KR970022531A - 더미 패턴을 가지는 마스크 - Google Patents
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Abstract
노광 시간을 증가시키지 않으면서 패턴의 해상도를 높일 수 있는 마스크에 관한 것으로 본 발명은 투명한 기판과, 상기 투명한 기판 위에 형성된 차광막 패턴에 의해서 한정되는 투명 패턴과, 상기 투명 패턴에 연결되어 사진 공정시 패턴되지 않는 더미 패턴과, 상기 투명 패턴 및 상기 더미 패턴에 연결되어 사진 공정시 패턴되지 않는 투과율 조절 패턴을 포함하는 마스크이다. 따라서, 본 발명에 의한 마스크는 사진 공정시 패턴이 형성되지 않는 상기 더미 패턴에 의해서 해상도를 향상시키면서, 특히 크게 형성된 상기 투과율 조절 패턴에 의해서 노광하는 빛의 세기를 증가시키는 효과를 가져와서 종래에 노광 시간이 길어지던 물체를 제거하였다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 작은 접촉창을 형성하기 위하여 더미 패턴 및 투과율 조절 패턴을 함께 가지는 본 발명의 마스크를 보여 주는 평면도이다.
Claims (1)
- 투명한 기판; 상기 투명한 기판 위에 형성된 차광막 패턴에 의해서 한정되는 투명 패턴; 상기 투명 패턴에 연결되어 사진 공정시 패턴되지 않는 더미 패턴; 및 상기 투명 패턴 및 상기 더미 패턴에 연결되어 사진 공정시 패턴되지 않는 투과율 조절 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950039021A KR970022531A (ko) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 더미 패턴을 가지는 마스크 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950039021A KR970022531A (ko) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 더미 패턴을 가지는 마스크 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970022531A true KR970022531A (ko) | 1997-05-30 |
Family
ID=66586793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950039021A KR970022531A (ko) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 더미 패턴을 가지는 마스크 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970022531A (ko) |
-
1995
- 1995-10-31 KR KR1019950039021A patent/KR970022531A/ko not_active Application Discontinuation
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