KR970054088A - 반도체 소자의 전하저장전극 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 소자의 전하저장전극 형성방법에 관한 것으로, 스페이서 패턴이 될 다결정실리콘의 두께를 조절하여 원통간의 거리보다 원통내의 거리가 좁은 원통형의 스페이서 패턴을 형성하고, 이 스페이서 패턴을 식각장벽막으로 하여 다결정실리콘막과 산화막의 식각선택비와 다결정실리콘막과 스페이서 패턴의 높이 차이로 스페이서 패턴의 내부와 외부를 식각하여 다결정실리콘막과 산화막으로 이루어진 원통을 형성한 다음, 전하저장전극으로 사용되기 위하여 증착되는 다결정실리콘을 원통형전하저장전극 보다 주심의 옆면적만큼 더 넓은 전하저장전극을 확보할 수 있는 반도체 소자의 전하저장전극을 제조할 수 있어 반도체 소자의 고집적화를 가능하게 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1a도 내지 제6b도는 본 발명의 일실시예에 따른 전하저장전극 제조 공정 단면도.
Claims (3)
- 반도체 소자의 전하저장전극 제조방법에 있어서, 반도체 기판 상에 트랜지스터를 형성하고 전체구조 상부를 제1절연막으로 평탄화한 후 상기 트랜지스터의 동작영역과 접속되는 제1다결정실리콘막을 상기 제1절연막 상에 형성하는 단계; 상기 제1다결정실리콘막 상에 제2절연막, 제2다결정실리콘막 및 제3절연막을 차례로 형성하는 단계; 상기 제3절연막 및 제2다결정실리콘막을 소정의 크기로 패턴하여 제2절연막이 노출 되도록하는 단계; 상기 제3절연막 및 다결정실리콘막의 측벽에 전도막 스페이서를 형성하는 단계; 제1다결정실리콘막이 노출되도록 상기 전도막 스페이서에 의해 노출되어 있는 상기 제3절연막 및 제2절연막을 식각하는 단계; 상기 제3절연막 및 제2절연막의 식각으로 노출된 제1다결정실리콘막의 일부와 다결정실리콘막을 제2절연막 및 제1절연막이 노출될 때까지 제거하는 단계; 상기 전도막 스페이서를 식각장벽으로 노출된 제2절연막과 제1다결정실리콘막을 순차적으로 식각하는 단계; 전체구조 상부에 제4다결정실리콘막을 도포하여 전면식각하는 단계; 및 상기 전면식각으로 노출된 제2절연막을 제어하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 전하저장전극 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제 1 내지 제 4 전도막은 다결정실리콘막인 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 전하저장전극 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제 1 내지 제 3 절연막은 산화막인 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 전하저장전극 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950062135A KR100223743B1 (ko) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 반도체 소자의 전하저장전극 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1019950062135A KR100223743B1 (ko) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 반도체 소자의 전하저장전극 제조방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR970054088A true KR970054088A (ko) | 1997-07-31 |
| KR100223743B1 KR100223743B1 (ko) | 1999-10-15 |
Family
ID=19446126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950062135A KR100223743B1 (ko) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 반도체 소자의 전하저장전극 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100223743B1 (ko) |
-
1995
- 1995-12-28 KR KR1019950062135A patent/KR100223743B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100223743B1 (ko) | 1999-10-15 |
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