KR960039253A - 반도체 시험 장치 - Google Patents

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KR960039253A
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가즈나리 스가
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오우라 히로시
가부시키가이샤 아드반테스트
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Abstract

프로브 카드 교환 기구로 자지 진단용 보드를 교환하여 자기 진단을 할 수 있는 웨이퍼 프로버 장치를 가진 반도체 시험 장치를 제공한다. 따라서 프로브카드 교환 기구를 갖춘 웨이퍼 프로버 장치를 가진 반도체 시험 장치에서 프로브 카드 교환 기구는 수동과 자동이 있지만 어느것에도 대응할 수 있도록 자기 진단용 보드(210)는 프로브 카드(170)의 형상과 동일하게 설치하였다. 프로그 링 접촉자(141)와 접촉하는 구성의 자기 진단용 보드(210)와 프로그링(130)내의 빈 면적보다 작은 자기 진단회로(230)를 설치하였다.

Description

반도체 시험 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 자기 진단용의 일실시예로서 프로브 카드 교환 기구로 자기 진단용 보드를 교환하고 자기 진단을 행하는 웨이퍼 프로버장치와 테스트 헤드 장치와 반도체 시험 장치에서 일부가 절단된 정면도, 제2도는 본 발명의 자기 진단용 회로를 장착한 자기 진단용 보드의 일실시예의 평면도.

Claims (1)

  1. 프로브 카드 교환 기구를 갖는 웨이퍼 프로버 장치를 포함하는 반도체 시험장치에 있어서, 프로브 카드 교환 기구의 수동과 자동의 어느것에도 대응할 수 있도록 프로브카드(170)의 형상과 동일한 자기 진단용 보드(210)와; 상기 자기 진단용 보드(210)가 프로그 링 접촉자(141)와 접촉하도록 설치한 자기 진단용 보드 접촉자(235)와; 상기 자기 진단용 보드 접촉자(235)와 전기적으로 접속된 자기 진단회로(230)와; 상기 프로그 링(130)내의 빈 면적보다 작게 만든 자기 진단회로(230)를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960012161A 1995-04-28 1996-04-22 반도체 시험 장치 KR100208551B1 (ko)

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