KR960039324A - 알파입자에 의한 소프트에러율을 감소시키기 위한 반도체 메모리장치 및 이의 제조방법 - Google Patents
알파입자에 의한 소프트에러율을 감소시키기 위한 반도체 메모리장치 및 이의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체 메모리장치에 있어서 α입자에 의한 소프트에러율을 감소시키는 방법에 관한 것이다.
본 발명은 메모리셀어레이가 형성된 기판 전면에 산화막을 형성하는 단계와, 상기 산화막상에 리프렉토리 금속을 증착하는 단계, 상기 리프렉토리 금속층을 선택적으로 식각하여 메모리셀어레이 상부에만 남기는 단계, 및 기판 전면에 패시베이션막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진 반도체 메모리장치의 제조방법을 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 반도체 메모리장치의 개략적인 단면구조도.
제3도는 본 발명에 의한 반도체 메모리장치의 제조방법을 도시한 공정순서도.
Claims (2)
- 메모리셀 영역 상부에 리프렉토리 금속층이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 메모리장치.
- 메모리셀어레이가 형성된 기판 전면에 산화막을 형성하는 단계와, 상기 산화막상에 리프렉토리 금속을 증착하는 단계, 상기 리프렉토리 금속층을 선택적으로 식각하여 메모리셀어레이 상부에만 남기는 단계, 및 기판 전면에 패시베이션막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 알파입자에 의한 소프트에러율을 감소시키기 위한 반도체 메모리장치의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950009122A KR960039324A (ko) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 알파입자에 의한 소프트에러율을 감소시키기 위한 반도체 메모리장치 및 이의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950009122A KR960039324A (ko) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 알파입자에 의한 소프트에러율을 감소시키기 위한 반도체 메모리장치 및 이의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960039324A true KR960039324A (ko) | 1996-11-25 |
Family
ID=66523393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950009122A KR960039324A (ko) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 알파입자에 의한 소프트에러율을 감소시키기 위한 반도체 메모리장치 및 이의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960039324A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100260551B1 (ko) * | 1997-05-10 | 2000-07-01 | 윤종용 | 소프트 에러율을 감소시킨 반도체 장치 및 그 제조방법 |
| KR100439831B1 (ko) * | 1997-06-05 | 2004-10-26 | 삼성전자주식회사 | 반도체소자 |
-
1995
- 1995-04-18 KR KR1019950009122A patent/KR960039324A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100260551B1 (ko) * | 1997-05-10 | 2000-07-01 | 윤종용 | 소프트 에러율을 감소시킨 반도체 장치 및 그 제조방법 |
| KR100439831B1 (ko) * | 1997-06-05 | 2004-10-26 | 삼성전자주식회사 | 반도체소자 |
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