JP7440304B2 - ステージ - Google Patents
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Description
そして,ステージ1の表面は,溶融金属を収容するための窪み部3を有する。
窪み部3は,ステージ1の端部領域5における窪み部3の幅WEに比べて,ステージ1の中央部領域7における窪み部3の幅WCが大きい。
そして,複数のステージのそれぞれは,中央部領域7に短軸21を有する形状を有し,複数のステージは,それぞれの長軸23が平行となるように隣接して設置される。
そして,複数のステージの間隔WSは,WC/10以上WC/4以下である。
そして,ステージ1の(上方)表面には,溶融金属を収容するための窪み部3が設けられる。窪み部3は,周囲に比べて低くなっている箇所を意味する。ステージ1の表面には窪み部3が設けられるので,窪み部3の周囲には壁4が形成されている。
図6は,溶融金属蒸発システムを説明するための概念図である。図6に示される通り,この溶融金属蒸発システム19は,複数のステージ1を有する。そして,複数のステージのそれぞれは,中央部領域7に短軸21を有する形状を有し,複数のステージは,それぞれの長軸23が平行となるように隣接して設置される。換言すると,図6に示される例では,複数のステージが横一列になるように配置される。そして,複数のステージの間隔WSは,WC/10以上WC/4以下であり,WC/8以上WC/6以下でもよいし,WC/10以上WC/5以下でもよいし,WC/5以上WC/4以下でもよい。
図7は,従来の蒸着装置を説明するための概念図である。従来の蒸着装置は,窪み部が矩形であった。矩形の窪み部の中心にワイヤを送り込む。送り込み速度は,1500mm/分であり,アルミニウムワイヤーの場合は,蒸発装置1つあたり約10g/分である。ステージの大きさは,およそ120mm×35mm×10mmの四角柱であり,表面部分に図7に示されるように長方形の窪み部を有する。窪み部の深さは1~2mmである。
図10は,コンピュータシミュレーションによる本発明の蒸発装置を用いた溶融金属の濡れ性評価の結果を示す。図10に示されるように,本発明の蒸発装置を用いることで,溶融金属の濡れ性が均一化し,ステージ全体に溶融金属がいきわたることが分かる。このため,この発明の蒸発装置を用いれば,溶融金属の温度が均一となり,対象に均一な蒸着膜を形成できると考えられる。
3 窪み部
5 端部領域
7 中央部領域
11 裏面の中央部領域
13 粗面化部
15 放熱材層
21 短軸
23 長軸
Claims (8)
- 蒸着装置チャンバ内に設置され,対象物に金属を蒸着させるために溶融金属を蒸発させるためのステージ(1)であって,
前記ステージ(1)の表面は,前記溶融金属を収容するための窪み部(3)を有し,
前記窪み部(3)は,
前記ステージ(1)の端部領域(5)における窪み部(3)の幅(WE)に比べて,前記ステージ(1)の中央部領域(7)における窪み部(3)の幅(WC)が大きいステージ(1)であって,
前記ステージの裏面のうち中央部領域(11)のみに,粗面化部(13)を有し,
前記粗面化部(13)は、前記ステージの裏面のうち前記粗面化部(13)の周囲の部分に比べて表面粗さが粗い部分である
ステージ(1)。 - 請求項1に記載のステージ(1)であって,
前記窪み部(3)は,樽型である,ステージ(1)。 - 請求項2に記載のステージ(1)であって,
WC/WEが1.1以上2.5以下である,ステージ(1)。 - 請求項1に記載のステージ(1)であって,
前記窪み部(3)は,楕円形状である,ステージ(1)。 - 請求項1に記載のステージ(1)であって,
前記ステージ(1)の両端に接続されるそれぞれの装置電極の幅をWELとしたときに,WCが,WEL≦WC≦2WEL
であるか,
WCが,40mm以上60mm以下である,ステージ(1)。 - 蒸着装置チャンバ内に設置され,対象物に金属を蒸着させるために溶融金属を蒸発させるためのステージ(1)であって,
前記ステージ(1)の表面は,前記溶融金属を収容するための窪み部(3)を有し,
前記窪み部(3)は,
前記ステージ(1)の端部領域(5)における窪み部(3)の幅(WE)に比べて,前記ステージ(1)の中央部領域(7)における窪み部(3)の幅(WC)が大きいステージ(1)であって,
前記ステージの裏面のうち中央部領域(11)のみに,前記ステージの裏面の上に,放熱体を含む放熱材層(15)を有し,
前記放熱材層(15)の輻射率は、前記ステージの裏面のうち前記放熱材層(15)を有さない部分の輻射率よりも高い,
ステージ(1)。 - 請求項6に記載のステージ(1)であって,前記放熱材層(15)は輻射率が0.01以上0.4以下である,ステージ。
- 請求項1~7のいずれかに記載のステージを複数有する溶融金属蒸発システムであって,
複数の前記ステージのそれぞれは,中央部領域(7)に短軸(21)を有する形状を有し,複数の前記ステージは,それぞれの長軸(23)が平行となるように隣接して設置され,
複数の前記ステージの間隔は,WC/10以上WC/4以下である,溶融金属蒸発システム。
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