KR910006775A - 사진식각 공정방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 구성도.
Claims (1)
- 글래스 기판(1)위에 ITO(2)를 증착시키고 이 ITO(2)위에는 포지티브 포토 리지스트(3)를 5000rpm으로 회전시켜 투명전극위에 도포시킨후 소프트 베이킹으로 포지티브 포토 리지스트(3)에 있는 휘발성 용매를 제거하는 방법에 있어서, 상기 글래스기판(1) 밑면에 포토 마스크(4)를 장착하고 이 포토마스크(4) 밑으로부터 자외선을 조사하여 포지티브 포트 리지스트(3)를 크로스링킹 가능하도록 함을 특징으로 하는 사진식각 공정 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019890013191A KR910006775A (ko) | 1989-09-12 | 1989-09-12 | 사진식각 공정방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019890013191A KR910006775A (ko) | 1989-09-12 | 1989-09-12 | 사진식각 공정방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR910006775A true KR910006775A (ko) | 1991-04-30 |
Family
ID=67661630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019890013191A KR910006775A (ko) | 1989-09-12 | 1989-09-12 | 사진식각 공정방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR910006775A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100767050B1 (ko) * | 2004-12-30 | 2007-10-17 | 강원도 | 가시 없는 음나무의 세포배양에 의한 체세포배 형성과식물체 대량 생산방법 |
-
1989
- 1989-09-12 KR KR1019890013191A patent/KR910006775A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100767050B1 (ko) * | 2004-12-30 | 2007-10-17 | 강원도 | 가시 없는 음나무의 세포배양에 의한 체세포배 형성과식물체 대량 생산방법 |
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