JPS60117855U - 真空蒸着装置の加熱源 - Google Patents
真空蒸着装置の加熱源Info
- Publication number
- JPS60117855U JPS60117855U JP532384U JP532384U JPS60117855U JP S60117855 U JPS60117855 U JP S60117855U JP 532384 U JP532384 U JP 532384U JP 532384 U JP532384 U JP 532384U JP S60117855 U JPS60117855 U JP S60117855U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating source
- vacuum evaporation
- evaporation equipment
- heating
- equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の加熱源の一例の斜視図１、第２図は本考
案の第１実施例斜視部分図、第３図は第２図の讐甲の断
面拡矢部分図、第４図は本考案の第２実施例斜視図であ
る。 １０・・・円筒体、１１・・・仕切板、１２・・・粗面
、１３・・・黒色の酸化被膜、２０・・・板体、２１・
・・溝体。
案の第１実施例斜視部分図、第３図は第２図の讐甲の断
面拡矢部分図、第４図は本考案の第２実施例斜視図であ
る。 １０・・・円筒体、１１・・・仕切板、１２・・・粗面
、１３・・・黒色の酸化被膜、２０・・・板体、２１・
・・溝体。
Claims (1)
- 蒸着材料が溶融接触する内面以外の外表面を黒色の粗面
とし全体を加熱抵抗体で構成した真空蒸着装置の加熱源
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP532384U JPS60117855U (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 真空蒸着装置の加熱源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP532384U JPS60117855U (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 真空蒸着装置の加熱源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60117855U true JPS60117855U (ja) | 1985-08-09 |
Family
ID=30481720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP532384U Pending JPS60117855U (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 真空蒸着装置の加熱源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60117855U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107406974A (zh) * | 2015-01-19 | 2017-11-28 | 欧瑞康表面解决方案股份公司普费菲孔 | 用于执行真空辅助的涂层方法的涂层腔，隔热板以及涂层方法 |
| JP2021139018A (ja) * | 2020-03-06 | 2021-09-16 | 株式会社アドバンテック | ステージ |
-
1984
- 1984-01-20 JP JP532384U patent/JPS60117855U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107406974A (zh) * | 2015-01-19 | 2017-11-28 | 欧瑞康表面解决方案股份公司普费菲孔 | 用于执行真空辅助的涂层方法的涂层腔，隔热板以及涂层方法 |
| JP2018503749A (ja) * | 2015-01-19 | 2018-02-08 | エリコン サーフェス ソリューションズ エージー、プフェッフィコン | 真空アシストコーティングプロセスを行うためのコーティングチャンバ、熱シールド、およびコーティングプロセス |
| JP2021139018A (ja) * | 2020-03-06 | 2021-09-16 | 株式会社アドバンテック | ステージ |
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