DE10015847A1 - Vorrichtung zum Bedampfen von Schwarzweiß- oder Farbbildröhren mit Aluminium - Google Patents
Vorrichtung zum Bedampfen von Schwarzweiß- oder Farbbildröhren mit AluminiumInfo
- Publication number
- DE10015847A1 DE10015847A1 DE2000115847 DE10015847A DE10015847A1 DE 10015847 A1 DE10015847 A1 DE 10015847A1 DE 2000115847 DE2000115847 DE 2000115847 DE 10015847 A DE10015847 A DE 10015847A DE 10015847 A1 DE10015847 A1 DE 10015847A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- flash
- evaporator
- clamping
- base body
- clamping blocks
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2209/00—Apparatus and processes for manufacture of discharge tubes
- H01J2209/01—Generalised techniques
- H01J2209/012—Coating
- H01J2209/015—Machines therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Vorrichtung zum Bedampfen von Schwarz-Weiß- oder Farbbildröhren mit Aluminium, umfassend eine Einspannvorrichtung und einen keramischen Flash-TV-Verdampfer, dadurch gekennzeichnet, daß die Einspannvorrichtung (1) aus einem elektrisch isolierenden Grundkörper (2) und zwei Einspannblöcken (3, 4) besteht, wobei der Grundkörper (2) die zwei Einspannblöcke (3) und (4) elektrisch voneinander trennt und die zwei Einspannblöcke (3, 4) den Flash-TV-Verdampfer (5) an seinen Stirnflächen mittels je einer planparallelen Kontaktfläche fixieren und die Stromeinleitung in den Flash-TV-Verdampfer (5) durch diese planparallelen Kontaktflächen erfolgt, wobei der eine Einspannblock (3) am Grundkörper (2) fixiert ist und der andere Einspannblock (4) axial beweglich ist und mittels einer Feder (6) so vorgespannt werden kann, daß bei eingespanntem Verdampfer (5) die Einstellung einer definierten axialen Einspannkraft möglich ist.
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Bedampfen von
Schwarzweiß- oder Farbbildröhren mit Aluminium umfassend eine
stirnseitige Einspannvorrichtung und einen keramischen Flash-
TV-Verdampfer.
Schwarzweiß- oder Farbbildröhren werden mit Aluminium bedampft,
um eine elektrisch leitende Schicht von einigen 100 nm in den
Bildröhren zu erzeugen. Diese Schicht stellt die Elektrode zur
Beschleunigung der Elektronen in der funktionsfertigen Bildröh
re dar.
Die Bedampfung erfolgt in einer Bedampfungsanlage in der zahl
reiche Vorrichtungen zum Bedampfen von Schwarzweiß- oder Farb
bildröhren mit Aluminium vorhanden sind. Die einzelne Vorrich
tung zum Bedampfen einer Bildröhre mit Aluminium besteht aus
einem Flash-TV-Verdampfer und einer Vorrichtung zur Einspannung
des Flash-TV-Verdampfers.
Die Maße der Flash-TV-Verdampfer betragen üblicherweise 4 × 6 ×
110 mm. In den Verdampfer wird in der Regel eine Kavität mit
rechteckigem Querschnitt (Fig. 1 Schnitt A-A) durch Schleifen
oder Fräsen eingearbeitet. Die Kavität hat üblicherweise die
Dimension 2 × 4 × 40 mm oder 2 × 4 × 60 mm. Die Flash-TV-
Verdampfer werden in der Bedampfungsanlage üblicherweise seit
lich eingespannt, wobei die Klemmung auf der Stahleinspannung,
die mit einer Nut zur Aufnahme des Verdampfers versehen ist,
mittels einer Stahlplatte und Schrauben erfolgt. Die Klemmung
kann im einfachsten Fall auch mit Hilfe von Schrauben zwischen
Stahlplatten erfolgen, wie dies in Fig. 1 dargestellt ist. Die
Stahlplatten sind über Kabel mit einer Stromquelle verbunden,
wobei zur besseren Kontaktierung zwischen Stahlplatte und Ver
dampfer eine Graphitfolie liegt. Die Breite der seitlichen Ein
spannung beträgt an den Enden etwa 15 mm, so daß sich mit einer
Verdampferlänge von 110 mm eine aufzuheizende Länge (wirksame
Länge) des Flash-TV-Verdampfers von 80 mm ergibt. Solche übli
chen Einspannvorrichtungen sind z. B. in US 5,410,631 beschrie
ben.
Das Bedampfen der Bildröhren erfolgt folgendermaßen:
In die Kavität des Flash-TV-Verdampfers wird ein Stück Alumini
um (< 100 mg), in der Regel als zylinderförmiger Al-Körper (ein
sog. Pellet), gelegt. Über dem Flash-TV-Verdampfer wird der zu
bedampfende Bildröhrendeckel in geeigneter Entfernung positio
niert. Anschließend erfolgt die Evakuierung des Raumes unter
halb des Bildröhrendeckels, so daß der Flash-TV-Verdampfer mit
der Einspannung in diesem Vakuum liegt (ca. 10-5 mbar).
Durch direkten Stromdurchgang wird der Flash-TV-Verdampfer er
hitzt und das in seiner Kavität liegende Aluminium zunächst
aufgeschmolzen und dann verdampft. Die Zeit, die für diesen
Vorgang benötigt wird, beträgt von ca. 40 sec. bis zu 2 min.
Die Stromdichten, die dabei auftreten, erreichen Werte bis zu
103 A/cm2. Die hohe Strom- und Temperaturbelastung begrenzt die
Lebensdauer des Flash-TV-Verdampfers, so daß er üblicherweise
nach 500-900 Aufheizzyklen ausgetauscht werden muß.
Die übliche seitliche Einspannung birgt ein großes Risiko hin
sichtlich einer unsymmetrischen mechanischen Belastung des Ver
dampfers beim Einspannen bzw. Anziehen der für die Klemmung be
nötigten Schrauben. Häufig wird der Verdampfer durch das Anzie
hen der Schrauben auf Torsion und/oder Biegung beansprucht, was
zu thermomechanischen Spannungen im Verlauf des Aufheizzyklus
führt. Dies kann zum Versagen des Verdampfers durch Bruch füh
ren.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung zum
Bedampfen von Schwarzweiß- oder Farbbildröhren mit Aluminium
umfassend eine Einspannvorrichtung und einen keramischen Flash-
TV-Verdampfer zur Verfügung zu stellen, welche die Probleme der
üblichen Einspannung vermeidet.
Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Einspannvorrichtung
(1) aus einem elektrisch isolierenden Grundkörper (2) und zwei
Einspannblöcken (3, 4) besteht, wobei der Grundkörper (2) die
zwei Einspannblöcke (3) und (4) elektrisch voneinander trennt
und die zwei Einspannblöcke (3, 4) den Flash-TV-Verdampfer (5)
an seinen Stirnflächen mittels je einer planparallelen Kontakt
fläche fixieren und die Stromeinleitung in den Flash-TV-
Verdampfer (5) durch diese planparallelen Kontaktflächen er
folgt, wobei der eine Einspannblock (3) am Grundkörper (2) fi
xiert ist und der andere Einspannblock (4) axial beweglich ist
und mittels einer Feder (6) so vorgespannt werden kann, daß bei
eingespanntem Verdampfer (5) die Einstellung einer definierten
axialen Einspannkraft möglich ist.
Fig. 2 zeigt eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vor
richtung, bei der ein Einspannblock (3) mit dem Grundkörper (2)
verschraubt ist und der andere Einspannblock (4) mit Hilfe ei
nes Stiftes (7) gegen Verdrehung gegenüber dem Grundkörper (2)
gesichert ist und formschlüssig mit einer Gewindestange (8)
verbunden ist, wobei die Gewindestange (8) im Grundkörper (2)
so gelagert ist, daß sie in Längsrichtung verschiebbar und in
Umfangsrichtung drehbar ist und wobei sich auf der Gewindestan
ge (8) eine Feder (6) und eine Schraube (9) befinden, und die
Feder (6) mittels der Schraube (9) vorgespannt werden kann, so
bald der Flash TV-Verdampfer (5) zwischen die planparallelen
Kontaktflächen der Einspannblöcke (3) und (4) eingebracht wird.
In Fig. 2 erfolgt die formschlüssige Verbindung von Einspann
block (4) mit der Gewindestange (8) durch einen Gewindestift
(10).
Die Vorspannung der Feder (6) mittels der Schraube (9) erfolgt
vorzugsweise mit Hilfe eines Werkzeuges, vorzugsweise mit Hilfe
eines Drehmomentschlüssels. Dadurch ist die Einstellung einer
definierten Einspannkraft möglich.
Vorzugsweise besteht der elektrisch isolierende Grundkörper (2)
aus einer elektrisch isolierenden Keramik, besonders bevorzugt
aus einer BN-Keramik.
Vorzugsweise bestehen die Einspannblöcke (3; 4) der Einspann
vorrichtung (1) aus Stahl, besonders bevorzugt aus Edelstahl.
Vorzugsweise handelt es sich bei der Feder (6) um eine Teller
feder oder ein Paket aus Tellerfedern oder um eine Spiralfeder.
Vorzugsweise ist die Feder aus einem hochtemperaturfestem Stahl
gefertigt, der besonders bevorzugt für Betriebstemperaturen bis
500°C geeignet ist.
Die Stromzufuhr zum Erhitzen des Flash TV-Verdampfers erfolgt
in üblicher Weise über die Einspannblöcke. Zur Verbesserung des
elektrischen Kontaktes zwischen Verdampfer und den Einspannblö
cken wird vorzugsweise eine Graphitfolie zwischen die jeweilige
Verdampferkontaktfläche und die jeweilige Kontaktfläche des
Einspannblockes geklemmt.
Im Verlauf des Erhitzens eines in einer Einspannvorrichtung be
festigten Verdampfers kommt es zu einer thermischen Ausdehnung
des Verdampfers. Die thermische Ausdehnung eines Flash-TV-
Verdampfers üblicher Dimension bei der Aufheizung von Raumtem
peratur auf Betriebstemperatur beträgt ca. 1-2 mm. Die Kom
pensation der thermischen Ausdehnung des Verdampfers im Verlauf
der Aufheizung erfolgt in der erfindungsgemäßen Einspannvor
richtung durch die Feder (6). Es ist daher erforderlich, daß
ein ausreichender Federweg (in der Regel mindestens etwa zwei
mm) zur Verfügung steht, der in einer erfindungsgemäßen Vor
richtung eine Vergrößerung des Abstandes zwischen den Kontakt
flächen der Einspannblöcke um mindestens die thermische Dehnung
des Flash-TV-Verdampfers zuläßt. Dies ist notwendig, um während
der Aufheizung des Flash-TV-Verdampfers und der Verdampfung des
Aluminiums aus dem Flash-TV-Verdampfer eine Biegebeanspruchung
des Flash-TV-Verdampfers zu vermeiden. Die Federkonstante ist
daher vorzugsweise so gewählt, daß bei thermischer Dehnung des
Flash-TV-Verdampfers die zur Verkürzung der Feder um die Länge
der thermischen Dehnung des Flash-TV-Verdampfers notwendige
Kraft kleiner ist, als die Kraft, die durch die thermische Deh
nung des Flash-TV-Verdampfers von diesem auf den beweglichen
Einspannblock ausgeübt wird. Voraussetzung dafür ist, daß die
Bewegung der Gewindestange im Isolationskörper weitgehend rei
bungsfrei erfolgt.
Liegt eine nicht zu vernachlässigende Reibung zwischen Gewinde
stange und dem isolierenden Grundkörper vor, so sollte die Fe
derkraft um die wirkende Reibungskraft vermindert werden, was
eine entsprechend geringere Federkonstante D zur Folge hat.
Die Federkonstante D läßt sich beispielsweise wie folgt ab
schätzen:
Die für Verdampferschiffchen in Bandbedampfungsanlagen aufge
brachte Einspannkraft beträgt ca. 70 N/cm2, so daß für TV-
Flash-Verdampfer mit dem Querschnitt 4 × 6 mm2 eine Einspann
kraft von ca. 16,8 N notwendig ist. Der thermische Ausdehnungs
koeffizient für übliches TiB2/BN/AlN Verdampfermaterial be
trägt ca. 5-8 . 10-6 1/K, so daß sich bei einer Betriebstempe
ratur von ca. 1700°C eine thermische Dehnung von 0,7-1,1 mm
für besonders bevorzugt in der erfindungsgemäßen Einspannung
einsetzbare Flash-TV-Verdampfer einer Länge von 80 mm ergibt.
Für übliche Flash-TV-Verdampfer (110 mm Länge)ergibt sich eine
thermische Dehnung von 0,9-1,5 mm.
Damit läßt sich die vorzugsweise verwendete maximale Federkon
stante Dmax, unter der Annahme, daß der Federweg s mindestens
der thermischen Dehnung des Verdampfers entsprechen muß, für
erfindungsgemäße Flash-TV-Verdampfer der besonders bevorzugten
Länge von 80 mm wie folgt abschätzen:
Federkonstante D = Federkraft F/Federweg s
Federkonstante D = Federkraft F/Federweg s
Dmax = 16,8 N/1,1 mm = 15,3 N/mm
Für andere Längen läßt sich der bevorzugte maximale Federkon
stante Dmax analog berechnen.
Insgesamt ist in der erfindungsgemäßen stirnseitigen Einspann
vorrichtung eine torsions- und biegefreie Einspannung des Ver
dampfers realisiert.
Vorzugsweise umfaßt die erfindungsgemäße Vorrichtung einen Ver
dampfer mit einer verkürzten Verdampferlänge.
Wie erläutert, beträgt die wirksame Länge des in herkömlicher
Weise seitlich eingespannten Flash-TV-Verdampfers ca. 80 mm, da
die restliche Länge für die Fixierung des Verdampfers in der
Einspannvorrichtung benötigt wird. In der erfindungsgemäßen
Vorrichtung mit stirnseitiger Einspannung dagegen ist die wirk
same Länge des Verdampfers mit der Verdampferlänge identisch,
so daß zur Erzielung eines vergleichbaren Verdampfungseffektes
wesentlich kürzere Verdampfer verwendet werden können.
Vorzugsweise ist die erfindungsgemäße Vorrichtung so aufgebaut,
daß auf einem elektrisch isolierenden Grundkörper zwei Ein
spannblöcke mit planparallelen Kontaktflächen befestigt sind.
In diesem Fall werden verkürzte Flash TV Verdampfer eingesetzt,
was zu weiteren Vorteilen im Betrieb führt.
Vorzugsweise werden in der erfindungsgemäßen Vorrichtung daher
Flash-TV-Verdampfer eingesetzt, die dadurch gekennzeichnet
sind, daß die Verdampferlänge dem Abstand der planparallelen
Kontaktflächen der erfindungsgemäßen stirnseitigen Einspannvor
richtung im unbelasteten Zustand entspricht.
Die erfindungsgemäßen Flash-TV-Verdampfer haben vorzugsweise
eine Verdampferlänge von ≦ 90 mm. Besonders bevorzugt haben sie
eine Verdampferlänge ≦ 80 mm. Sie sind damit wesentlich kürzer
als herkömmliche Standard Flash-TV-Verdampfer (110 mm).
Die erfindungsgemäßen Flash-TV-Verdampfer bestehen vorzugsweise
aus für keramische Verdampfer üblichen Materialien wie z. B.
einem Material auf TiB2-AlN-BN-Basis oder aus Graphit mit pyro
lytischer BN-Beschichtung.
Vorzugsweise haben die erfindungsgemäßen Flash-TV-Verdampfer
eine elliptische Außenkontur. Der erfindungsgemäße Flash-TV-
Verdampfer besitzt zudem vorzugsweise eine Kavität die im Quer
schnitt durch den Flash-TV-Verdampfer dreiecksförmig ist. Die
beiden Seitenflächen der dreiecksförmigen Kavität können dabei
gerade oder konvex oder konkav gekrümmt sein. Der tiefste Punkt
der Kavität kann als Radius ausgebildet sein. Solche Formen von
Außenkontur und Kavität sind in der deutschen Patentanmeldung
DE A 199 56 811 beschrieben.
Folgende Vorteile werden mit einer erfindungsgemäßen stirnsei
tigen Einspannung im Vergleich zu einer herkömmlichen seitli
chen Einspannung erzielt:
- - Torsions- und biegefreie Einspannung des Verdampfers -
- - Gewährleistung des elektrischen Kontaktes in allen Betriebs zuständen durch eine Feder
- - Kompensation der thermischen Ausdehnung des Verdampfers durch eine Feder
- - Reduzierung der Verdampferlänge unter Beibehaltung der Gebrauchseigenschaften, insbesondere des Flash-Verhaltens.
Aus üblichem keramischen Material für Flash-TV-Verdampfer (be
stehend aus TiB2, BN und AlN) wurden Flash-TV-Verdampfer fol
gender Abmessungen gefertigt:
- a) Maß: 4 × 6 × 110 mm; Kavität: 2 × 4 × 60 mm (geschliffen)
- b) Maß: 4 × 6 × 80 mm; Kavität: 2 × 4 × 60 mm (geschliffen)
Die gefertigten Flash-TV-Verdampfer unterscheiden sich aus
schließlich in ihrer Länge.
Die üblichen Flash-TV-Verdampfer mit 110 mm Länge wurden in üb
licher Weise seitlich eingespannt, wobei die Klemmung des
Flash-TV-Verdampfers auf einer mit einer Nut versehenen Stahl
einspannung mittels einer Stahlplatte und Schrauben erfolgte
(Standardeinspannung).
Die erfindungsgemäßen Flash-TV-Verdampfer mit einer Länge von
80 mm wurden in einer erfindungsgemäßen Enspannvorrichtung ein
gespannt. Für beide Einspannungen wurde zur besseren Kontaktie
rung zwischen Stahlplatte und Verdampfer bzw. Einspannblöcken
und Verdampferstirnseiten eine Graphitfolie eingeklemmt.
Fig. 3 und 4 zeigen den Stromverlauf [A] in Abhängigkeit der
Zeit [s] für Standardverdampfer in einer Standardeinspannung
(Fig. 3) und für erfindungsgemäße Verdampfer in einer erfindungsgemäßen
Einspannvorrichtung (Fig. 4) für folgenden Flash-
Zyklus:
- a) Einschalten der Spannung nach 3 sec.
- b) 3-28 sec: 4,5 V (Vorheizspannung)
- c) 28-53 sec: 9,0 V (Flash-Spannung)
- d) Abschaltung der Spannung nach 53 sec.
In den jeweiligen Flash-TV-Verdampfer wurde ein Aluminiumpellet
in Form eines Zylinders mit einer Masse von 100 mg eingelegt.
Der Flash-Zyklus wurde für beide Versuchsanordnungen mehrfach
wiederholt. Die entsprechenden Stromkurven sind in den Fig. 3
und 4 jeweils übereinander aufgetragen.
Nach dem Einschalten der Spannung steigt in beiden Fällen (Fig.
3 und Fig. 4) der Strom, der durch den jeweiligen Flash-TV-
Verdampfer fließt, stark an. Während die Spannung 25 sec kon
stant gehalten wird, steigt die Temperatur im Flash-TV-
Verdampfer an und erreicht asymptotisch eine für die angelegte
Spannung maximale Temperatur, was zu einem asymptotisch, auf
einen konstanten Wert sinkenden Strom führt. Die Erhöhung der
Spannung nach 28 sec. führt wiederum zu einem sehr raschen An
stieg des elektrischen Stromes und einer weiteren Steigerung
der Temperatur des Flash-TV-Verdampfers. Zunächst fällt die
Stromstärke wie beim Einschalten der Vorheizspannung ab. Sobald
der Flash-TV-Verdampfer so heiß geworden ist, daß das Aluminium
erweicht und die Oberfläche der Kavität benetzt, steigt die
Stromstärke jedoch stark an, da das sich ausbildende Aluminium
bad wie ein parallel geschalteter, niederohmiger Widerstand
wirkt. Mit zunehmender Verdampfung steigt die Stromstärke zu
nächst stark an und fällt dann wieder ab, bis das Aluminium
vollständig verdampft ist. Anschließend stellt sich eine kon
stante Verdampfertemperatur ein, was sich in einer konstanten
Stromstärke äußert. In Fig. 3 und Fig. 4 ist deutlich zu erken
nen, daß der Zeitpunkt der Aluminiumverdampfung im Fall der
Verwendung einer erfindungsgemäßen Einspannvorrichtung und ei
nes erfindungsgemäßen Flash-TV-Verdampfers wesentlich besser
reproduzierbar ist.
Für die beiden Versuchsanordnungen wurde die Lebensdauer der
Flash-TV-Verdampfer ermittelt, wobei das Kriterium für die Le
bensdauer die vollständige Verdampfung des Aluminiums während
des vorgegebenen Flash-Zyklus war.
Der übliche Flash-TV-Verdampfer in der Standardeinspannung er
reichte eine Zykluszahl von 857 Flashes. Der erfindungsgemäße
Flash-TV-Verdampfer erreichte in der erfindungsgemäßen Ein
spannvorrichtung mit 1.154 Flashes eine ca. 30% höhere Lebens
dauer, was auf die verbesserten Einspannbedingungen zurückzu
führen ist, zumal sowohl das ausgewählte Material als auch die
Strombelastung für beide Versuchsanordnungen identisch waren.
Claims (11)
1. Vorrichtung zum Bedampfen von Schwarz-Weiß- oder Farbbild
röhren mit Aluminium umfassend eine Einspannvorrichtung und
einen keramischen Flash-TV-Verdampfer, dadurch gekennzeich
net, daß die Einspannvorrichtung (1) aus einem elektrisch i
solierenden Grundkörper (2) und zwei Einspannblöcken (3, 4)
besteht, wobei der Grundkörper (2) die zwei Einspannblöcke
(3) und (4) elektrisch voneinander trennt und die zwei Ein
spannblöcke (3, 4) den Flash-TV-Verdampfer (5) an seinen
Stirnflächen mittels je einer planparallelen Kontaktfläche
fixieren und die Stromeinleitung in den Flash-TV-Verdampfer
(5) durch diese planparallelen Kontaktflächen erfolgt, wobei
der eine Einspannblock (3) am Grundkörper (2) fixiert ist
und der andere Einspannblock (4) axial beweglich ist und
mittels einer Feder (6) so vorgespannt werden kann, daß bei
eingespanntem Verdampfer (5) die Einstellung einer definier
ten axialen Einspannkraft möglich ist.
2. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der Einspannblock (3) mit dem Grundkörper (2) verschraubt
ist und der Einspannblock (4) mit Hilfe eines Stiftes (7)
gegen Verdrehung gegenüber dem Grundkörper (2) gesichert und
formschlüssig mit einer Gewindestange (8) verbunden ist, wo
bei die Gewindestange (8) im Grundkörper (2) so gelagert
ist, daß sie in Längsrichtung verschiebbar und in Umfangs
richtung drehbar ist und wobei sich auf die Gewindestange
(8) eine Feder (6) und eine Schraube (9) befinden, und die
Feder (6) mittels der Schraube (9) vorgespannt werden kann,
sobald der Flash TV-Verdampfer (5) zwischen die planparalle
len Kontaktflächen der Einspannblöcke (3) und (4) einge
bracht wird.
3. Vorrichtung gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die formschlüssige Verbindung von Einspannblock (4) mit der
Gewindestange (8) durch einen Gewindestift (10) erfolgt.
4. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß der elektrisch isolierende Grundkörper (2)
aus einer elektrisch isolierenden Keramik besteht.
5. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Einspannblöcke (3, 4) aus Stahl beste
hen.
6. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Feder (6) eine Tellerfeder oder ein
Tellerfederpaket oder eine Spiralfeder ist.
7. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Flash-TV-Verdampfer (5) eine Verdamp
ferlänge besitzt, die dem Abstand der planparallelen Kon
taktflächen der Einspannblöcke (3, 4) im unbelasteten Zu
stand entspricht.
8. Flash-TV-Verdampfer, dadurch gekennzeichnet, daß er eine
Länge von ≦ 90 mm hat.
9. Flash-TV-Verdampfer gemäß Anspruch 8, dadurch gekennzeich
net, daß er eine elliptische Außenkontur besitzt.
10. Flash-TV-Verdarupfer gemäß Anspruch 9, dadurch gekennzeich
net, daß er eine Kavität die im Querschnitt durch den Flash-
TV-Verdampfer dreiecksförmig ist, besitzt.
11. Flash-TV-Verdampfer nach einem der Ansprüche 8 bis 10, da
durch gekennzeichnet, daß er aus keramischem Verdampfermate
rial auf Basis von TiB2-AlN-BN oder aus Graphit mit pyroly
tischer BN-Beschichtung besteht.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000115847 DE10015847C2 (de) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | Vorrichtung zum Bedampfen von Schwarzweiß- oder Farbbildröhren mit Aluminium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000115847 DE10015847C2 (de) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | Vorrichtung zum Bedampfen von Schwarzweiß- oder Farbbildröhren mit Aluminium |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10015847A1 true DE10015847A1 (de) | 2001-10-31 |
DE10015847C2 DE10015847C2 (de) | 2002-03-14 |
Family
ID=7636988
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2000115847 Expired - Fee Related DE10015847C2 (de) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | Vorrichtung zum Bedampfen von Schwarzweiß- oder Farbbildröhren mit Aluminium |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10015847C2 (de) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3387116A (en) * | 1965-10-08 | 1968-06-04 | Contiental Can Company Inc | Contacts for vaporizers employed in vacuum metallizing |
US5410631A (en) * | 1993-09-10 | 1995-04-25 | Advanced Ceramics Corporation | Clamp assembly for a vaporization boat |
DE19632581A1 (de) * | 1996-08-13 | 1998-02-19 | Leybold Systems Gmbh | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
DE19735814A1 (de) * | 1997-08-18 | 1999-02-25 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Keramische Flash-TV-Verdampfer |
DE4123342C2 (de) * | 1991-07-15 | 1999-08-19 | Leybold Ag | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
DE19823908A1 (de) * | 1998-05-28 | 1999-12-02 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Elliptischer keramischer Verdampfer |
-
2000
- 2000-03-30 DE DE2000115847 patent/DE10015847C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3387116A (en) * | 1965-10-08 | 1968-06-04 | Contiental Can Company Inc | Contacts for vaporizers employed in vacuum metallizing |
DE4123342C2 (de) * | 1991-07-15 | 1999-08-19 | Leybold Ag | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
US5410631A (en) * | 1993-09-10 | 1995-04-25 | Advanced Ceramics Corporation | Clamp assembly for a vaporization boat |
DE19632581A1 (de) * | 1996-08-13 | 1998-02-19 | Leybold Systems Gmbh | Reihenverdampfer für Vakuumbedampfungsanlagen |
DE19735814A1 (de) * | 1997-08-18 | 1999-02-25 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Keramische Flash-TV-Verdampfer |
DE19823908A1 (de) * | 1998-05-28 | 1999-12-02 | Kempten Elektroschmelz Gmbh | Elliptischer keramischer Verdampfer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10015847C2 (de) | 2002-03-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2510214C3 (de) | Lampenhalterung für sich stark erwärmende Lampen | |
DE2654715C2 (de) | Hochdruckentladungslampe | |
EP0225490B1 (de) | Temperaturbegrenzer | |
DE2658316C3 (de) | Glühemissionselektronen strahlquelle | |
EP0394693B1 (de) | Temperatur-Schaltgerät | |
DE3423085A1 (de) | Vorrichtung zur regelung bzw. begrenzung wenigstens eines temperaturwertes bzw. eines temperaturbereiches von strahlungs- bzw. kontaktheizkoerpern | |
DE2646577B2 (de) | Zündeinrichtung für eine mit Gleichstrom betriebene Blitzlampe | |
DE10015847C2 (de) | Vorrichtung zum Bedampfen von Schwarzweiß- oder Farbbildröhren mit Aluminium | |
DE2612285A1 (de) | Elektronengeraet | |
DE1900569B2 (de) | Festkorper-Ionenquelle | |
EP0900858B1 (de) | Keramische Flash-Verdampfer | |
DE1541003B1 (de) | Magnetron | |
DD147391A5 (de) | Elektrische gluehkerze fuer verbrennungsmotoren | |
DE8705725U1 (de) | Einkristall mit Widerstandsheizung | |
DE3037223C2 (de) | ||
EP1148313A2 (de) | Elektrothermische Anzündvorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE3001622C2 (de) | Tragvorrichtung für eine Glühkathode | |
DE3930203A1 (de) | Katodenhalter fuer einen elektronenstrahlerzeuger | |
DE3245167C2 (de) | ||
DE3601634C2 (de) | Vorrichtung zum Regeln oder Begrenzen der Temperatur von Strahlungs- oder Kontaktheizkörpern | |
DE19708599C1 (de) | Keramisches, widerstandsbeheiztes Verdampferschiffchen sowie dessen Verwendung | |
EP1103629B1 (de) | Keramischer Verdampfer | |
DE1541003C (de) | Magnetron | |
EP0325138A1 (de) | Verfahren zum Befestigen eines in einer Isolierstoffwand sitzenden Kontaktstückes | |
EP1593469B1 (de) | Thermische Trennschere mit keramischer Halterung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: WACKER-CHEMIE GMBH, 81737 MUENCHEN, DE |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |