KR970016752A - 마스크 제조방법 - Google Patents
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Abstract
마스크 제조 방법에 대해 기재되어 있다. 이는, 석영기판 상에 레지스트를 코팅하는 제 1단계, 레지스트를 노광하는 제 2단계, 상·하 이동이 가능한 가드(guard)를 석영기판의 표면에 접촉시키는 제 3단계, 화학 용액을 분사하는 제 4단계 및 가드를 들어올린 후, 화학 용액이 분사된 결과물을 세정하는 제 5단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서 현상 및 식각공정을 신뢰도 높게 진행할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 2b도 내지 제 2d도는 본 발명에 의한 마스크 제조 방법을 설명하기 위해 도시한 단면도들이다.
Claims (2)
- 석영기판 상에 레지스트를 코팅하는 제 1단계 ; 상기 레지시트를 노광하는 제 2단계 ; 상·하 이동이 가능한 가드(guard)를 상기 석영기판의 표면에 접촉시키는 제 3단계 ; 화학용액을 분사하는 제 4단계 ; 및 상기 가드를 들어올린 후 화학용액이 분사된 결과물을 세정하는 제 5단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 제조 방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 제 4단계는 석영기판을 회전시키지 않은 상태에서 진행되는 것을 특징으로 하는 마스크 제조 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950029291A KR970016752A (ko) | 1995-09-07 | 1995-09-07 | 마스크 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950029291A KR970016752A (ko) | 1995-09-07 | 1995-09-07 | 마스크 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970016752A true KR970016752A (ko) | 1997-04-28 |
Family
ID=66596757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950029291A KR970016752A (ko) | 1995-09-07 | 1995-09-07 | 마스크 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970016752A (ko) |
-
1995
- 1995-09-07 KR KR1019950029291A patent/KR970016752A/ko not_active Application Discontinuation
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