JPS6060453U - 蒸発源装置 - Google Patents

蒸発源装置

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JPS6060453U
JPS6060453U JP15136183U JP15136183U JPS6060453U JP S6060453 U JPS6060453 U JP S6060453U JP 15136183 U JP15136183 U JP 15136183U JP 15136183 U JP15136183 U JP 15136183U JP S6060453 U JPS6060453 U JP S6060453U
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JP
Japan
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evaporation source
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shaped
evaporation section
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JP15136183U
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武井　宏真
宮川　清次
秀則 諏訪
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日本真空技術株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来例の斜視図、第２図はその取付状態の側面
図、第３図は本考案の実施例の平面図、　・第４図はそ
の側面図である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空室１内に設けた導電性セラミックの本体２の上面に
    凹溝状の蒸発部３を形成し、該本体２への通電で該蒸発
    部３内の金属材料４を加熱溶解して該真空室１内へ蒸発
    させる式のものに於て、該本体２を略Ｕ字状の平面形状
    に形成してその１対の端部を夫々取付部２ａ、２ａとす
    ると共にその中間の連結部２ｂの上面−に凹溝状の蒸発
    部３を形成して成る蒸発源装置。
JP15136183U 1983-10-01 1983-10-01 蒸発源装置 Granted JPS6060453U (ja)

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JP15136183U JPS6060453U (ja) 1983-10-01 1983-10-01 蒸発源装置

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JP15136183U JPS6060453U (ja) 1983-10-01 1983-10-01 蒸発源装置

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JPS6060453U true JPS6060453U (ja) 1985-04-26
JPH02439Y2 JPH02439Y2 (ja) 1990-01-08

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ID=30335436

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JP15136183U Granted JPS6060453U (ja) 1983-10-01 1983-10-01 蒸発源装置

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JPH02439Y2 (ja) 1990-01-08

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