KR970028806A - 투과율 조절 패턴을 가지는 마스크 - Google Patents
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- KR970028806A KR970028806A KR1019950040718A KR19950040718A KR970028806A KR 970028806 A KR970028806 A KR 970028806A KR 1019950040718 A KR1019950040718 A KR 1019950040718A KR 19950040718 A KR19950040718 A KR 19950040718A KR 970028806 A KR970028806 A KR 970028806A
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Abstract
노광시 빛의 세기를 감소시키지 않고, 해상도를 증가시킬 수 있는 마스크에 관한 것으로, 본 발명은 투명한 기판과, 상기 투명한 기판 위에 형성된 차광막 패턴에 의해서 한정되는 투명 패턴과, 상기 투명 패턴의 모서리에 연결되어 사진 공정시 패턴되지 않는 투과율 조절 패턴을 포함하는 마스크이다. 따라서, 본 발명에 의하여 종래의 주변 효과 강조형 위상 반전 마스크에서 발생하던 문제를 제거하고, 투과율을 최적화할 수 있어 해상도를 높이면서 노광 시간이 감소되지 않도록 패턴을 형성할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따라 투과율 조절 패턴을 가지는 마스크를 보여주는 단면이다.
Claims (2)
- 투명한 기판; 상기 투명한 기판 위에 형성된 차광막 패턴에 의해서 한정되는 투명패턴; 및 상기 투명 패턴의 모서리에 연결되어 사진 공정시 패턴되지 않는 투과율 조절 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 투과율 조절 패턴은 크롬 또는 알루미늄으로 형성된 것을 특징으로 하는 마스크.※ 참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950040718A KR970028806A (ko) | 1995-11-10 | 1995-11-10 | 투과율 조절 패턴을 가지는 마스크 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950040718A KR970028806A (ko) | 1995-11-10 | 1995-11-10 | 투과율 조절 패턴을 가지는 마스크 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970028806A true KR970028806A (ko) | 1997-06-24 |
Family
ID=66587522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950040718A KR970028806A (ko) | 1995-11-10 | 1995-11-10 | 투과율 조절 패턴을 가지는 마스크 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970028806A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100712357B1 (ko) * | 2005-12-21 | 2007-05-02 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 마이크로 렌즈 제조방법 |
| US9632438B2 (en) | 2014-04-09 | 2017-04-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Phase shift mask and method of forming patterns using the same |
-
1995
- 1995-11-10 KR KR1019950040718A patent/KR970028806A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100712357B1 (ko) * | 2005-12-21 | 2007-05-02 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 마이크로 렌즈 제조방법 |
| US9632438B2 (en) | 2014-04-09 | 2017-04-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Phase shift mask and method of forming patterns using the same |
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