KR970018697A - 트렌치형 트랜지스터의 제조방법 - Google Patents
트렌치형 트랜지스터의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
서브마이크론(sub-micron) 이하의 게이트 전극 길이를 가지며, 개선된 트랜지스터 특성을 지니는 트렌치형 게이트를 가지는 트랜지스터의 제조방법에 관해 개시한다. 본 발명은 트렌치형 트랜지스터의 제조방법에 있어서, 산화막이 형성된 반도체 기판위에 제1질화막을 형성하는 단계, 상기 제1질화막을 게이트 전극이 형성될 홈을 노출시키도록 패터닝하는 단계, 상기 제1질화막패턴위에 제2질화막을 형성한 후 이를 에치백하여 제1질화막패턴의 측면에 스페이서로 형성하는 단계, 상기 제1질화막패턴과 스페이서를 식각마스크로 하여 상기 산화막 및 반도체 기판을 식각하여 홈을 형성하는 단계, 상기 홈 내부 및 제1질화막 패턴과 스페이서위에 도전층을 형성하는 단계, 상기 도전층을 게이트 전극으로 패터닝하는 단계, 상기 제1질화막패턴과 스페이서를 제거하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 트렌치형 트랜지스터의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 의하여 제조된 트렌치형 트랜지스터는 패턴 형성 한계 값 이하의 게이트 전극 길이를 가지고, 트랜지스터의 특성이 종래에 비해 개선된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제13도는 본 발명에 의한 트렌치형 트랜지스터의 제조방법을 나타낸 단면도들이다.
Claims (3)
- 트렌치형 트랜지스터의 제조방법에 있어서, 산화막이 형성된 반도체 기판위에 제1질화막을 형성하는 단계; 상기 제1질화막을 게이트 전극이 형성될 홈을 노출시키도록 패터닝하는 단계; 상기 제1질화막패턴위에 제2질화막을 형성한 후 이를 이방성식각하여 제1질화막패턴의 측면에 스페이서로 형성하는 단계; 상기 제1질화막패턴과 스페이서를 식각마스크로 하여 상기 산화막 및 반도체 기판을 식각하여 홈을 형성하는 단계; 상기 홈 내부 및 제1질화막패턴과 스페이서위에 도전층을 형성하는 단계; 상기 도전층을 게이트 전극으로 패터닝하는 단계; 상기 제1질화막패턴과 스페이서를 제거하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 트렌치형 트랜지스터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1질화막패턴과 스페이서를 제거한 후 상기 도전층패턴을 이온주입마스크로 하여 이온주입을 하여 소오스/드레인을 형성하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 트렌치형 트랜지스터의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 소오스/드레인 영역이 채널영역보다 상부에 위치하도록 이온주입을 실시하는 것을 특징으로 하는 트렌치형 트랜지스터의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950031006A KR970018697A (ko) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 트렌치형 트랜지스터의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950031006A KR970018697A (ko) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 트렌치형 트랜지스터의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970018697A true KR970018697A (ko) | 1997-04-30 |
Family
ID=66615859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950031006A KR970018697A (ko) | 1995-09-21 | 1995-09-21 | 트렌치형 트랜지스터의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970018697A (ko) |
-
1995
- 1995-09-21 KR KR1019950031006A patent/KR970018697A/ko not_active Application Discontinuation
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