JPS6338426B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6338426B2 JPS6338426B2 JP58180833A JP18083383A JPS6338426B2 JP S6338426 B2 JPS6338426 B2 JP S6338426B2 JP 58180833 A JP58180833 A JP 58180833A JP 18083383 A JP18083383 A JP 18083383A JP S6338426 B2 JPS6338426 B2 JP S6338426B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation section
- molten metal
- evaporation
- resistor
- metal
- Prior art date
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- Expired
Links
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 35
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 34
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 28
- 238000001883 metal evaporation Methods 0.000 claims description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/246—Replenishment of source material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は金属を蒸着する真空蒸着装置に使用さ
れる溶融金属蒸発源装置に関する。
れる溶融金属蒸発源装置に関する。
従来、真空室内に設けた蒸発源から溶解した金
属を蒸発させこれを該室内のフイルムその他のサ
ブストレートに薄膜状に付着させる蒸着装置に於
ては、長時間に亘る連続的な蒸着を行なうために
繰り出された金属ワイヤを真空室内で順次加熱溶
解して蒸発用の溶融金属を得ることが行なわれて
いる。この方式はワイヤフイード方式と通称さ
れ、一般的に第１図示のように金属ワイヤａを真
空室ｂ内で直接蒸発部ｃに送り込むように構成さ
れるが、該金属ワイヤａの純度が悪かつたり表面
に酸化膜や汚れが付着していると蒸発部ｃ内で気
泡が発生し、溶融金属の突沸が起り、その結果蒸
着膜にピンホールを生じさせたりサブストレート
に損傷を与え、不良品が発生する原因になる。
属を蒸発させこれを該室内のフイルムその他のサ
ブストレートに薄膜状に付着させる蒸着装置に於
ては、長時間に亘る連続的な蒸着を行なうために
繰り出された金属ワイヤを真空室内で順次加熱溶
解して蒸発用の溶融金属を得ることが行なわれて
いる。この方式はワイヤフイード方式と通称さ
れ、一般的に第１図示のように金属ワイヤａを真
空室ｂ内で直接蒸発部ｃに送り込むように構成さ
れるが、該金属ワイヤａの純度が悪かつたり表面
に酸化膜や汚れが付着していると蒸発部ｃ内で気
泡が発生し、溶融金属の突沸が起り、その結果蒸
着膜にピンホールを生じさせたりサブストレート
に損傷を与え、不良品が発生する原因になる。
こうした突沸は特公昭33−4309号公報に見られ
るように、るつぼ状の加熱器で金属ワイヤを溶融
し、該加熱器で溶融金属から気体を排出したのち
下方の蒸発部へと流下させることにより解消する
ことが出来る。しかし乍らこのように蒸発部の上
方に別個の加熱器を設けると、該加熱器が蒸発部
からの蒸発の妨げになり、また加熱器と蒸発部と
を夫々別個に製作して真空室内に取付け、夫々に
電気配線を行なうを要するので取付作業が煩らわ
しく、コンパントに蒸発源を構成できない欠点が
ある。
るように、るつぼ状の加熱器で金属ワイヤを溶融
し、該加熱器で溶融金属から気体を排出したのち
下方の蒸発部へと流下させることにより解消する
ことが出来る。しかし乍らこのように蒸発部の上
方に別個の加熱器を設けると、該加熱器が蒸発部
からの蒸発の妨げになり、また加熱器と蒸発部と
を夫々別個に製作して真空室内に取付け、夫々に
電気配線を行なうを要するので取付作業が煩らわ
しく、コンパントに蒸発源を構成できない欠点が
ある。
本発明はこうした欠点を解消し、突沸が防止さ
れると共にコンパクトに構成し得、製作、取付作
業が容易に行なえる溶融金属蒸発源装置を提供す
ることをその目的とするもので、上面に凹溝から
なる蒸発部を形成した長手の電気抵抗体の両端部
に給電端子を接続して該蒸発部内の溶融金属を加
熱蒸発させるようにしたものに於て、該電気抵抗
体を略Ｕ字状に水平に弯曲させると共に該電気抵
抗体の両端部を蒸発部より一段高く形成してそこ
に該蒸発部の凹溝に連らなり且つ金属ワイヤの先
端が当接される溶融金属溜りを形成したことを特
徴とする。
れると共にコンパクトに構成し得、製作、取付作
業が容易に行なえる溶融金属蒸発源装置を提供す
ることをその目的とするもので、上面に凹溝から
なる蒸発部を形成した長手の電気抵抗体の両端部
に給電端子を接続して該蒸発部内の溶融金属を加
熱蒸発させるようにしたものに於て、該電気抵抗
体を略Ｕ字状に水平に弯曲させると共に該電気抵
抗体の両端部を蒸発部より一段高く形成してそこ
に該蒸発部の凹溝に連らなり且つ金属ワイヤの先
端が当接される溶融金属溜りを形成したことを特
徴とする。
本発明の実施例を第２図につき説明するに、同
図に於て符号１は真空室、２は該真空室１内に設
けられた長手の電気抵抗体１３の上面に形成した
凹溝１２からなる蒸発部を示し、該電気抵抗体１
３の両端部１３ａ，１３ａにはこれへ通電のため
の給電端子１５，１５が接続され、該電気抵抗体
１３が通電加熱されると該蒸発部２内の溶融金属
が加熱され蒸発する。
図に於て符号１は真空室、２は該真空室１内に設
けられた長手の電気抵抗体１３の上面に形成した
凹溝１２からなる蒸発部を示し、該電気抵抗体１
３の両端部１３ａ，１３ａにはこれへ通電のため
の給電端子１５，１５が接続され、該電気抵抗体
１３が通電加熱されると該蒸発部２内の溶融金属
が加熱され蒸発する。
こうした構成は前記従来装置も備えるところで
あるが、突沸を防止する手段が蒸発部からの蒸発
を妨げないように設けられることが好ましく、コ
ンパクトで製作、取付が容易となるように構成さ
れていることが望ましい。
あるが、突沸を防止する手段が蒸発部からの蒸発
を妨げないように設けられることが好ましく、コ
ンパクトで製作、取付が容易となるように構成さ
れていることが望ましい。
本発明に於ては、かかる要望を満足すべく、該
電気抵抗体１３を略Ｕ字状に水平に弯曲させ、そ
の両端部１３ａ，１３ａを該蒸発部２よりも一段
高く形成すると共に該両端部１３ａ，１３ａに該
蒸発部２の凹溝１２に連らなる溝状の溶融金属溜
り１７，１７を夫々形成し、該溜り１７，１７に
順次繰出されるAl等の金属ワイヤ４の先端が当
接されるようにした。
電気抵抗体１３を略Ｕ字状に水平に弯曲させ、そ
の両端部１３ａ，１３ａを該蒸発部２よりも一段
高く形成すると共に該両端部１３ａ，１３ａに該
蒸発部２の凹溝１２に連らなる溝状の溶融金属溜
り１７，１７を夫々形成し、該溜り１７，１７に
順次繰出されるAl等の金属ワイヤ４の先端が当
接されるようにした。
その作動を説明するに、給電端子１５，１５へ
通電されると電気抵抗体１３が蒸発部２及び溶融
金属溜り１７，１７と共に発熱し、該溜り１７，
１７に当接されたワイヤ４，４は先端から順次溶
融して溶融金属となり、該溶融金属があふれて一
段と低い蒸発部２の凹溝１２内へ流れ込み、そこ
で蒸発する。該溶融金属は該溜り１７，１７にあ
る間に不純物のガス化排出が行なわれるので、蒸
発部２に流れ込んだ溶融金属の蒸発中に突沸を生
ずることを防止出来、該溜り１７，１７は電気抵
抗体１３を成形するとき蒸発部２の側方に一体に
形成することが出来、その通電も蒸発部２への給
電端子１５，１５により行なえ、該溜り１７，１
７の加熱のための配線が不要で真空室１への取付
けも電気抵抗体１３を固定するだけで簡単に行な
える。尚、該電気抵抗体１３の断面積を変化させ
ることにより、その各部の温度を制御することが
出来、例えば、該溜り１７，１７の温度を金属ワ
イヤ４の溶解温度よりも高くその蒸発温度よりも
低くすることが出来る。１４は該溜り１７，１７
と覆う防着板である。
通電されると電気抵抗体１３が蒸発部２及び溶融
金属溜り１７，１７と共に発熱し、該溜り１７，
１７に当接されたワイヤ４，４は先端から順次溶
融して溶融金属となり、該溶融金属があふれて一
段と低い蒸発部２の凹溝１２内へ流れ込み、そこ
で蒸発する。該溶融金属は該溜り１７，１７にあ
る間に不純物のガス化排出が行なわれるので、蒸
発部２に流れ込んだ溶融金属の蒸発中に突沸を生
ずることを防止出来、該溜り１７，１７は電気抵
抗体１３を成形するとき蒸発部２の側方に一体に
形成することが出来、その通電も蒸発部２への給
電端子１５，１５により行なえ、該溜り１７，１
７の加熱のための配線が不要で真空室１への取付
けも電気抵抗体１３を固定するだけで簡単に行な
える。尚、該電気抵抗体１３の断面積を変化させ
ることにより、その各部の温度を制御することが
出来、例えば、該溜り１７，１７の温度を金属ワ
イヤ４の溶解温度よりも高くその蒸発温度よりも
低くすることが出来る。１４は該溜り１７，１７
と覆う防着板である。
以上のように本発明によるときは、蒸発部を有
する電気抵抗体を略Ｕ字状に弯曲し、その両端部
を一段高めて該蒸発部の凹溝へと連らなる溶融金
属溜りを形成し、該溜りへ金属ワイヤの先端を当
接させるようにしたので、該溜りに於て溶融金属
中の不純物のガス化排出を行なつたのち一段低い
蒸発部へと流下させ得て蒸発部に於ける突沸を防
げ、該蒸発部と該溜りを一体形成できるのでコン
パクトで製作が簡単で取付も容易になり、該溜り
の加熱は蒸発部への給電を利用するので配線を不
要となし得られ、該溜りは蒸発部の側方の低い個
所に位置するので蒸発の妨げになることがない等
の効果がある。
する電気抵抗体を略Ｕ字状に弯曲し、その両端部
を一段高めて該蒸発部の凹溝へと連らなる溶融金
属溜りを形成し、該溜りへ金属ワイヤの先端を当
接させるようにしたので、該溜りに於て溶融金属
中の不純物のガス化排出を行なつたのち一段低い
蒸発部へと流下させ得て蒸発部に於ける突沸を防
げ、該蒸発部と該溜りを一体形成できるのでコン
パクトで製作が簡単で取付も容易になり、該溜り
の加熱は蒸発部への給電を利用するので配線を不
要となし得られ、該溜りは蒸発部の側方の低い個
所に位置するので蒸発の妨げになることがない等
の効果がある。
第１図は従来例の説明線図、第２図は本発明の
実施例の斜視図である。 １…真空室、２…蒸発部、４…金属ワイヤ、１
３…電気抵抗体、１３ａ，１３ａ…両端部、１
５，１５…給電体、１７，１７…溶融金属溜り。
実施例の斜視図である。 １…真空室、２…蒸発部、４…金属ワイヤ、１
３…電気抵抗体、１３ａ，１３ａ…両端部、１
５，１５…給電体、１７，１７…溶融金属溜り。
Claims (1)
- １ 上面に凹溝からなる蒸発部を形成した長手の
電気抵抗体の両端部に給電端子を接続して該蒸発
部内の溶融金属を加熱蒸発させるようにしたもの
に於て、該電気抵抗体を略Ｕ字状に水平に弯曲さ
せると共に該電気抵抗体の両端部を蒸発部より一
段高く形成してそこに該蒸発部の凹溝に連らなり
且つ金属ワイヤの先端が当接される溶融金属溜り
を形成したことを特徴とする溶融金属蒸発源装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18083383A JPS6075574A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 溶融金属蒸発源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18083383A JPS6075574A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 溶融金属蒸発源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6075574A JPS6075574A (ja) | 1985-04-27 |
| JPS6338426B2 true JPS6338426B2 (ja) | 1988-07-29 |
Family
ID=16090153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18083383A Granted JPS6075574A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 溶融金属蒸発源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6075574A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60116769A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-24 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 蒸着装置 |
| JPH03170662A (ja) * | 1989-11-29 | 1991-07-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 蒸着装置および蒸着方法 |
| JP2010059461A (ja) * | 2008-09-03 | 2010-03-18 | Panasonic Corp | 成膜装置 |
| JP5621269B2 (ja) * | 2010-02-09 | 2014-11-12 | パナソニック株式会社 | 蒸着用ボートおよびこれを用いた蒸着装置 |
| JP6998659B2 (ja) * | 2017-02-02 | 2022-01-18 | 株式会社アルバック | 蒸着用金材料製造方法 |
| CN114892139A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-08-12 | 宣城开盛新能源科技有限公司 | 一种控制蒸发源材料水分及杂质的方法及装置 |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP18083383A patent/JPS6075574A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6075574A (ja) | 1985-04-27 |
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