KR970008389A - 기판의 액제거장치 - Google Patents

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Abstract

습식표면처리가 행해진 기판의 주면에 부착한 소정의 처리액을 기판의 주면에서 제거하는 기판의 액제거장치로서, 상기 장치는 이하의 요소를 포함한다. 기판을 반송하는 반송부, 반송되는 기판의 상측 주면인 제1주면을 향해 기체를 분사하는 제1분사구를 구비한 제1기체 분사부, 상기 기판이 반입되는 반입구 및 기판이 반출되는 반출구를 구비함과 동시에, 처리액이 주위로 비산하는 것을 방지하는 액제거챔버, 상기 기판의 제1주면에 있어서, 상기 제1분사구에서 보아 기판의 반송방향의 상측인 제1공간과 상기 제1분사구에서 보아 상기 반송방향의 하측인 제2공간을 분리하도록, 그 상단부가 상기 액제거챔버의 상벽 또는 후방벽 혹은 전방벽의 어느한 곳에 맞닿음과 동시에, 상기 반송방향과 평행한 액제거챔버의 양측벽간에 걸쳐 설치된 제1칸막이부재.

Description

기판의 액제거장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 제1실시예에 변형예를 나타내는 측면도.

Claims (20)

  1. 습식표면처리가 행해진 기판의 주면에 부착한 소정의 처리액을 기판의 주면에서 제거하는 기판의 액제거장치에 있어서, 기판을 거의 수평으로 유지하면서 그 표면을 다른 방향으로 반송하는 반송수단과, 상기 반송수단에 의해 반송되는 기판의 상측 주면인 제1주면을 향해 기체를 분사하는 제1분사구를 구비한 제1기체분사수단과, 상기 기판이 반입되는 반입구 및 기판이 반출되는 반출구를 가짐과 동시에, 기판의 주면에서 제거된 상기 처리액이 주위로 비산하는 것을 방지하는 거의 상자모양의 액제거챔버와, 상기 기판의 제1주면측에 있어서, 상기 제1분사구에서 보아 기판의 반송방향의 상측인 제1공간과 상기 제1분사구에서 보아 상기 반송방향의 하측인 제2공간을 분리하도록, 그 상단부가 상기 액제거챔버의 상벽 또는 후방벽 혹은 전방벽의 어느 한곳에 맞닿음과 동시에, 상기 반송방향과 평행한 액제거챔버의 양측벽간에 걸쳐 설치된 제1칸막이 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 반송수단에 의해 반송되는 기판의 하측 주면인 제2주면을 향해 기체를 분사하는 제2분사구를 구비한 제2기체분사수단과, 상기 기판의 제2주면측에 있어서, 상기 제2분사구에서 보아 기판의 반송방향의 상측의 제3공간과 제2분사구에서 보아 상기 반송방향의 하측인 제4공간을 분리하도록, 그 하단부가 상기 액제거챔버의 하벽 또는 후방벽 혹는 전방벽의 어느 한곳에 맞닿음과 동시에 상기 반송방향과 평행한 액제거 챔버의 양측벽간에 걸쳐 설치된 제2칸막이 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1기체분사수단의 제1분사구 및 상기 제2기체분사수단의 제2분사구는, 상기 반송방향에 직교하는 방향의 폭이 기판의 폭보다 크게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 제2공간의 상방에서 제2공간을 향해 기체를 불어 넣는 송풍수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 송풍수단은, 상기 제2공간의 상방에 형성된 송풍구와 상기 송풍구에 설치된 필터로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 송풍수단은, 공기를 상기 필터로 불어 넣는 팬을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  7. 제2항에 있어서, 상기 액제거챔버는 그 내부의 공기를 배기하는 배기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  8. 제2항에 있어서, 상기 제1칸막이 부재가 기판의 반송면 보다 상방의 상기 처리액 챔버의 후방벽을 형성하고, 상기 제2칸막이 부재가 기판의 반송면보다 하방의 후방벽을 형성함과 동시에, 상기 반출구가 상기 제1기체분사수단과 상기 제2기체분사수단 사이의 공간에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  9. 제2항에 있어서, 상기 제1기체분사수단 및 제2기체분사수단은, 각각의 제1분사구 및 제2분사구가 상기 반송방향의 상측으로 향하도록 경사지게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  10. 제2항에 있어서, 상기 제1기체분사수단 및 상기 제2기체분사수단은, 상기 반송방향에 직교하는 라인을 기준으로 하여 평면에서 볼때 소정의 각도를 이루어 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  11. 제2항에 있어서, 상기 액제거챔버와, 상기 제1칸막이 부재 및 상기 제2칸막이 부재는 대전방지 처리가 행해져 있는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 제1기체분사수단의 제1분사구는, 상기 반송방향에 직교하는 방향의 폭이 기판의 폭보다 크게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  13. 제1항에 있어서, 상기 제2공간의 상방에서 제2공간을 향해 기체를 불어 넣는 송풍수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 송풍수단은, 상기 제2공간의 상방에 형성된 송풍구와, 상기 송풍구에 설치된 필터로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 송풍수단은, 공기를 상기 필터로 불어넣는 팬을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  16. 제13항에 있어서, 상기 액제거 챔버는, 그 내부의 공기를 배기하는 배기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  17. 제1항에 있어서, 상기 액제거 챔버는, 그 내부의 공기를 배기하는 배기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  18. 제1항에 있어서, 상기 제1기체분사수단은, 그 제1분사구가 상기 반송수단의 상측을 향하도록 경사지게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  19. 제1항에 있어서, 상기 제1기체분사수단은, 상기 반송방향에 직교하는 라인을 기준으로 하여 평면에서 볼때 소정의 각도를 이루어 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
  20. 제1항에 있어서, 상기 액제거챔버 및 상기 제1칸막이 부재는, 대전방지 처리가 행해져 있는 것을 특징으로 하는 기판의 액제거장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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