt sich der bevorzugte maximale Federkon
stante Dmax analog berechnen.
Insgesamt ist in der erfindungsgemäßen stirnseitigen Einspann
vorrichtung eine torsions- und biegefreie Einspannung des Ver
dampfers realisiert.
Vorzugsweise umfaßt die erfindungsgemäße Vorrichtung einen Ver
dampfer mit einer verkürzten Verdampferlänge.
Wie erläutert, beträgt die wirksame Länge des in herkömmlicher
Weise seitlich eingespannten Blitz-Verdampfers ca. 80 mm, da
die restliche Länge für die Fixierung des Verdampfers in der
Einspannvorrichtung benötigt wird. In der erfindungsgemäßen
Vorrichtung mit stirnseitiger Einspannung dagegen ist die wirk
same Länge des Verdampfers mit der Verdampferlänge identisch,
so daß zur Erzielung eines vergleichbaren Verdampfungseffektes
wesentlich kürzere Verdampfer verwendet werden können.
Vorzugsweise ist die erfindungsgemäße Vorrichtung so aufgebaut,
daß auf einem elektrisch isolierenden Grundkörper zwei Ein
spannblöcke mit planparallelen Kontaktflächen befestigt sind.
In diesem Fall werden verkürzte Blitz-Verdampfer eingesetzt,
was zu weiteren Vorteilen im Betrieb führt.
Vorzugsweise ist die erfindungsgemäßen Vorrichtung daher da
durch gekennzeichnet, daß sie Blitz-Verdampfer einer Verdamp
ferlänge umfaßt, die dem Abstand der planparallelen Kontaktflä
chen der erfindungsgemäßen stirnseitigen Einspannvorrichtung im
unbelasteten Zustand entspricht.
Die Blitz-Verdampfer haben dabei vorzugsweise eine Verdampfer
länge von ≦ 90 mm. Besonders bevorzugt haben sie eine Verdamp
ferlänge ≦ 80 mm. Sie sind damit wesentlich kürzer als herkömm
liche Standard Blitz-Verdampfer (110 mm).
Die Blitz-Verdampfer bestehen vorzugsweise aus für keramische
Verdampfer üblichen Materialien wie z. B. einem Material auf
TiB2-AlN-BN-Basis oder aus Graphit mit pyrolytischer BN-
Beschichtung.
Vorzugsweise umfaßt die erfindungsgemäße Vorrichtung Blitz-
Verdampfer mit einer elliptischen Außenkontur. Der Blitz-
Verdampfer besitzt zudem vorzugsweise eine Kavität die im Quer
schnitt durch den Blitz-Verdampfer dreiecksförmig ist. Die bei
den Seitenflächen der dreiecksförmigen Kavität können dabei ge
rade oder konvex oder konkav gekrümmt sein. Der tiefste Punkt
der Kavität kann als Radius ausgebildet sein. Solche Formen von
Außenkontur und Kavität sind in der deutschen Patentanmeldung
DE A 199 56 811 beschrieben.
Folgende Vorteile werden mit einer erfindungsgemäßen stirnsei
tigen Einspannung im Vergleich zu einer herkömmlichen seitli
chen Einspannung erzielt:
- - Torsions- und biegefreie Einspannung des Verdampfers
- - Gewährleistung des elektrischen Kontaktes in allen Betriebs zuständen durch eine Feder
- - Kompensation der thermischen Ausdehnung des Verdampfers durch eine Feder
- - Reduzierung der Verdampferlänge unter Beibehaltung der Gebrauchseigenschaften, insbesondere des Blitz-Verhaltens.
Aus üblichem keramischen Material für Blitz-Verdampfer (beste
hend aus TiB2, BN und AlN) wurden Blitz-Verdampfer folgender
Abmessungen gefertigt:
- a) Maß: 4 × 6 × 110 mm; Kavität: 2 × 4 × 60 mm (geschliffen)
- b) Maß: 4 × 6 × 80 mm; Kavität: 2 × 4 × 60 mm (geschliffen)
Die gefertigten Blitz-Verdampfer unterscheiden sich ausschließ
lich in ihrer Länge.
Die üblichen Blitz-Verdampfer mit 110 mm Länge wurden in übli
cher Weise seitlich eingespannt, wobei die Klemmung des Blitz-
Verdampfers auf einer mit einer Nut versehenen Stahl
einspannung mittels einer Stahlplatte und Schrauben erfolgte
(Standardeinspannung).
Die Blitz-Verdampfer mit einer Länge von 80 mm wurden in einer
erfindungsgemäßen Entspannvorrichtung eingespannt. Für beide
Einspannungen wurde zur besseren Kontaktierung zwischen Stahl
platte und Verdampfer bzw. Einspannblöcken und Verdampferstirn
seiten eine Graphitfolie eingeklemmt.
Fig. 3 und 4 zeigen den Stromverlauf [A] in Abhängigkeit der
Zeit [s] für Standardverdampfer in einer Standardeinspannung
(Fig. 3) und für Verdampfer in einer erfindungsgemäßen Ein
spannvorrichtung (Fig. 4) für folgenden Flash-Zyklus:
- a) Einschalten der Spannung nach 3 sec.
- b) 3-28 sec: 4,5 V (Vorheizspannung)
- c) 28-53 sec: 9,0 V (Flash-Spannung)
- d) Abschaltung der Spannung nach 53 sec.
In den jeweiligen Blitz-Verdampfer wurde ein Aluminiumpellet in
Form eines Zylinders mit einer Masse von 100 mg eingelegt.
Der Flash-Zyklus wurde für beide Versuchsanordnungen mehrfach
wiederholt. Die entsprechenden Stromkurven sind in den Fig. 3
und 4 jeweils übereinander aufgetragen.
Nach dem Einschalten der Spannung steigt in beiden Fällen (Fig.
3 und Fig. 4) der Strom, der durch den jeweiligen Blitz-
Verdampfer fließt, stark an. Während die Spannung 25 sec kon
stant gehalten wird, steigt die Temperatur im Blitz-Verdampfer
an und erreicht asymptotisch eine für die angelegte Spannung
maximale Temperatur, was zu einem asymptotisch, auf einen kon
stanten Wert sinkenden Strom führt. Die Erhöhung der Spannung
nach 28 sec. führt wiederum zu einem sehr raschen Anstieg des
elektrischen Stromes und einer weiteren Steigerung der Tempera
tur des Blitz-Verdampfers. Zunächst fällt die Stromstärke wie
beim Einschalten der Vorheizspannung ab. Sobald der Blitz-
Verdampfer so heiß geworden ist, daß das Aluminium erweicht und
die Oberfläche der Kavität benetzt, steigt die Stromstärke je
doch stark an, da das sich ausbildende Aluminiumbad wie ein pa
rallel geschalteter, niederohmiger Widerstand wirkt. Mit zuneh
mender Verdampfung steigt die Stromstärke zunächst stark an und
fällt dann wieder ab, bis das Aluminium vollständig verdampft
ist. Anschließend stellt sich eine konstante Verdampfertempera
tur ein, was sich in einer konstanten Stromstärke äußert. In
Fig. 3 und Fig. 4 ist deutlich zu erkennen, daß der Zeitpunkt
der Aluminiumverdampfung im Fall der Verwendung einer erfin
dungsgemäßen Einspannvorrichtung und eines beschriebenen Blitz-
Verdampfers wesentlich besser reproduzierbar ist.
Für die beiden Versuchsanordnungen wurde die Lebensdauer der
Blitz-Verdampfer ermittelt, wobei das Kriterium für die Lebens
dauer die vollständige Verdampfung des Aluminiums während des
vorgegebenen Flash-Zyklus war.
Der übliche Blitz-Verdampfer in der Standardeinspannung er
reichte eine Zykluszahl von 857 Flashes. Der erfindungsgemäß zu
verwendende Blitz-Verdampfer erreichte in der erfindungsgemäßen
Einspannvorrichtung mit 1.154 Flashes eine ca. 30% höhere Le
bensdauer, was auf die verbesserten Einspannbedingungen zurück
zuführen ist, zumal sowohl das ausgewählte Material als auch
die Strombelastung für beide Versuchsanordnungen identisch wa
ren.
Claims (10)
1. Vorrichtung zum Bedampfen von Schwarz-Weiß- oder Farbbild
röhren mit Aluminium umfassend eine Einspannvorrichtung und
einen keramischen Blitz-Verdampfer, wobei die Einspannvor
richtung (1) aus einem elektrisch isolierenden Grundkörper
(2) und zwei Einspannblöcken (3, 4) besteht, wobei der
Grundkörper (2) die zwei Einspannblöcke (3) und (4) elekt
risch voneinander trennt und die zwei Einspannblöcke (3, 4)
den Blitz-Verdampfer (5) an seinen Stirnflächen mittels je
einer planparallelen Kontaktfläche fixieren und die Strom
einleitung in den Blitz-Verdampfer (5) durch diese planpa
rallelen Kontaktflächen erfolgt, wobei der eine Einspann
block (3) am Grundkörper (2) fixiert ist und der andere Ein
spannblock (4) axial beweglich ist und mittels einer Feder
(6) so vorgespannt werden kann, daß bei eingespanntem Ver
dampfer (5) die Einstellung einer definierten axialen Ein
spannkraft möglich ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Ein
spannblock (3) mit dem Grundkörper (2) verschraubt ist und
der Einspannblock (4) mit Hilfe eines Stiftes (7) gegen Ver
drehung gegenüber dem Grundkörper (2) gesichert und form
schlüssig mit einer Gewindestange (8) verbunden ist, wobei
die Gewindestange (8) im Grundkörper (2) so gelagert ist,
daß sie in Längsrichtung verschiebbar und in Umfangsrichtung
drehbar ist und wobei sich auf der Gewindestange (8) eine
Feder (6) und eine Schraube (9) befinden, und die Feder (6)
mittels der Schraube (9) vorgespannt werden kann, sobald der
Blitz-Verdampfer (5) zwischen die planparallelen Kontaktflä
chen der Einspannblöcke (3) und (4) eingebracht wird.
2. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die formschlüssige Verbindung von Einspannblock (4) mit der
Gewindestange (8) durch einen Gewindestift (10) erfolgt.
3. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß der elektrisch isolierende Grundkörper (2)
aus einer elektrisch isolierenden Keramik besteht.
4. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Einspannblöcke (3, 4) aus Stahl beste
hen.
5. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Feder (6) eine Tellerfeder oder ein
Tellerfederpaket oder eine Spiralfeder ist.
6. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Blitz-Verdampfer (5) eine Verdampfer
länge besitzt, die dem Abstand der planparallelen Kontakt
flächen der Einspannblöcke (3, 4) im unbelasteten Zustand
entspricht.
7. Vorrichtung gemäß Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
der Blitz-Verdampfer eine Länge von 90 mm hat.
8. Vorrichtung gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß
der Blitz-Verdampfer eine elliptische Außenkontur besitzt.
9. Vorrichtung gemäß Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß
der Blitz-Verdampfer eine Kavität, die im Querschnitt durch
den Blitz-Verdampfer dreiecksförmig ist, besitzt.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Blitz-Verdampfer aus keramischem Ver
dampfermaterial auf Basis von TiB2-AlN-BN oder aus Graphit
mit pyrolytischer BN-Beschichtung besteht.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000115847 DE10015847C2 (de) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | Vorrichtung zum Bedampfen von Schwarzweiß- oder Farbbildröhren mit Aluminium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000115847 DE10015847C2 (de) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | Vorrichtung zum Bedampfen von Schwarzweiß- oder Farbbildröhren mit Aluminium |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10015847A1 DE10015847A1 (de) | 2001-10-31 |
DE10015847C2 true DE10015847C2 (de) | 2002-03-14 |
Family
ID=7636988
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2000115847 Expired - Fee Related DE10015847C2 (de) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | Vorrichtung zum Bedampfen von Schwarzweiß- oder Farbbildröhren mit Aluminium |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10015847C2 (de) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3387116A (en) * | 1965-10-08 | 1968-06-04 | Contiental Can Company Inc | Contacts for vaporizers employed in vacuum metallizing |
US5410631A (en) * | 1993-09-10 | 1995-04-25 | Advanced Ceramics Corporation | Clamp assembly for a vaporization boat |
DE19632581A1 (de) * | 1996-08-13 | 1998-02-19 | Leybold Systems Gmbh | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
DE19735814A1 (de) * | 1997-08-18 | 1999-02-25 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Keramische Flash-TV-Verdampfer |
DE4123342C2 (de) * | 1991-07-15 | 1999-08-19 | Leybold Ag | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
DE19823908A1 (de) * | 1998-05-28 | 1999-12-02 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Elliptischer keramischer Verdampfer |
-
2000
- 2000-03-30 DE DE2000115847 patent/DE10015847C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3387116A (en) * | 1965-10-08 | 1968-06-04 | Contiental Can Company Inc | Contacts for vaporizers employed in vacuum metallizing |
DE4123342C2 (de) * | 1991-07-15 | 1999-08-19 | Leybold Ag | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
US5410631A (en) * | 1993-09-10 | 1995-04-25 | Advanced Ceramics Corporation | Clamp assembly for a vaporization boat |
DE19632581A1 (de) * | 1996-08-13 | 1998-02-19 | Leybold Systems Gmbh | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
DE19735814A1 (de) * | 1997-08-18 | 1999-02-25 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Keramische Flash-TV-Verdampfer |
DE19823908A1 (de) * | 1998-05-28 | 1999-12-02 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Elliptischer keramischer Verdampfer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10015847A1 (de) | 2001-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2510214C3 (de) | Lampenhalterung für sich stark erwärmende Lampen | |
EP0386588B1 (de) | Quecksilberniederdruckentladungslampe | |
EP0205897A2 (de) | Abbrandkontaktstück und Verfahren zur Herstellung eines solchen Abbrandkontaktstückes oder eines vergleichbaren Bauteils | |
DE3423085A1 (de) | Vorrichtung zur regelung bzw. begrenzung wenigstens eines temperaturwertes bzw. eines temperaturbereiches von strahlungs- bzw. kontaktheizkoerpern | |
DE2323512C3 (de) | Schmelzsicherung | |
DE10015847C2 (de) | Vorrichtung zum Bedampfen von Schwarzweiß- oder Farbbildröhren mit Aluminium | |
EP0900858B1 (de) | Keramische Flash-Verdampfer | |
DE2612285A1 (de) | Elektronengeraet | |
EP0394693A2 (de) | Temperatur-Schaltgerät | |
DE10307933B3 (de) | Kalibriervorrichtung | |
DE1900569B2 (de) | Festkorper-Ionenquelle | |
DE3906480A1 (de) | Heizkoerper fuer elektrowaermegeraete, insbesondere fuer eine heisskleber-pistole, mit wenigstens einem temperaturabhaengigen widerstand | |
DE1541003B1 (de) | Magnetron | |
DD147391A5 (de) | Elektrische gluehkerze fuer verbrennungsmotoren | |
DE8705725U1 (de) | Einkristall mit Widerstandsheizung | |
DE4409866C2 (de) | Elektrischer Feuchtigkeitssensor | |
DE3037223C2 (de) | ||
DE3001622C2 (de) | Tragvorrichtung für eine Glühkathode | |
EP1148313A2 (de) | Elektrothermische Anzündvorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
WO2000062309A1 (de) | Stützisolator | |
DE19708599C1 (de) | Keramisches, widerstandsbeheiztes Verdampferschiffchen sowie dessen Verwendung | |
DE3601634C2 (de) | Vorrichtung zum Regeln oder Begrenzen der Temperatur von Strahlungs- oder Kontaktheizkörpern | |
DE3245167C2 (de) | ||
DE3930203A1 (de) | Katodenhalter fuer einen elektronenstrahlerzeuger | |
DE19539961C1 (de) | Verfahren zum thermischen Verdampfen von elektrisch leitfähigen Materialien |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: WACKER-CHEMIE GMBH, 81737 MUENCHEN, DE |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |