JP2007046106A - 蒸着用ボートおよびこれを備えた真空蒸着装置 - Google Patents
蒸着用ボートおよびこれを備えた真空蒸着装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 本発明の蒸着用ボート11は、抵抗加熱体からなるボート本体12と、このボート本体12の両端部に各々設けられた電極取付部13と、ボート本体12の表面略中央に位置しており蒸発材料の供給を受けるキャビティ(材料受け部)14とを備え、ボート本体12の表面であって、キャビティ14と電極取付部13との間の領域に、キャビティ14から電極取付部13へ向かう方向と交差する方向に延在する複数の溝部15を形成することにより、キャビティ14から電極取付部13へ向かう蒸発材料の流動を堰き止めて、蒸発材料が電極取付部13へ到達することを規制する。
【選択図】 図2
Description
6 真空チャンバ
7 巻出しローラ
8 巻取りローラ
9 キャンローラ
10 蒸発源
11 蒸着用ボート
12 ボート本体
13 電極取付部
14 キャビティ(材料受け部)
15 溝部
16 材料供給ノズル
17A,17B,18A,18B 補助ローラ
19 仕切板
20A 搬送室
20B 成膜室
21 材料受け部
F 原料フィルム
M 蒸発材料
Claims (6)
- 抵抗加熱体からなるボート本体と、このボート本体の両端部に各々設けられた電極取付部と、前記ボート本体の表面略中央に位置しており蒸発材料の供給を受ける材料受け部とを備えた蒸着用ボートにおいて、
前記ボート本体の表面であって、前記材料受け部と前記電極取付部との間の領域には、前記材料受け部から前記電極取付部へ向かう方向と交差する方向に延在する複数の溝部が形成されていることを特徴とする蒸着用ボート。 - 前記ボート本体は直方形状を有し、その長辺方向の両端部に前記電極取付部が各々設けられているとともに、
前記複数の溝部は、前記ボート本体の短辺方向にそれぞれ平行に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の蒸着用ボート。 - 前記複数の溝部は更に、前記材料受け部の形成領域内に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の蒸着用ボート。
- 前記材料受け部は、前記ボート本体の表面と同一平面上に位置していることを特徴とする請求項3に記載の蒸着用ボート。
- 真空チャンバの内部に、被成膜基材と、この被成膜基材に対向配置され前記被成膜基材上に蒸発材料を蒸着させる蒸着用ボートとを備えた真空蒸着装置において、
前記蒸着用ボートは、抵抗加熱体からなるボート本体と、このボート本体の両端部に各々設けられた電極取付部と、前記ボート本体の表面略中央に位置しており蒸発材料の供給を受ける材料受け部とを備え、
前記ボート本体の表面であって、前記材料受け部と前記電極取付部との間の領域には、前記材料受け部から前記電極取付部へ向かう方向と交差する方向に延在する複数の溝部が形成されていることを特徴とする真空蒸着装置。 - 前記真空チャンバの内部には、前記被処理基材として原料フィルムを連続的に巻き出す巻出し部と、この巻出し部から巻き出された原料フィルムを巻き取る巻取り部と、前記巻出し部と前記巻取り部との間に配置され前記原料フィルムを冷却するキャンローラとが設置され、前記蒸着用ボートは、前記キャンローラに対向配置されていることを特徴とする請求項5に記載の真空蒸着装置。
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JP2005231575A JP2007046106A (ja) | 2005-08-10 | 2005-08-10 | 蒸着用ボートおよびこれを備えた真空蒸着装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011216674A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Hitachi Metals Ltd | 表面にアルミニウムまたはその合金の蒸着被膜を有する希土類系永久磁石の製造方法 |
JP7440304B2 (ja) | 2020-03-06 | 2024-02-28 | 株式会社アドバンテック | ステージ |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005036286A (ja) * | 2003-07-16 | 2005-02-10 | Ulvac Japan Ltd | 真空蒸着装置 |
WO2005049881A1 (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-02 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | 金属蒸発発熱体及び金属の蒸発方法 |
-
2005
- 2005-08-10 JP JP2005231575A patent/JP2007046106A/ja active Pending
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