KR970048582A - 핸들러의 로터리 아암 및 디바이스척부의 구조 - Google Patents

핸들러의 로터리 아암 및 디바이스척부의 구조 Download PDF

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KR970048582A
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게이이치 후쿠모토
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오오우라 히로시
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Abstract

로터리 아암(3)에 부착된 디바이스척(21)이 코일스프링(22)의 절단 등에 의하여 낙하하거나, 리니어 가이드(21b)의 슬라이딩면의 안좋은 형편 등에 의하여 승강이동의 도중에 걸리지 않게 하고, 디바이스척에 에그지트 스테이지(6)의 파손을 방지한 IC 핸들러를 제공한다. 소크 스테이지(5)의 상부부근에서 측정부(4)의 상부부근에 걸치는 캠(24)의 하향으로 경사진 캠작용부분(24a)을 따라 제1가이드 레일(41)을 부착하고, 측정부(4)의 상부 부근에서 에그지트 스테이지(6)의 상부부근에 걸치는 캠(24)의 상향으로 경사진 캠작용부분(24b)을 따라서 제2가이드 레일(43)을 부착한다. 또 회전축(3a)에 관하여 캠홀더(25)와는 반대측으로, 원호형상의 낙하방지판(44)을 캠홀더(25)와 꼭같이 항온조(2)의 체임버 단열벽(28)으로부터 늘어뜨러진 지지기둥에 부착한다. 더욱더, 이상 발생시에는 제1, 제2가이드 레일(41,43) 또는 낙하방지판(44)에 걸린상태로 슬라이딩하는 훅(47)을 각 디바이스척(21)의 상부에 부착한다.

Description

핸들러의 로터리 아암 및 디바이스척부의 구조
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 의한 IC 핸들러의 1실시예의 주요부의 구조를 설명하기 위한 개략사시도.
제2도는 제1도의 IC 핸들러에 사용된 캠(24),제1가이드 레일(41), 제2가이드레일(43) 및 낙하 방지판(44)을 항온조(2)의 천정측에서 본 평면도.
제3도는 제1도의 IC 핸들러에 사용된 디바이스척(21)의 동작을 설명하기 위한 것으로, A는 디바이스척(21)이 캠(24)에 안내되어 승강하면서 회전하고 있을 때의 상태를 예시하는 단면도, B는 디바이스척(21)이 낙하방지판(44)의 아래쪽을 회전하고 있을 때의 상태를 예시하는 단면도.

Claims (1)

  1. 회전축을 갖고, 이 회전축으로부터 3개의 아암이 대략120°의 각도 간격으로 방사방향으로 돌출설치되어있는 로터리 아암과, 이 로터리 아암의 각 아암의 수직방향의 단면에 승강이 자유롭게 부착된 디바이스척과,둘레면이 대략 역삼각형상으로 이루어졌고, 동시에 이 역삼각형상의 꼭지점을 사이에 둔 2변이 캠작용부분으로 된 평면반링형상의 캠으로 구성되어 있고, 피시험 디바이스를 시험하기 위한 측정부가 피시험 디바이스를 상기디바이스척으로 주고받는 소크 스테이지 및 시험이 끝난 디바이스를 반출하는 에그지트 스테이지보다 낮은 위치에 배치되어 있고, 상기 캠의 역삼각형상의 꼭지점이 상기 측정부의 상부의 소정위치에 배치되도록, 상기캠을 상기 회전축과 동심으로 핸들러의 케이싱에 부착하고, 피시험 디바이스를 상기 소크 스테이지로부터 상기측정부로 반송할 때에는 상기 디바이스척을 서서히 강하시키고, 피시험 디바이스를 상기 측정부로부터 상기에그지트 스테이지로 반송할 때에는 상기 디바이스척을 서서히 상승시키도록 한 IC 핸들러에 있어서, 상기소크 스테이지의 피시험 디바이스 주고받음위치의 상부부근에서 상기 측정부의 상부부근에 걸치는 상기 캠의 캠작용부분을 따라, 상기 캠의 외주면에 부착된 제1가이드 레일과, 상기 측정부의 상부부근에서 상기 에그지트 스테이지의 피시험 디바이스 받음위치의 상부부근에 걸치는 상기 캠의 캠작용부분을 따라, 상기 캠의 외주면에 부착된 제2가이드 레일과, 상기 회전축에 관하여 상기 캠과는 반대측에 있어서, 상기 에그지트 스테이지의 피시험 디바이스 받음위치의 상부부근에서 상기 소크 스테이지의 피시험 디바이스 주고받음위치의 상부부근에 걸쳐서 상기 회전축과 동심으로 동시에 수평으로 상기 핸들러의 케이싱에 부착된 원호형상의 낙하방지판과, 상기 각 디바이스척에 부착되어 있고, 동시에 이상 발생시에 상기 제1 및 제2가이드 레일 및 상기 낙하방지판의 어느 것인가에 슬라이딩이 자유롭게 걸림가능한 훅을 구비한 것을 특징으로 하는 IC 핸들러.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960004571A 1995-12-27 1996-02-26 핸들러의 로터리 아암 및 디바이스척부의 구조 KR100206641B1 (ko)

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