KR970052374A - 반도체 소자의 레이아웃 - Google Patents
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Abstract
반도체 소자의 레이아웃에 관하여 기재하고 있다. 이는 도전층 및 상기 도전층을 반도체 기판과 직접적으로 연결하는 콘택을 포함하는 반도체 소자의 레이아웃에 있어서, 콘택 상부에 형성되는 상기 도전층이 콘택 크기보다 더 크게 형성된 것을 특징으로 한다. 콘택 상부에 형성된 도전층이 콘택 크기보다 더 크게 형성되기 때문에, 도전층 패터닝시 실리콘 기판이 노출되지 않는다. 따라서, 종래 비정상적인 단차도포성에 기인한 문제점을 방지할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 일실시예에 따른 콘택 및 도전층을 포함하는 반도체 소자의 레이아웃도.
Claims (2)
- 도전층 및 상기 도전층을 반도체 기판과 직접적으로 연결하는 콘택을 포함하는 반도체 소자의 레이아웃에 있어서, 콘택 상부에 형성되는 상기 도전층이 콘택 크기보다 더 크게 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 레이아웃.
- 제1항에 있어서, 상기 도전층이 게이트 도전층인 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 레이아웃.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950057178A KR970052374A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 반도체 소자의 레이아웃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950057178A KR970052374A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 반도체 소자의 레이아웃 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970052374A true KR970052374A (ko) | 1997-07-29 |
Family
ID=66619058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950057178A KR970052374A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 반도체 소자의 레이아웃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970052374A (ko) |
-
1995
- 1995-12-26 KR KR1019950057178A patent/KR970052374A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
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| WITN | Withdrawal due to no request for examination |