JPH02439Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

本考案は真空蒸着装置に使用される蒸発源装置
に関する。 従来この種の蒸発源装置として第１図示のよう
にボロンナイトライドコンポジツト等の導電性セ
ラミツクの棒状本体ａの上面に凹溝状の蒸発部ｂ
を形成し、該本体ａへの通電でこれを発熱させ、
該蒸発部ｂ内の金属材料ｃを加熱溶解して真空室
ｄ内へ蒸発させる式のものは知られている。こう
したセラミツク製の本体ａは第２図示のようにそ
の長手方向両端部を通電用電極部ｅで固定するを
一般とするが、該本体ａが高温加熱されるとその
熱膨張で使用中にそり返り蒸発速度が変化したり
破断する等の事故を生じ易く、また熱膨張を吸収
するように電極部ｅでの固定を緩くすると電気的
接触が不充分になり電力ロスを生ずる欠点があ
る。さらに本体ａの各端部を固定する各電極部ｅ
が同一水平面上にないと本体ａにストレスが掛り
破断を生じ易くなるが、該本体は100mm乃至260mm
と比較的長くこれに伴ない各電極部ｅの間隔も長
くなるので各電極部ｅの水平度を出すことが非常
に困難であつた。 本考案はこうした欠点、困難を解決することを
目的とするもので、真空室１内に設けた導電性セ
ラミツクの本体１の上面に凹溝状の蒸発部３を形
成し、該本体２への通電で該蒸発部３内の金属材
料４を加熱溶解して該真空室１内へ蒸発させる式
のものに於て、該本体２を略Ｕ字状の平面形状に
形成してその１対の端部を夫々取付部２ａ，２ａ
とすると共にその中間の連結部２ｂの上面に凹溝
状の蒸発部３を形成して成る。 第２図及び第３図はその１例を示すもので、こ
れに於ては該本体１は導電性セラミツクの板に切
れ込みを入れて略Ｕ字状の平面形状とし、その上
面に蒸発部３の凹溝を切削して形成した。該本体
１の取付部２ａ，２ａは水冷電極５，５により固
定されるが、各取付部２ａは本体１の１側に互に
接近して位置するので水冷電極５，５もその間隔
を狭くして配置し得、両電極５の水平度を簡単に
出すことが出来、また該電極５に通電されて該本
体１が加熱膨張したときは取付部２ａ，２ａと反
対側に伸び、本体１のそり返りや破断を生ずるこ
とがない。該本体１の膨張による伸びは加熱温度
にほぼ比例するが、取付部２ａ，２ａの反対側に
自由に伸びれるので本体１を高温に加熱すること
が可能であり、その結果蒸発部３からの蒸発量を
従来よりも1.5倍程度にまで増大させ得る。 本考案のものは本体１を電極５から通電して加
熱し、蒸発部３内の金属材料４を真空室１へ蒸発
させ、金属薄膜を該室１内のサブストレートに形
成すべく作動することは従来のものと変わりがな
いが、例えばロール状のフイルムのサブストレー
トを真空室内に用意し、これを繰り出して巻取る
までの間に該フイルムに蒸発部３から蒸発する例
えばアルミニウムの蒸着膜を形成した場合、次表
に見られるように、従来の棒状の蒸発部を設けた
場合に比べて蒸発部の個数を少なくして従来と同
等の製品を得ることが出来、その寿命も著しく長
く、ランニングコストを38％低減させ得る。 また、本考案の場合、Ｇ値を４ｇ／min・IN²
に上げることも可能であり、この場合、巻取り速
度を650ｍ／minに上げて500Åの膜厚のAl膜を形
成出来、寿命も約30時間であつた。

【表】

【表】 量
以上のように、本考案に於ては、本体１を略Ｕ
字状に形成したので加熱により生ずる膨張を取付
部２ａ，２ａと反対側に逃せ、本体１のそり返り
や破断が防止され、また取付部２ａ，２ａは互に
接近するのでこれを固定する電極５，５も接近し
てその水平度を出し易くなつて本体１にストレス
を与えることがなく、寿命が長く蒸発量の多い蒸
発源が得られる等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例の斜視図、第２図はその取付状
態の側面図、第３図は本考案の実施例の平面図、
第４図はその側面図である。 １……真空室、２……本体、３……蒸発部、４
……金属材料、２ａ，２ａ……取付部、２ｂ……
連結部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空室１内に設けた導電性セラミツクの本体２
   の上面に凹溝状の蒸発部３を形成し、該本体２へ
   の通電で該蒸発部３内の金属材料４を加熱溶解し
   て該真空室１内へ蒸発させる式のものに於て、該
   本体２を略Ｕ字状の平面形状に形成してその１対
   の端部を夫々取付部２ａ，２ａとすると共にその
   中間の連結部２ｂの上面に凹溝状の蒸発部３を形
   成して成る蒸発源装置。