CN220012776U - 一种蒸发舟及蒸发装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种蒸发舟及蒸发装置，该蒸发舟包括舟体和位于舟体沿第一方向相对的两端的电极连接结构，舟体沿第一方向延伸，且舟体具有平行于第一方向的第一表面，舟体的第一表面设置有至少一排蒸发槽，一排蒸发槽包括沿第一方向依次间隔排列的多个相同的蒸发槽，蒸发槽用于放置蒸发材料，从而在向各个蒸发槽内添加蒸发材料后，使得舟体各个蒸发槽处的物料均匀，这样舟体各个蒸发槽处的电阻相同，舟体各个蒸发槽处产生的热量相当，即舟体各个蒸发槽处的温度均匀，进而使得舟体各个蒸发槽处的蒸发速率相当，达到改善真空镀膜的均匀性，提高真空镀膜的质量的目的。

Description

一种蒸发舟及蒸发装置

技术领域

本申请涉及半导体工艺技术领域，尤其涉及一种蒸发舟及蒸发装置。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热蒸发材料(金属或非金属材料)，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如，在制备钙钛矿太阳能电池的过程中，需要蒸发镀一层电子传输层，具体的，将钙钛矿基片置于真空镀膜腔室内，在高真空条件下，对蒸发舟加热使蒸发舟内的蒸发材料蒸发，蒸发材料的蒸气分子从蒸发舟逸出，当蒸发材料的蒸气分子的平均自由程大于真空腔室的线性尺寸后，将很少受到其他分子或原子的冲击与阻碍，可直接到达被镀的钙钛矿基片表面，由于钙钛矿基片表面温度较低，蒸发材料的蒸气分子便凝结于钙钛矿基片表面而成膜。在制备大面积钙钛矿太阳能电池的过程中，蒸发镀膜是一道重要的工序，镀膜后的成膜质量对大面积钙钛矿太阳能电池的效率有重要影响。

然而，现有的一些蒸发舟，如钼舟、石英坩埚等，普遍存在镀膜时成膜不均匀、成膜质量差的问题。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本申请实施例提供了一种蒸发舟及蒸发装置，以改善真空镀膜的均匀性，提高真空镀膜的质量。

为实现上述目的，本申请实施例提供了如下技术方案：

一种蒸发舟，包括：

舟体，所述舟体沿第一方向延伸，且所述舟体具有平行于所述第一方向的第一表面，所述舟体的第一表面设置有至少一排蒸发槽，所述一排蒸发槽包括沿所述第一方向依次间隔排列的多个相同的蒸发槽，所述蒸发槽用于放置蒸发材料；

电极连接结构，所述电极连接结构位于所述舟体沿所述第一方向相对的两端，连接所述舟体和相应的电极柱。

可选的，所述蒸发舟还包括：

位于所述舟体和所述电极连接结构之间，连接所述舟体和所述电极连接结构的热缓冲结构。

可选的，所述热缓冲结构的第一端与所述舟体连接，所述热缓冲结构的第二端与所述电极连接结构连接；

在第二方向上，所述舟体的第一表面高于所述热缓冲结构的第一端，所述热缓冲结构的第一端高于所述热缓冲结构的第二端，所述第二方向垂直于所述第一表面，且指向远离所述舟体的方向。

可选的，所述热缓冲结构为台阶形或斜坡形。

可选的，所述热缓冲结构为台阶形，所述热缓冲结构包括水平部和垂直部，所述水平部沿所述第一方向延伸，所述垂直部沿所述第二方向延伸；

所述水平部的第一端与所述舟体连接，所述水平部的第二端与所述垂直部的第一端连接，所述垂直部的第二端与所述电极连接结构连接；

所述舟体还具有背离所述第一表面的第二表面，所述水平部具有背离所述第一表面的第三表面，所述第二表面和所述第三表面相齐平。

可选的，所述蒸发舟还包括舟盖，所述舟盖覆盖在所述舟体的第一表面上；

所述舟盖上设置有多个蒸发口，所述蒸发口与所述蒸发槽一一对应，且所述蒸发口在所述第一表面的正投影位于所述蒸发槽在所述第一表面的正投影范围内；

所述舟盖上还设置有多个环形的围挡结构，所述围挡结构与所述蒸发槽一一对应，且所述围挡结构伸入到所述蒸发槽内，与所述蒸发槽的侧壁相贴合，以阻挡所述舟盖移动。

可选的，所述蒸发舟为石墨蒸发舟。

一种蒸发装置，包括第一电极柱、第二电极柱和蒸发舟，所述蒸发舟为上述任一项所述的蒸发舟；

所述第一电极柱与所述蒸发舟的一个电极连接结构电连接，所述第二电极柱与所述蒸发舟的另一个电极连接结构电连接。

可选的，所述蒸发装置还包括夹具结构，所述夹具结构包括主体结构，所述主体结构具有顶面和环绕所述顶面的侧面，所述顶面上设置有压合结构；

所述主体结构内部设置有贯穿所述侧面的电极孔，所述电极孔的延伸方向与所述顶面平行，所述电极孔用于放置相应的电极柱；

所述压合结构呈U形，且所述压合结构的U形开口朝向所述主体结构的顶面，所述压合结构用于将所述蒸发舟的电极连接结构压合在其U形开口内；

所述压合结构的U形底部设置有贯穿的第一过孔，所述电极连接结构设置有贯穿的第二过孔，所述主体结构设置有连通所述顶面和所述电极孔的第三过孔，在垂直于所述顶面的方向上，所述第一过孔、所述第二过孔和所述第三过孔对应设置；

所述夹具结构还包括第一螺钮，所述第一螺钮依次穿过所述第一过孔、所述第二过孔和所述第三过孔，直至所述电极孔内，以连接所述电极连接结构和所述电极孔内的电极柱，并固定所述电极孔内的电极柱。

可选的，所述主体结构还设置有连通所述侧面和所述电极孔的第四过孔，所述第四过孔的延伸方向与所述顶面平行，且与所述电极孔的延伸方向垂直；

所述夹具结构还包括第二螺钮，所述第二螺钮由所述主体结构的侧面穿过所述第四过孔，直至所述电极孔内，以进一步固定所述电极孔内的电极柱。

与现有技术相比，上述技术方案具有以下优点：

本申请实施例所提供的蒸发舟，包括舟体和位于舟体沿第一方向相对的两端的电极连接结构，舟体沿第一方向延伸，且舟体具有平行于第一方向的第一表面，舟体的第一表面设置有至少一排蒸发槽，一排蒸发槽包括沿第一方向依次间隔排列的多个相同的蒸发槽，蒸发槽用于放置蒸发材料，相比于现有的蒸发舟具有单一较大的蒸发槽，使得在向蒸发槽内添加蒸发材料时，容易出现蒸发槽内一些地方物料较多，一些地方物料较少，这样将导致蒸发槽不同区域的电阻不同，进而导致蒸发舟不同区域的温度不均匀，最终导致成膜不均匀、成膜质量差的问题，本申请实施例所提供的蒸发舟中，不再是单一较大的蒸发槽，而是包括至少一排蒸发槽，且一排蒸发槽包括沿舟体延伸方向(第一方向)排布的多个相同的蒸发槽，从而在向各个蒸发槽内添加蒸发材料后，使得舟体各个蒸发槽处的物料均匀，这样舟体各个蒸发槽处的电阻相同，舟体各个蒸发槽处产生的热量相当，即舟体各个蒸发槽处的温度均匀，进而使得舟体各个蒸发槽处的蒸发速率相当，达到改善真空镀膜的均匀性，提高真空镀膜的质量的目的。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例所提供的一种蒸发舟的结构示意图；

图2为本申请实施例所提供的另一种蒸发舟的结构示意图；

图3为图2所示的蒸发舟中，舟盖的俯视示意图；

图4为图2所示的蒸发舟中，舟盖的侧视示意图；

图5为本申请实施例所提供的一种蒸发装置的结构示意图；

图6为图5所示的蒸发装置中，夹具结构的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

正如背景技术部分所述，现有的一些蒸发舟，如钼舟、石英坩埚等，普遍存在镀膜时成膜不均匀、成膜质量差的问题。

为便于理解，首先对蒸发舟的工作原理进行说明。蒸发舟在工作时，其一端与一个电极柱连接，另一端与另一个电极柱连接，从而在两个电极柱间施加一定的电压后，蒸发舟各处产生热量，具有一定的温度，对蒸发舟内的蒸发材料进行加热，使蒸发材料蒸发镀膜。

然而，现有的蒸发舟通常具有单一较大的蒸发槽，类似于船体形状，使得在向蒸发槽内添加蒸发材料时，容易出现蒸发槽内一些地方物料较多，一些地方物料较少，这样将导致蒸发槽不同区域的电阻不同，进而导致蒸发舟不同区域的温度不均匀，最终导致成膜不均匀、成膜质量差的问题。

有鉴于此，本申请实施例提供了一种蒸发舟100，图1示出了本申请实施例所提供的蒸发舟100的结构示意图，如图1所示，该蒸发舟100包括：

舟体10，舟体10沿第一方向X延伸，且舟体10具有平行于第一方向X的第一表面S1，舟体10的第一表面S1设置有至少一排蒸发槽，一排蒸发槽包括沿第一方向X依次间隔排列的多个相同的蒸发槽11，蒸发槽11用于放置蒸发材料；

电极连接结构20，电极连接结构20位于舟体10沿第一方向X相对的两端，连接舟体10和相应的电极柱。

在本申请实施例中，舟体10的第一表面S1设置有至少一排蒸发槽，即舟体10的第一表面S1可以仅设置有一排蒸发槽，且该排蒸发槽包括沿第一方向X依次间隔排列的多个相同的蒸发槽11，具体如图1所示；当然，舟体10的第一表面S1也可以设置至少两排蒸发槽，且每排蒸发槽包括第一方向X依次间隔排列的多个相同的蒸发槽11，此时，蒸发槽11在舟体10的第一表面呈阵列排布。

在本申请实施例中，舟体10的第一表面S1设置有多个蒸发槽11，使得蒸发材料可以精准地放入蒸发槽11内，蒸发材料在蒸发槽11内受热后形成熔池。粉末状的蒸发材料可制成适当大小的团粒后放入蒸发槽11内进行蒸镀。

相比于现有的蒸发舟具有单一较大的蒸发槽，本申请实施例所提供的蒸发舟100中，不再是单一较大的蒸发槽，而是包括至少一排蒸发槽，且一排蒸发槽包括沿舟体延伸方向(第一方向X)排列的多个相同的蒸发槽11，从而在向各个蒸发槽11内添加蒸发材料后，使得舟体10各个蒸发槽11处的物料均匀，这样舟体10各个蒸发槽11处的电阻相同，从而使得舟体10各个蒸发槽11处产生的热量相当，即舟体10各个蒸发槽11处的温度均匀，进而使得舟体10各个蒸发槽11处的蒸发速率相当，达到改善真空镀膜的均匀性，提高真空镀膜的质量的目的。

可以理解的是，为了舟体10各个蒸发槽11处的电阻相同，无论是一排中的蒸发槽，还是不同排中的蒸发槽，各个蒸发槽11均相同。

在本申请实施例中，为使得蒸发舟100对其蒸发槽11内的蒸发材料进行加热，使蒸发材料蒸发，如图1所示，在蒸发舟100的舟体10沿第一方向X相对的两端设置有电极连接结构20，连接舟体10和相应的电极柱。具体的，在蒸发舟的舟体10沿第一方向X的一端设置一个电极连接结构20，连接舟体10沿第一方向X的这一端和相对应的一个电极柱，同时，在蒸发舟100的舟体10沿第一方向X的另一端设置另一个电极连接结构20，连接舟体10沿第一方向X的另一端和相对应的电极柱，从而在两个电极柱之间施加一定电压后，蒸发舟100的各蒸发槽11处产生热量，具有一定的温度，对蒸发槽11内的蒸发材料进行加热。

不过，可以理解的是，蒸发舟100的舟体10沿第一方向X的两端通过电极连接结构20和相应的电极柱电连接，那么，两个电极连接结构20上的温度较高，高于舟体10内部的温度，尤其是在电极连接结构20和相应的电极柱接触不良时，电极连接结构20上的温度和舟体10内部的温度差异更大，如果电极连接结构20和舟体10直接连接，那么，舟体10沿第一方向X相对的两端的温度高于舟体10沿第一方向X中间区域的温度，从而会导致舟体10中靠近电极连接结构20的一些蒸发槽11处温度相对较高，对应的蒸发速率相对较快，舟体10中远离电极连接结构20的一些蒸发槽11处温度相对较低，对应的蒸发速率相对较慢，进而也会导致真空镀膜的不均匀问题。

基于此，进一步可选的，在本申请的一个实施例中，如图1所示，该蒸发舟100还包括：

位于舟体10和电极连接结构20之间，连接舟体10和电极连接结构20的热缓冲结构30。

在本实施例中，在舟体10和电极连接结构20之间增加热缓冲结构30，来连接舟体10和电极连接结构20，从而利用热缓冲结构30使得舟体10和电极连接结构20间接接触，避免电极连接结构20上较高的温度直接传递到舟体10上，导致舟体10上较大的温度梯度所引起的镀膜不均匀的问题。也就是说，在电极连接结构20上较高的温度向舟体10传递的过程中，已经被热缓冲结构30所散发，从而使得到达舟体10的温度得以降低，进而大大减小电极连接结构20上较高的温度对舟体10上各处温度均匀性及后续的镀膜均匀性的影响。

由此可见，在舟体10和电极连接结构20之间增加热缓冲结构30，使得舟体10上各处温度更加均匀，从而进一步改善真空镀膜的均匀性，提高真空镀膜的质量。

在上述实施例的基础上，可选的，在本申请的一个实施例中，如图1所示，热缓冲结构30的第一端31与舟体10连接，热缓冲结构30的第二端32与电极连接结构20连接；

在第二方向Y上，舟体10的第一表面S1高于热缓冲结构30的第一端31，热缓冲结构30的第一端31高于热缓冲结构30的第二端32，第二方向Y垂直于第一表面S1，且指向远离舟体10的方向。

也就是说，在本实施例中，蒸发舟100呈桥梁式，那么，电极连接结构20上的高热量不仅可以通过热缓冲结构30进行散热，还可以通过热缓冲结构30周围的空气进行散热，进一步阻碍电极连接结构20上的高热量传递到舟体10上，对舟体10上各处的温度均匀性及后续镀膜的均匀性产生影响。

可以理解的是，在第二方向Y上，设置热缓冲结构30的第一端31高于热缓冲结构30的第二端32，从而使得电极连接结构20上的热量经由热缓冲结构30向舟体10传递时，需要在热缓冲结构30中爬坡，即更进一步阻碍电极连接结构20上的高热量传递到舟体10上，对舟体10上各处的温度均匀性及后续镀膜的均匀性产生影响。

并且，在第二方向Y上，舟体10的第一表面S1高于热缓冲结构30的第一端31，而舟体10的第一表面S1设置有蒸发槽11，从而使得流经电极连接结构20和热缓冲结构30的电流可以在舟体10中远离其第一表面S1的底部进行传递，进而在舟体10各蒸发槽11处的电阻相等时，使得舟体10各蒸发槽11处的温度更加均匀。

在上述实施例的基础上，可选的，在本申请的一个实施例中，热缓冲结构30可以为台阶形，如图1所示，但本申请对热缓冲结构30为台阶形的台阶数并不做限定，具体视情况而定。

可选的，在本申请的另一个实施例中，热缓冲结构30也可以为斜坡形，但本申请对斜坡形的倾斜角度并不做限定，具体视情况而定。

在上述任一实施例的基础上，可选的，在本申请的一个实施例中，如图1所示，热缓冲结构30为台阶形，具体的，热缓冲结构30包括水平部301和垂直部302，水平部301沿第一方向X延伸，垂直部302沿第二方向Y延伸；

水平部301的第一端与舟体10连接，水平部301的第二端与垂直部302的第一端连接，垂直部302的第二端与电极连接结构20连接；

舟体10还具有背离第一表面S1的第二表面S2，水平部301具有背离第一表面S1的第三表面S3，第二表面S2和第三表面S3相齐平。

在本实施例中，水平部301的第一端即为热缓冲结构30的第一端31，垂直部302的第二端即为热缓冲结构30的第二端32，且水平部301的第二端与垂直部302的第一端相连接。

在本实施例中，舟体10背离第一表面S1的第二表面S2与水平部301背离第一表面S1的第三表面S3相齐平，从而使得流经电极连接结构20和热缓冲结构30的电流可以从舟体10背离第一表面S1的底部流经舟体10，进而在舟体10各蒸发槽11处的电阻相等时，使得舟体10各蒸发槽11处的温度更加均匀。

并且，舟体10背离第一表面S1的第二表面S2与水平部301背离第一表面S1的第三表面S3相齐平，还可以使得舟体10和水平部301为一体成型结构，从而使得制备该蒸发舟的工艺较为简单。

当然，舟体10、热缓冲结构30中的水平部301和垂直部302以及电极连接结构20整体也可以为一体成型结构。

在上述任一实施例的基础上，可选的，在本申请的一个实施例中，如图2所示，蒸发舟还包括舟盖40，舟盖40覆盖在舟体10的第一表面S1上；

具体的，图3示出了舟盖40的俯视图，如图3所示，舟盖40上设置有多个蒸发口41，结合图1-图3所示，蒸发口41与蒸发槽11一一对应，且蒸发口41在第一表面S1的正投影位于蒸发槽11在第一表面S1的正投影范围内；

具体的，图4示出了舟盖40的侧视图，如图4所示，舟盖40上还设置有多个环形的围挡结构42，结合图1-图4所示，围挡结构42与蒸发槽11一一对应，且围挡结构42伸入到蒸发槽11内，与蒸发槽11的侧壁相贴合，以阻挡舟盖40移动。

需要说明的是，本申请对舟体10的第一表面S1上设置的蒸发槽11在第一表面S1的正投影的形状并不做限定，可选的，蒸发槽11在第一表面S1的正投影的形状可以是矩形，即各个蒸发槽11为格槽结构，也可以是椭圆形等。

同理，本申请对舟盖40上设置的蒸发口41在第一表面S1的正投影的形状也不做限定，可选的，舟盖40上设置的蒸发口41在第一表面S1的正投影的形状可以是矩形，也可以是椭圆形等。

在本实施例中，设置舟盖40覆盖在舟体10的第一表面S1上，且舟盖40上设置有多个蒸发口41，蒸发口41与蒸发槽11一一对应，蒸发口41在第一表面S1的正投影位于蒸发槽11在第一表面S1的正投影范围内，即蒸发口41的面积小于对应的蒸发槽11的面积，从而可以利用舟盖40压紧蒸发槽11内的蒸发材料，使得蒸发槽11内的蒸发材料与舟体10充分紧密接触，吸收舟体10上的热量而蒸发，提高能量利用率。

并且，在本实施例中，设置舟盖40覆盖在舟体10的第一表面S1上，且舟盖40上的蒸发口41在第一表面S1的正投影位于蒸发槽11在第一表面S1的正投影范围内，即蒸发口41的面积小于对应的蒸发槽11的面积，还可以避免当功率较大时，各蒸发槽11处的蒸发速率过大而不利于镀膜的均匀性。这是因为，较小的蒸发口41可以减小从蒸发槽11出来的蒸汽量，从而达到减缓蒸汽速率的目的。

另外，在本实施例中，舟盖40上还设置有多个环形的围挡结构42，结合图1-图4所示，围挡结构42与蒸发槽11一一对应，且在舟盖40覆盖在舟体10的第一表面S1时，舟盖40的围挡结构42伸入到对应的蒸发槽11内，与对应的蒸发槽11的侧壁相贴合，从而可以阻挡舟盖40移动，并进一步压紧蒸发槽11内的蒸发材料。

由此可见，在本实施例中，通过设置舟盖40，且舟盖40上设置有与蒸发槽11一一对应的面积较小的蒸发口41，以及设置有与蒸发槽11一一对应的围挡结构42，使得舟盖40镶嵌于舟体10里，压紧蒸发槽11内的蒸发材料，从而使得蒸发材料和舟体10充分紧密接触，并减缓各蒸发槽11处的蒸发速率。

在上述任一实施例的基础上，可选的，在本申请的一个实施例中，蒸发舟为石墨蒸发舟，即舟体10、电极连接结构20、热缓冲结构30以及舟盖40均为石墨材料。

可以理解的是，蒸发舟的材料应选择熔点高、蒸气压低、不与蒸发材料反应、无放气现象和其他污染、具有合适的电阻率等性能的材料。在本实施例中，由于石墨材料具有良好的导电性、不易与蒸发材料反应的稳定性、耐高温以及无放气现象等优点，因此，选择石墨材料作为蒸发舟的材料。

我们知道，当使用蒸发舟蒸发材料时，蒸发材料与蒸发舟之间要有良好的热接触，以避免产生较大的温度梯度，否则蒸发材料容易形成局部过热，会使蒸发材料局部分解，甚至造成蒸发材料的局部喷溅。而本申请实施例所提供的蒸发舟，在舟体10的第一表面S1设置至少一排蒸发槽，一排蒸发槽包括沿舟体10延伸方向X排布的多个相同的蒸发槽11，从而使得各个蒸发槽11内的蒸发材料可精确添加，舟体10各个蒸发槽11处的物料均匀，这样舟体10各个蒸发槽11处的电阻相等，那么，在进行蒸镀时，舟体10各个蒸发槽11处产生的热量相当，从而使得舟体10各个蒸发槽11处的蒸发速率相当，制备得到的薄膜纯度高、质量好，厚度可较准确控制。

考虑到蒸发舟100中与电极柱接触的电极连接结构20温度较高，容易造成舟体10两端与中间区域的温度不均，引起镀膜厚度不均匀，进一步地，在舟体10和电极连接结构20之间增加热缓冲结构30，利用热缓冲结构30减缓电极连接结构20上的热量传递到舟体上，对舟体20上的温度均匀性产生影响，进一步提高镀膜的均匀性。并且，热缓冲结构30可以为台阶形或斜坡形，以使蒸发舟呈桥梁式，进一步阻碍电极连接结构20上的高热量传递到舟体10上。

更进一步地，在舟体10的第一表面S1设置舟盖40，且舟盖40上设置与蒸发槽11一一对应的蒸发口41，并设置蒸发口41的面积小于蒸发槽11的面积，以利用舟盖40压紧蒸发槽11内的蒸发材料，使得蒸发槽11内的蒸发材料与舟体10充分紧密接触，吸收舟体10上的热量而蒸发。并且，较小的蒸发口41可以减小从蒸发槽11出来的蒸汽量，进而达到减缓蒸汽速率的目的。

另外，舟盖40上还设置有与蒸发槽11一一对应的环形的围挡结构42，在舟盖40覆盖在舟体10的第一表面S1时，舟盖40的围挡结构42伸入到对应的蒸发槽11内，与对应的蒸发槽11的侧壁相贴合，从而可以阻挡舟盖40移动，并进一步压紧蒸发槽11内的蒸发材料。

本申请实施例还提供了一种蒸发装置200，图5示出了本申请实施例所提供的蒸发装置200的结构示意图，如图5所示，该蒸发装置200包括：

第一电极柱50、第二电极柱60和蒸发舟100，蒸发舟100为上述任一实施例所提供的蒸发舟100；

其中，第一电极柱50与蒸发舟100的一个电极连接结构20电连接，第二电极柱60与蒸发舟100的另一个电极连接结构20电连接。

在本申请实施例所提供的蒸发装置200中，蒸发舟100通过其两端的电极连接结构20分别连接一个电极柱，即蒸发舟100夹在两个电极柱之间，在两个电极柱之间的电压的作用下，蒸发舟100对其各蒸发槽11内的蒸发材料进行加热，使各蒸发槽11内的蒸发材料蒸发。

在本申请实施例所提供的蒸发装置200中，由于蒸发舟100中不再是单一较大的蒸发槽，而是包括至少一排蒸发槽，且一排蒸发槽包括沿舟体10延伸方向(第一方向X)排布的多个相同的蒸发槽11，从而在向各个蒸发槽11内添加蒸发材料后，使得舟体10各个蒸发槽11处的物料均匀，这样舟体10各个蒸发槽11处的电阻相同，从而使得舟体10各个蒸发槽11处产生的热量相当，即舟体10各个蒸发槽11处的温度均匀，进而使得舟体10各个蒸发槽11处的蒸发速率相当，达到改善真空镀膜的均匀性，提高真空镀膜的质量的目的。

在上述实施例的基础上，考虑到电极柱(50或60)与蒸发舟100接触时可能存在接触不良的问题，如果电极柱(50或60)与蒸发舟100接触不良，会导致蒸发舟100局部发热，如其电极连接结构20温度很高，然后会使得蒸发舟100两端温度高，中间区域温度较低，蒸发舟100的各蒸发槽11处的蒸发速率不均匀，造成蒸镀膜层不均匀。因此，可选的，在本申请的一个实施例中，如图5所示，蒸发装置200还包括夹具结构300，图6进一步示出了夹具结构300的结构示意图；

如图6所示，夹具结构300包括主体结构70，主体结构70具有顶面71和环绕顶面71的侧面72，顶面71上设置有压合结构80；

如图6所示，主体结构70内部设置有贯穿侧面72的电极孔73，电极孔73的延伸方向Z1与顶面71平行，电极孔73用于放置相应的电极柱(50或60)；

如图6所示，压合结构80呈U形，且压合结构80的U形开口朝向主体结构70的顶面71，压合结构80用于将蒸发舟100的电极连接结构20压合在其U形开口内；

如图6所示，压合结构80的U形底部设置有贯穿的第一过孔K1，如图1和图2所示，电极连接结构20设置有贯穿的第二过孔K2，如图6所示，主体结构70设置有连通顶面71和电极孔73的第三过孔K3，结合图1-图2、图5-图6所示，在垂直于顶面71的方向上，第一过孔K1、第二过孔K2和第三过孔K3对应设置；

夹具结构300还包括第一螺钮(图5和图6中未示出)，第一螺钮依次穿过第一过孔K1、第二过孔K2和第三过孔K3，直至电极孔73内，以连接电极连接结构20和电极孔73内的电极柱(50或60)，并固定电极孔73内的电极柱(50或60)。

由此可见，在本实施例中，采用夹具结构300来控制电极柱(50或60)和蒸发舟100的接触问题，方便安装。结合图1-图2、图5和图6所示，电极柱(50或60)通过该夹具结构300和蒸发舟100的电极连接结构20相连接。

具体的，蒸发舟100的电极连接结构20伸入到夹具结构300中压合结构80的U形开口内，利用第一螺钮依次穿过压合结构80的U形底部上贯穿的第一过孔K1、电极连接结构20上贯穿的第二过孔K2以及主体结构70上连通其顶面71和其内部的电极孔73的第三过孔K3，从而使得蒸发舟100的电极连接结构20通过第一螺钮和电极孔73内的电极柱(50或60)间接连接。

需要说明的是，本申请对夹具结构300的主体结构70的具体形状并不做限定，可选的，主体结构70可以是长方体状，此时，主体结构70具有顶面71和环绕顶面71的四个侧面72，电极孔73贯穿主体结构70相对设置的两个侧面72，且电极孔73的延伸方向Z1平行于主体结构70的顶面71；另一可选的，主体结构70也可以是圆柱形，此时，主体结构70具有顶面71和环绕顶面71的呈曲面的侧面72，电极孔73贯穿主体结构70呈曲面的侧面，且电极孔73的延伸方向Z1平行于主体结构70的顶面71。

可以理解的是，压合结构80将蒸发舟100的电极连接结构20压合的越稳固，则蒸发舟100的电极连接结构20和电极柱(50或60)的接触越好，因此，可选的，压合结构80的U形底部还可以设置有贯穿的至少一个过孔K11，从而利用螺钮穿过过孔11和电极连接结构20接触，或者，利用螺钮穿过过孔11和主体结构70接触。

还可以理解的是，电极孔73内的电极柱(50或60)固定的越稳定，则蒸发舟100的电极连接结构20和电极柱(50或60)的接触越好，因此，可选的，在本申请的一个实施例中，如图6所示，主体结构70还设置有连通侧面72和电极孔73的第四过孔K4，第四过孔K4的延伸方向Z2与顶面71平行，且与电极孔73的延伸方向Z1垂直；

如图6所示，夹具结构300还包括第二螺钮90，第二螺钮90由主体结构70的侧面72穿过第四过孔K4，直至电极孔73内，以进一步固定电极孔73内的电极柱(50或60)。

在本实施例中，第二螺钮90由主体结构70的侧面72穿过第四过孔K4，直至电极孔73内，由于第四过孔K4贯穿主体结构70的侧面72和电极孔73，且第四过孔K4的延伸方向Z2与顶面71平行，并与电极孔73的延伸方向Z1垂直，从而使得第二螺钮90可以进一步固定电极孔73内的电极柱(50或60)。

本说明书中各个部分采用并列和递进相结合的方式描述，每个部分重点说明的都是与其他部分的不同之处，各个部分之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明，本说明书中各实施例中记载的特征可以相互替换或组合，使本领域专业技术人员能够实现或使用本申请。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本申请将不会被限制于本文所示的实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种蒸发舟，其特征在于，所述蒸发舟包括：

舟体，所述舟体沿第一方向延伸，且所述舟体具有平行于所述第一方向的第一表面，所述舟体的第一表面设置有至少一排蒸发槽，所述一排蒸发槽包括沿所述第一方向依次间隔排列的多个相同的蒸发槽，所述蒸发槽用于放置蒸发材料；

电极连接结构，所述电极连接结构位于所述舟体沿所述第一方向相对的两端，连接所述舟体和相应的电极柱。

2.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，所述蒸发舟还包括：

位于所述舟体和所述电极连接结构之间，连接所述舟体和所述电极连接结构的热缓冲结构。

3.根据权利要求2所述的蒸发舟，其特征在于，所述热缓冲结构的第一端与所述舟体连接，所述热缓冲结构的第二端与所述电极连接结构连接；

在第二方向上，所述舟体的第一表面高于所述热缓冲结构的第一端，所述热缓冲结构的第一端高于所述热缓冲结构的第二端，所述第二方向垂直于所述第一表面，且指向远离所述舟体的方向。

4.根据权利要求3所述的蒸发舟，其特征在于，所述热缓冲结构为台阶形或斜坡形。

5.根据权利要求3所述的蒸发舟，其特征在于，所述热缓冲结构为台阶形，所述热缓冲结构包括水平部和垂直部，所述水平部沿所述第一方向延伸，所述垂直部沿所述第二方向延伸；

所述水平部的第一端与所述舟体连接，所述水平部的第二端与所述垂直部的第一端连接，所述垂直部的第二端与所述电极连接结构连接；

所述舟体还具有背离所述第一表面的第二表面，所述水平部具有背离所述第一表面的第三表面，所述第二表面和所述第三表面相齐平。

6.根据权利要求1-5任一项所述的蒸发舟，其特征在于，所述蒸发舟还包括舟盖，所述舟盖覆盖在所述舟体的第一表面上；

所述舟盖上设置有多个蒸发口，所述蒸发口与所述蒸发槽一一对应，且所述蒸发口在所述第一表面的正投影位于所述蒸发槽在所述第一表面的正投影范围内；

所述舟盖上还设置有多个环形的围挡结构，所述围挡结构与所述蒸发槽一一对应，且所述围挡结构伸入到所述蒸发槽内，与所述蒸发槽的侧壁相贴合，以阻挡所述舟盖移动。

7.根据权利要求6所述的蒸发舟，其特征在于，所述蒸发舟为石墨蒸发舟。

8.一种蒸发装置，其特征在于，包括第一电极柱、第二电极柱和蒸发舟，所述蒸发舟为权利要求1-7任一项所述的蒸发舟；

所述第一电极柱与所述蒸发舟的一个电极连接结构电连接，所述第二电极柱与所述蒸发舟的另一个电极连接结构电连接。

9.根据权利要求8所述的蒸发装置，其特征在于，所述蒸发装置还包括夹具结构，所述夹具结构包括主体结构，所述主体结构具有顶面和环绕所述顶面的侧面，所述顶面上设置有压合结构；

所述主体结构内部设置有贯穿所述侧面的电极孔，所述电极孔的延伸方向与所述顶面平行，所述电极孔用于放置相应的电极柱；

所述压合结构呈U形，且所述压合结构的U形开口朝向所述主体结构的顶面，所述压合结构用于将所述蒸发舟的电极连接结构压合在其U形开口内；

所述压合结构的U形底部设置有贯穿的第一过孔，所述电极连接结构设置有贯穿的第二过孔，所述主体结构设置有连通所述顶面和所述电极孔的第三过孔，在垂直于所述顶面的方向上，所述第一过孔、所述第二过孔和所述第三过孔对应设置；

所述夹具结构还包括第一螺钮，所述第一螺钮依次穿过所述第一过孔、所述第二过孔和所述第三过孔，直至所述电极孔内，以连接所述电极连接结构和所述电极孔内的电极柱，并固定所述电极孔内的电极柱。

10.根据权利要求9所述的蒸发装置，其特征在于，所述主体结构还设置有连通所述侧面和所述电极孔的第四过孔，所述第四过孔的延伸方向与所述顶面平行，且与所述电极孔的延伸方向垂直；

所述夹具结构还包括第二螺钮，所述第二螺钮由所述主体结构的侧面穿过所述第四过孔，直至所述电极孔内，以进一步固定所述电极孔内的电极柱。