DE3001622C2

DE3001622C2 - Tragvorrichtung für eine Glühkathode

Info

Publication number: DE3001622C2
Application number: DE3001622A
Authority: DE
Inventors: Masaru Amemiya; Hirotoshi Machida Tokyo Hagiwara; Hideo Hiraoka
Original assignee: Denki Kagaku Kogyo KK
Current assignee: Denka Co Ltd
Priority date: 1979-01-23
Filing date: 1980-01-17
Publication date: 1989-02-23
Also published as: US4311941A; FR2447603B1; GB2042795A; DE3001622A1; FR2447603A1; GB2042795B; JPS5598435A

Description

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Die Erfindung betrifft eine Tragvorrichtung für eine Glühkathode mit einem Paar federnd nachgiebiger an einer isolierenden Basis befestigter, elektrisch leitender Elemente, die platten- oder stabförmig ausgebildet sind und die mittels einer Druckeinrichtung, die auf die elektrisch leitenden Elemente von außen eine Druckkraft ausübt, eine Glühkathodenspitze und ein Paar Heizeinrichtungen halten, die mit der Glühkathodenspitze in Kontakt stehen.

Kathodenstrahlerzeuger Finden in vielen verschiedenartigen Instrumenten Verwendung, wie z. B. in einer mit einem Elektronenstrahl arbeitenden lithografischen Anlage und/oder einem mit einem Elektronenabtaststrahl arbeitenden Mikroskop.

Üblicherweise wird als Glühkathode eine Wolfram-Haarnadel verwendet. Bei einer mit einem Elektronenstrahl arbeitenden lithografischen Anlage und/oder einem mit einem Elektronenabtaststrahl arbeitenden Elektronenmikroskop wird seit einiger Zeit eine Kathodenspitze verwendet, die aus einem kristallisierten Lanthanhexaborid besteht Die Kathodenspitze wird von zwei stark anisotropen kohlenstoffhaltigen Materialien gehalten, die an beiden Seiten als Zwischenlagen angeordnet sind.

Zwei Heizeinrichtungen, die die Kathodenspitze bei einer derartigen Kathodenstrahleinrichtung tragen, wärmen die Kathodenstrahlspitze schnell durch Joulsche Wärme auf, die bei der Einschaltung der Heizeinrichtungen erzeugt wird, um thermische Elektronen abzugeben. Die beiden, die Wärmeerzeugung liefernden Einrichtungen müssen hinsichtlich ihrer Abstützung nicht thermisch verformbar sein und behalten ihre Tragfähigkeit stabil bei. Ferner haben sie die Aufgabe, der Glühkathodenspitze, die beispielsweise aus Lanthanhexaborid besteht, eine Emissionsfähigkeit zu verleihen.

In F i g. 1 ist in einer Schnittansicht eine Tragvorrichtung für eine Glühkathode der eingangs genannten Art gezeigt, die in der US-PS 40 68 145 beschrieben ist. Bei dieser Tragvorrichtung für eine Glühkathode ist eine Glühkathodenspitze 1 von zwei »Heizeinrichtungen 2a und 2b gehalten, die ihrerseits durch zwei elektrisch leitende Elemente 3 und 4 gehalten sind, die in Form einer Gabel ausgebildet sind. Die Auslegung ist so getroffen, daß die die Spitze tragenden Heizeinrichtungen 2a und 2b mittels Federelementen 9 und 10 aufeinander zu gedruckt werden. An den Enden der elektrisch leitenden Elemente 3 und 4 sind unterteilte Abschnitte in Form einer weiteren gabelförmigen Gestalt ausgebildet. Am Ende jedes inneren unterteilten Abschnitts 3a und 4a sind die Kathodenspiize 1 und die die Kathodenspitze tragenden beiden Heizeinrichtungen 2a und 2b gleichzeitig gehalten. Die Federelemente

9 und 10 sind auf einem weiteren äußeren Abschnitt der äußeren Abschnitte 3b und 4b der unterteilten Abschnitte der elektrisch leitenden Elemente angebracht, so daß sie die die Spitze tragenden Heizeinrichtungen 2a und 2b derart in eine Richtung drücken, daß die Heizeinrichtungen 2a und 2b die Kathodenspitze 1 halten. Die Federelemente 9 und 10 sind aus Materialien, wie z. B. Molybdän, hergestellt, die ihr Federungsvermögen oder ihre Elastizität selbst bei einer hohen Temperatur beibehalten. Die Federn sind in Form eines ebenen Teils oder eines Streifenstücks ausgebildet. Die beiden elektrisch leitenden Elemente 3 und 4 neigen zu einer schnellen Erwärmung, wenn die Kathodenspitze 1 erwärmt wird, und deshalb sind die Federelemente 9 und

10 an der Außenfläche der elektrisch leitenden Elemente 3 und 4 mittels Schrauben 11a und Wb derart

angebracht, daß die Federelemente nicht durch die von der Kathodenspitze 1 und die die Kathodenspitze tragenden Heizeinrichtungen 2a und Ib gelieferte Wärme erwärmt werden. Ein Paar Drückelemente 12a und 126 sind vorgesehen, die aus einem isolierenden Material, wie z. B. Porzellan, hergestellt sind und von dem freien Ende der Federelemente 9 und 10 mit einer Druckkraft beaufschlagt werden. Diese beiden Drückelemente 12a und 126 durchziehen Durchgangsöffnungen, die in den äußeren unterteilten Abschnitten 3b und 4b ausgebildet sind, und sind in Achsrichtung gleitend auf Tragstücken abgestützt Die Auslegung ist hierbei so vorgenommen, daß jedes Federelement 9 und 10 das Drückelement 12a und/oder 126 in Richtung der Glühkathode drückt, um die inneren unterteilten Abschnitte 3a und 4a zusammenzudrücken, an denen die Heizeinrichtungen 2a und 2b befestigt sind, die die Kathodenspitze 1 halten.

Bei der beschriebenen Tragvorrichtung für eine Glühkathodenspitze sind die beiden Federelemente 9 und 10 direkt an den elektrisch leitenden Elementen 3 und 4 befestigt, und folglich steigt die Temperatur der Federelemente 9 und 10 bei Erwärmung der elektrisch leitenden Elemente 3 und 4 an. Hierdurch verlieren die Federelemente 9 und 10 bei einer länger dauernden Erwärmung ihre Elastizität, obgleich die Materialien durch Wärme nicht stark beeinflußbar sind. Durch den Verlust an Elastizität ergibt sich eine Veränderung des Kontaktwiderstands zwischen den Heizeinrichtungen und der von ihnen gehaltenen Kathodenspitze. Durch die Veränderung des Kontaktwiderstands verändert sich unerwünschterweise die Temperatur der Glühkathodenspitze 1. Es ist auch darauf hinzuweisen, daß die äußeren Abschnitte 3b und 46 des unterteilten Abschnitts der elektrisch leitenden Elemente 3 und 4 lediglich als Elemente dienen, an denen die Federelemente 9 und 10 befestigt werden und Gleitführungen bilden. Diese äußeren Abschnitte 3b und 46 können nicht als Mittel dienen, die eine Wärmestrahlung von dem oberen Abschnitt der Kathode zu den Federelementen 9 urd 10 verhindern. Ferner ist darauf hinzuweisen, daß die Federelemente derart ausgebildet sind, daß sie sich nach außen erstrecken, so daß die Kathodenstrahlvorrichtung insgesamt unerwünscht große Abmessungen erhält. Normalerweise sind die elektrisch leitenden Materialien wärmeleitende Materialien. Wenn deshalb die elektrisch leitenden Elemente in ihren Abmessungen größer werden, wird auch mehr Wärme abgeleitet, wodurch ein höherer Wärmeverlust entsteht und eine größere elektrische Energie aufgebracht werden muß.

Wie zuvor angegeben, wird die Haltekraft für jede der die Spife tragenden Heizeinrichtungen 2a und 2b, mit der d'e Kathodenspitze 1 gehalten wird, durch die Federelemente 9 und 10 aufgebracht. Bei dieser Auslegung ist jedoch die Feineinstellung der Druckkraft nicht möglich.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Tragvorrichtung für eine Glühkathode der eingangs genannten Art derart weiterzubilden, daß die Haltekraft für die Glühkathode über eine lange Zeitdauer konstant bleibt.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß in jedes der elektrisch leitenden Elemente ein zylindrischer, wärmebeständiger, elektrischer Isolator mit einem Flanschabschnitt eingepaßt ist. und daß die Drückeinrichtung einon Schraubenbolzen, der durch den Mittelabschnitt eines 'eden Isolators geführt ist, ein Paar Halteelemente, die an den Enden des Schraubenbolzens angebracht sind und ein Paar Federelemente umfaßt, die zwischen den Halteelementen und den Isolatoren angeordnet sind.

In vorteilhafter Weise wird bei der erfindungsgemäßen Tragvorrichtung erreicht, daß die Federelemente, durch weiche auf die elektrisch leitenden Elemente eine Kraft zum Halten der Glühkathode ausgeübt wird, gegenüber einer Wärmeleitung von den verschiedenen

ίο Bauteilen der Tragvorrichtung weitgehend isoliert sind, so daß ihre elastischen Eigenschaften durch die beim Betrieb auftretenden höheren Temperaturen nicht im Laufe der Zeit verändert werden. Infolgedessen bleibt die durch die Federn hervorgerufene Andruckkraft, mit

der die Glühkathode zwischen den Heizeinrichtungen gehalten wird, über lange Zeiträume konstant, was auch zur Folge hat, daß der Kontaktwiderstand zwischen der Glühkathode und den Heizeinrichtungen konstant bleibt. Somit sind auch Stromschwankungen infolge der

Veränderung des Kontaktwiderstandes zwischen der Glühkathodenspitze und der diese tragenden Heizeinrichtungen ausgeschlossen. Mithin Wird auch die temperatur der Glühkathode auf eineij konstanten Wert gehalten.

In Abhängigkeit davon, wo das jeweilige Halteelement an dem Schraubenbolzen angebracht ist, läßt sich die auf -üe Glühkathode von den Heizeinrichtungen ausgeübte Druckkraft verändern.

Die erfindungsgemäße Tragvorrichtung zeichnet sich auch durch einen besonders einfachen Aufbau auf. denn die elektrisch leitenden Elemente benötigen keine komplizierte Bearbeitung. Ferner sind die Elemente der Drückeinrichtung einfach aufgebaut und lassen sich auf mechanisch unkomplizierte Art und Weise miteinander

J5 verbinden.

Da die Drückeinrichtuog durch die Isolatoren wärmeleitungsmäßig von den elektrisch leitenden Elementen, an denen die Heizeinrichtungen angeordnet sind, getrennt ist, steht nahezu die gesamte von den

■•ο Heizeinrichtungen erzeugte Wärmeenergie zum Erwärmen der Glühkathode zur Verfügung, so daß durch die erfindungsgemäße Tragvorrichtung wegen der geringen Wärmeverluste Energie eingespart werden kann.
Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß der Schraubenbolzen an jedem Ende mit einem Gewinde versehene Abschnitte hat, und daß die Halteelemente Muttern sind, die eine verstellbare Druckkraft auf die Federelemente ausüben. Mit Hilfe der Muttern ist es möglich, die auf die elektrisch leitenden Elemente und damit die auf die Glühkathode ausgeübte Druckkraft einzustellen. Da nur ein einziger Schraubenbolzen vorgesehen ist, ist die auf die elektrisch leitenden Elemente ausgeübte Druckkraft auch dann ausgeglichen, wenn die auf die beiden Federn ausjeüwtsn Druckkräfte verschieden groß sind. Eine Fehlausrichtung der Zentrierung der Glühkathode wird hierdurch auf ein Minimum gesenkt. Ferner kommt in vorteilhafter Weise hinzu, daß eine Ungleichheit des Kontaktwiderstandes selbst dann vermieden wird, wenn

do die elektrisch leitenden Elemente durch thermische Beanspruchung verformt werden.

Eine andere, vorteilhafte Weiterbildung der Erfin= dung ist dadurch gekennzeichnet, daß ein isolierendes Tragelement an der isolierenden Basis zwischen den beiden elektrisch leitenden Elementen befestigt ist, und daß der Schraubenbc'zen aus zwei getrennten Teilen besteht, die an den Flächen des Tragelements, die den elektrisch leitenden Elementen gegenüberliegen, ange-

bracht sind. Die Ausbildung des Schraubenbolzens aus zwei getrennten Teilen ermöglicht, die auf jedes der elektrisch leitenden Elemente ausgeübte Druckkraft unterschiedlich einzustellen. Dadurch ist es möglich, die Lage der Glühkathode zu verschieben, so daß dadurch eine Lagejustierung durchgeführt werden kann.

Bei einer anderen, vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist der Schraubenbolzen aus keramischem Werkstoff gebildet, wodurch eine noch bessere wärmemäßige Isolierung der Federn erhalten wird.

Andere, vorieilhafie Weiterbildungen der Erfindung, sind in den Unteransprüchen angegeben.

Der in der Beschreibungseinleitung erwähnte Stand tier Technik sowie die Erfindung sind an Beispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung erläutert. Darin zeigt

Fig. 1 eine Schnittansicht einer Tragvorrichtung für eine Glühkathode nach dem eingangs beschriebenen Stand der Technik,

Darstellung einer Tragvorrichtung für eine Glühkathode nach der Erfindung,

F i g. 3 eine weitere Ausführungsform einer Tragvorrichtung für eine Glühkathode in Seitenansicht mit Teilschnittdarstellung, und

F i g. 4 eine weitere Ausführungsform einer Tragverrichtung für eine Glühkathode nach der Erfindung in Seitenansicht mit Teiischniiidarstellung.

In der Beschreibung sind gleiche oder ähnliche Bauteile wie bei der üblichen Tragvorrichtung mit denselben Bezugszeichen versehen.

Nach F i g. 2 weist die Vorrichtung eine Glühkathode, die als emittierende Glühspitze ausgebildet ist, ein Paar Heizeinrichtungen 2a und 2b, die die Glühkathodenspitze 1 tragen, und ein Paar wärmebeständige, federnd ü nachgiebige und elektrisch leitende Elemente 13 und 14 auf, die die Heizeinrichtungen 2a und 2b in Verbindung mit der Glühkathodenspitze 1 halten. Die elektrisch leitenden Elemente 13 und 14 unterscheiden sich bei dieser Ausführungsform in ihrer Gestalt von denjenigen der bekannten Vorrichtung, die in F i g. 1 gezeigt ist Die elektrisch leitenden Elemente sind beispielsweise als eine flache Platte oder ein Stab bzw. eine Stange ausgebildet und besitzen keine unterteilten Abschnitte, wie in F i g. 1 gezeigt Weiterhin sind die Fußabschnitte der elektrisch leitenden Elemente 13 und 14 vorzugsweise L-förmig ausgebildet und feste Abschnitte 13a und 14a stehen in Berührung mit der Oberfläche einer isolierenden Basis 5. Elektroden 7 und 8 durchziehen öffnungen, die in der isolierenden Basis 5 und den festen Abschnitten 13a, 14a ausgebildet sind, und die oberen Teile der Elektroden 7 und 8 sind mittels Muttern 15a und 156 fest angezogen verschraubt Die elektrisch ieitenden Elemente 13 und 14 können auch direkt an den Elektroden 7 und 8 durch Punktschweißen angebracht oder durch die Verwendung eines Silberlots angelötet werden. Die Drückeinrichtung ist elektrisch und thermisch von den jeweiligen elektrisch Ieitenden Elementen 13 und 14 isoliert Sie weist einen Schraubenbolzen 16, zylindrische Isolatoren 17 mit einem Flansch, Spiralfedern 18 und Muttern 19 auf, die als Halteelemente dienen. Wie zuvor angegeben, hat der Isolator 17 eine zylindrische Gestalt und einen Flansch, und er ist mit seinem kleineren Durchmesserabschnitt in die Durchgangsöffnungen 13a und \<ib eingepaßt die in der Nähe des Mittelabschnitts der elektrisch leitenden Elemente 13 und 14 ausgebildet sind Der Schraubenbolzen 16 durchzieht die Mittelabschnitte der beiden Isolatoren 17. jede der Federn 18 ist an dem jeweiligen Ende des Schraubenbolzen·; 16 angebracht. Die Muttern 19 stehen in Gewindeeingriff mit den mit Gewinde versehenen Abschnitten 20 und 21. die an d^n Enden des Schraubenbolzens 16 ausgebildet sind. Mit dieser vorstehend angegebenen Auslegung wird erreicht, daß jeder Feder 18 jeweils jedes der elektrisch leitenden Elemente 13 und 14 über die Isolatoren 17 drückt, um die Glühkathodenspitze 1 und die beiden, die Spitze tragenden Heizeinrichtungen 2a und 2b unter einer konstanten Druckraft zu halten. Die Federelemente 18. die als Druckkrafterzeugungseinrichtungen wirken, sind durch die Isolatoren 17 elektrisch und thermisch von den elektrisch leitenden Elementen 13 und 14 isoliert. Deshalb tritt bei der Vorrichtung nach der Erfindung nicht die im Zusammenhang mit der Wärmeentwicklung bei der üblichen Tragvorrichtung bestehende Schwierigkeit auf. Vorzugsweise werden Glimmer-, Tonerdemassen, Steatit oder andere maschinell bearbeitbare

verwendet. Um eine Wärmeleitung zu verhindern, wird der Isolator wunschgemäß so stark wie möglich ausgelegt, und ein keramisches Material wird verwendet, das eine geringe Wärmeleitfähigkeit besitzt. Vorzugsweise ist auch das Material des Schraubenbolzens 16 ein keramisches Material, um wirksam einen Temperaturanstieg in der Feder 18 zu verhindern. Die Federn 18 bestehen vorzugsweise aus Materialien, wie z. B. ν irmebeständige Nickellegierungen, Wolfram, Molybdän. Inconel, Schnellschneidstahl, Gesenkstahl zur Warmumformung und Stahl (18-8) zur Kaltumformung sowie rostfreier Stahl, die ihre Elastizität selbst dann beibehalten, wenn sie auf Temperaturen in der Größenordnung von 400—500" C erwärmt werden.

Bei der dargestellten Ausführungsform trägt nur ein einziger Schraubenbolzen 16 zwei Federn 18, so daß die auf die beiden elektrisch leitenden Elemente 13 und 14 ausgeübte Druckkraft selbst dann ausgeglichen ist, wenn die auf eine Feder aufgebrachte Druckkraft in ihrer Stärke von der anderen Druckkraft verschieden ist, die auf die andere Feder ausgeübt wird. Hierdurch wird eine Fehlausrichtung der Zentrierung der Glühkathode 1 auf ein Minimum gesenkt, und eine Ungleichheit des Kontaktwiderstands wird selbst dann vermieden, wenn die elektrisch leitenden Elemente 13 und 14 durch thermische Beanspruchung verformt werden.

Bei der in F i g. 3 gezeigten Ausführungsform ist ein isolierendes Tragelement 22 zwischen den beiden elektrisch leitenden Elementen 13 und 14 angeordnet und fest mit einer isolierenden Basis 15 verbunden. An beiden Seiten des Tragelements 22 sind Stehbolzen 16a und 166 ausgebildet. Jede Feder 18 beaufschlag! das zugeordnete elektrisch leitende Element 13 oder 14 gesondert mit einer elastischen Druckkraft

Die elektrisch ieitenden Elemente 13 und 14 haben jeweils an einem Ende einen dicken Grundabschnitt in L-Form. Die elektrisch leitenden Elemente 13 und 14 arbeiten derart zusammen, daß sie die Glühkathodenspitze 1 und die Heizeinrichtungen 2a und 26 halten. Die Muttern 15a und 156 sind im Vergleich zu der in F i g. 2 gezeigten Ausführungsform an anderen Stellen angeordnet Bei dieser Ausführungsform sind die Schraubenbolzen 16a und 166 unabhängig voneinander an dem isolierenden Tragelement 22 befestigt, so daß die auf jedes elektrisch leitende Element 13 oder 14 ausgeübte und gegen die Glühkathode wirkende Druckkraft gesondert einstellbar ist Ferner kann eine exakte Ausrichtung des Mittelteils der Glühkathode dadurch

vollständig erreicht werden, daß die Federkraft bzw. die elastische Kraft der Federn 18 eingestellt wird. Das isolierende Tragelement 22 kann mit der isolierenden Basis 15 als ein Stück ausgebildet sein.

Bei der in F i g. 4 gezeigten Ausführungsform sind die '> Federn 18 jeweils an dem Endabschnitt des Schraubenbolzens 16 mittels einer Anordnung festgehalten, die eine Nut und einen stufenförmigen Abschnitt umfaßt, der '..i Umfangsrichtung an den Endabschnitten des Schraubenbolzens 16 ausgebildet ist. Es ist ein Ε-Ring oder eine endseitige Platte vorgesehen, die als eine Haltceinrichtung 23 dient und mit der Nut eine Schnappsitzverbindung bildet. Mit anderen Worten, bildet diese Ausführungsform eine abgewandelte Ausführungsform der in Fig. 2 gezeigten. Bei dieser i> Ausführungsform sind die Fußabschnitte der beiden elektrisch leitenden Elemente 13 und 14 hinsichtlich ihrer Stärkenabmessung dünn ausgelegt. Die elektrisch leitenden Elemente sind an dem dünner bemessenen ÄuscMiiiti des FuBteiis an Hiifsstreben 25 und 26 durch μ Punktschweißen angebracht und mit den Elektroden 7 und 8 durch Anschweißen von Metallbändern 27 und 28 verbunden, die ringförmig ausgebildet sind.

Die aus dem Anschlag 23 bestehende Befestigungseinrichtung bei dieser Ausführungsform ist in ihren Abmessungen kleiner und hinsichtlich ihres Aufbaus einfacher als die Befestigungseinrichtungen, die die Muttern 19 umfassen und in F i g. 3 gezeigt sind. Ferner kann die Vorrichtung nach F ι g. 4 in ihren Abmessungen kleiner ausgelegt werden, da der vorstehende Abschnitt JO der Drückeinrichtung klein gemacht werden kann.

Ferner kann die Wärmeaufnahme der Vorrichtung bei dieser Auslegung reduziert werden. Deshalb ist diese Vorrichtung für eine konische Wehnelt-Kathode, die eine geringe Eigenkapazität hat, zu verwenden. Die Vorrichtung nach dieser Ausführungsform ist austauschbar mit üblichen Vorrichtungen bei einem Elektronenmikroskop.

Die Ausrichtung der Glühkathode zu dem Abstand zwischen den Elektroden im Hinblick auf die Größe der Kathode wird auf die nachstehende Art und Weise vorgenommen. Bei der Ausführungsform nach F i g. 2 wird sie dadurch erreicht, daß man die Lage der Öffnungen auf den festen Abschnitten 13a und 14a der elektrisch leitenden Elemente entsprechend abgestimmt wählt, die zur Aufnahme der Elektroden 7 und 8 bestimmt sind.

Bei der Ausführungsform nach F i g. 3 wird diese Ausrichtung dadurch erreicht, daß man eine Länge des waagerechten Teils des gekrümmten Abschnitts des elektrisch leitenden Elements einstellt.

Bei der Ausführungsform nach F i g. 4 wird eine Einstellung des Befestigungsabschnitts der Hilfsstrebe dadurch vorgenommen, daß man die Länge des ringförmigen Metallbands ändert.

Bei der Ausführungsform nach F i g. 4 können die elektrisch leitenden Elemente mit den Elektrodenanschlüssen verbunden werden, die verschiedene Abstände haben können. Hierbei kann die Hilfsstrebe weggelassen werden, wenn das Band ausreichend widerstandsfähig ist, um die elektrisch leitenden Elemente zu halten.

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

Claims

Patenansprüche:

1. Tragvorrichtung für eine Glühkathode mit einem Paar federnd nachgiebiger an einer isolierenden Basis befestigter, elektrisch leitender Elemente, die platten- oder stabförmig ausgebildet sind und die mittels einer Drückeinrichtung, die auf die elektrisch leitenden Elemente von außen eine Druckkraft ausübt, eine Glühkathodenspitze und ein Paar Heizeinrichtungen halten, die mit der Glühkathodenspitze in Kontakt stehen, dadurch gekennzeichnet, daß in jedes der elektrisch leitenden Elemente (13,14) ein zylindrischer, wärmebeständiger, elektrischer Isolator (17) mit einem Flanschabschnitt eingepaßt ist, und daß die Drückeinrichtung einen Schraubenbolzen (16; 16a, 166Jl der durch den Mittelabschnitt eines jeden Isolators (17) geführt ist, ein Paar Halteelemente (19; 23, 23a;, die an den Enden des Schraubenbolzens (16; 16a, 166; angebracht sind und ein Paar Federelemente (18) umfaßt, die zwisc&ui den Halteelementen (19; 23, 23a; und der. Isolatoren (17) angeordnet sind.

2. Tragvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Schraubenbolzen (16) an jedem Ende mit einem Gewinde versehene Abschnitte (20,21) hat, und daß die Halteelemente (19) Muttern sind, die eine verstellbare Druckkraft auf die Federelemente (18) ausüben (F i g. 2 und 3).

3. Tragvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein isolierendes Tragelement (22) an der isolierenden Basis (5) zwischen den beiden elektrisch leitenden Elementen (13, 14) befestigt ist, und daß der Schraubenbolzen (16a, 16b) »us zwei getrennten Teilet, besteht, die an den Flächen des Tragelemtnts (22), die den elektrisch leitenden Elementen (13, K, gegenüberliegen, angebracht sind (F i g. 3).

4. Tragvorrichtung nach Anspruch 1 oder 3. dadurch gekennzeichnet, daß die an dem Schraubenbolzen (16; 16a, i6b) angebrachten Halteelemente E-Ringe(23)sind(Fig.4).

5. Tragvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Schraubenbolzen (16; 16a, 16b) aus keramischem Werkstoff ausgeformt ist

6. Tragvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitenden Elemente (13,14) einen L-förmig ausgebildeten Fußabschnitt aufweisen.

7. Tragvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitenden Elemente (13, 14) geradlinig ausgebildet und mittels eines Befestigungsbandes (27,28) mit den Elektrodenanschlüssen verbunden sind, die in der isolierenden Basis (5) angeordnet sind.

8. Tragvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die die Spitze tragenden Heizeinrichtungen (2a, 2b) aus anisotropem kohlenstoffhaltigem Material hergestellt sind.

9. Tragvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die die Spitze tragenden Heizeinrichtungen (2a, 2b) aus glasähnlichem Kohlenstoff hergestellt sind.