KR960039412A - 전하전송소자 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 전하전송소자 제조방법에 관한 것으로, 감도를 향상시키고 스미어 현상 및 결함 발생가능성을 낮출 수 있도록 한 것이다.
본 발명은 반도체기판 소정영역에 전송게이트를 형성하는 공정과, 상기 전송게이트상에 전송게이트 전표면을 덮도록 제1절연막을 형성하는 공정, 상기 제1절연막상에 제1절연막의 전표면을 덮도록 제2절연막을 형성하는 공정, 및 상기 제2절연막상에 제2절연막의 전표면을 덮도록 차광막을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지는 전하전송소자 제조방법을 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 CCD 제조방법을 도시한 공정순서도.
Claims (1)
- 반도체기판 소정영역에 전송게이트를 형성하는 공정과, 상기 전송게이트상에 전송게이트 전표면을 덮도록 제1절연막을 형성하는 공정, 상기 제1절연막상에 제1절연막의 전표면을 덮도록 제2절연막을 형성하는 공정, 및 상기 제2절연막상에 제2절연막의 전표면을 덮는 차광막을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지는 전하전송소자 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950009123A KR960039412A (ko) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 전하전송소자 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950009123A KR960039412A (ko) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 전하전송소자 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960039412A true KR960039412A (ko) | 1996-11-25 |
Family
ID=66523395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950009123A KR960039412A (ko) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 전하전송소자 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960039412A (ko) |
-
1995
- 1995-04-18 KR KR1019950009123A patent/KR960039412A/ko not_active Application Discontinuation
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