KR960035949A - 조명 장치 - Google Patents
조명 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR960035949A KR960035949A KR1019960009609A KR19960009609A KR960035949A KR 960035949 A KR960035949 A KR 960035949A KR 1019960009609 A KR1019960009609 A KR 1019960009609A KR 19960009609 A KR19960009609 A KR 19960009609A KR 960035949 A KR960035949 A KR 960035949A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- light emitting
- optical element
- emitting means
- light
- emitting portion
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/544—Marks applied to semiconductor devices or parts, e.g. registration marks, alignment structures, wafer maps
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Input (AREA)
- Fastening Of Light Sources Or Lamp Holders (AREA)
- Stroboscope Apparatuses (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
조명 장치(1)은 그 광학적 축이 관찰부(3a)의 법선에 따른 각(θ)에 위치하도록 정렬된 볼록 렌즈(11)을 가지며, 카메라(5)는 반사된 광선의 경로내에 정렬된다. 광 방출부(13)이 렌즈(11)의 광학적 축을 따라 정렬되는 경우, 명 필드 조사가 발생한다. 놉(29)이 회전하며, 광 방출부(13)은 볼 스크루(25)을 따라 움직여서, 명 필드 조사에서 암 필드 조사로 변한다. 놉(37)이 회전하면, 렌즈(11)를 빠져나가는 빛은 광 방출부(13)가 렌즈(11)에 가깝게 이동한다면 수렴하고, 광 방출부(13)이 렌즈로부터 멀리 움직인다면 발산하며, 광 방출부(13)가 렌즈(11)의 초점에 위치한다면 평행이 된다. 이러한 방식으로 광 방출부(13)의 위치를 변화시킴에 의해, 조사각 및 조사각 분포를 변화시키는 것이 가능하며, 목적물(3)의 광학적 특성에 따라 광 방출부(13)의 위치를 조절함에 의해, 높은 대조 화상을 얻는 것이 가능하다. 액츄에이터, 마이크로컴퓨터 등을 이용함에 의해 이러한 조절을 자동적으로 수행하는 것이 또한 가능하다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1도는 본 발명의 원리를 도시하는 도면.
Claims (13)
- 광 방출 수단: 광학적 소자; 및 조사각을 변화시키기 위해 상기 광학적 소자에 대해서 상기 광 방출 수단을 이동시키기 위한 이동 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 목적물을 조사하기 위한 조명 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 이동 수단은 상기 광학적 소자의 초점 평면에 평행 방향으로 움직일 수 있는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
- 광학적 소자; 및 상기 광학적 소자에 대해서 상이한 위치들에 배치되어 빛을 방출하도록 선택적으로 활성화되는 복수의 광 방출 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 목적물을 조사하기 위한 조명 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 이동 수단이 적어도 하나의 축을 따라 움직일 수 있는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 광 방출 수단은 복수의 광 방출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
- 제5항에 있어서, 빛을 방출하도록 활성화되는 하나 또는 그 이상의 상기 광 방출부를 선택하기 위한 선택 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 광 방출 수단은 광 안내 소자(light guiding element)의 광 방출 종단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
- 제3항에 있어서, 복수의 상기 광 방출 수단은 광 안내 소자의 광 방출 종단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 광 방출 수단은 상기 광학적 소자의 전면 초점 평면 부근에 정렬되는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
- 제3항에 있어서, 상기 복수의 광 방출 수단은 상기 광학적 소자의 전면 초점평면의 부근에 정렬되는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
- 광 방출 수단; 광학적 소자; 상기 광 방출 수단과 상기 광학적 소자 사이에 정렬되며, 적어도 하나의 어퍼츄어부(aperture portion)를 포함하는 마스크 플레이트(mask plste): 및 조사각을 변화시키기 위해서 상기 광학적 소자에 대해서 상기 마스크 플레이트를 이동 시키기 위한 이동 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 목적물을 조사하기 위한 조명 장치.
- 광 방출 수단; 광학적 소자; 상기 광 방출 수단과 상기 광학적 소자 사이에 정렬된 광학적 셔터(shutter); 및 상기 광학적 셔터를 구동하기 위한 구동 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 목적물을 조사하기 위한 조명 장치.
- 광 방출 수단, 광학적 소자 및 조사각 또는 조사각 분포를 변화하기 위한 수단을 가지는 조명 장치로 목적물을 조사함에 의해 목적물로부터 정보를 판독하는 방법에 있어서, 상기 광 방출 수단으로부터의 조사 광으로 목적물을 조사하는 단계; 및 상기 목적물을 통과하거나 반사된 빛을 기초로 상기 목적물상의 정보를 판독하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 판독 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10040095 | 1995-03-31 | ||
JP95-100400 | 1995-03-31 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR960035949A true KR960035949A (ko) | 1996-10-28 |
KR100388186B1 KR100388186B1 (ko) | 2003-09-19 |
Family
ID=14272941
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019960009609A KR100388186B1 (ko) | 1995-03-31 | 1996-03-30 | 조명장치 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5923020A (ko) |
EP (1) | EP0735361B1 (ko) |
KR (1) | KR100388186B1 (ko) |
DE (1) | DE69636183T2 (ko) |
MY (1) | MY116648A (ko) |
SG (1) | SG55109A1 (ko) |
TW (1) | TW313626B (ko) |
Families Citing this family (53)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0735361B1 (en) * | 1995-03-31 | 2006-05-31 | LINTEC Corporation | Apparatus for inspecting semiconductor substrates |
US6166375A (en) * | 1996-10-08 | 2000-12-26 | Psc Scanning, Inc. | Offset optical axes for bar code scanner |
DE19739328C2 (de) | 1997-09-09 | 1999-07-01 | Melzer Maschinenbau Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen von Kunststoffkartenoberflächen |
JPH11183389A (ja) * | 1997-12-18 | 1999-07-09 | Lintec Corp | 観測装置 |
DE19917082C2 (de) * | 1999-04-15 | 2003-07-03 | Siemens Ag | System zur Erkennung von Markierungen auf spiegelnden Objektoberflächen |
US6557764B1 (en) * | 1999-08-12 | 2003-05-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method and apparatus for illumination control to increase the manufacturing yield for a bar code and position reference reader in a mass storage auto-changer |
US7107712B2 (en) | 2000-06-06 | 2006-09-19 | Christine Ann Mueller | Lighting system |
JP2002014057A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Nidek Co Ltd | 欠陥検査装置 |
DE10133993A1 (de) * | 2001-07-12 | 2003-01-23 | Leica Microsystems | Einstellmodul für die Beleuchtungsvorrichtung eines optischen Gerätes |
DE10155142C2 (de) * | 2001-11-12 | 2003-09-04 | Friz Biochem Gmbh | Dunkelfeld-Abbildungsvorrichtung zur ortsaufgelösten Dunkelfeldabbildung einer flächigen Probe |
TWI274183B (en) * | 2002-05-31 | 2007-02-21 | Olympus Corp | Macro illumination apparatus |
US20050122509A1 (en) * | 2002-07-18 | 2005-06-09 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Apparatus for wafer inspection |
US9070031B2 (en) | 2003-10-24 | 2015-06-30 | Cognex Technology And Investment Llc | Integrated illumination assembly for symbology reader |
US9536124B1 (en) | 2003-10-24 | 2017-01-03 | Cognex Corporation | Integrated illumination assembly for symbology reader |
US7604174B2 (en) | 2003-10-24 | 2009-10-20 | Cognex Technology And Investment Corporation | Method and apparatus for providing omnidirectional lighting in a scanning device |
US7823789B2 (en) | 2004-12-21 | 2010-11-02 | Cognex Technology And Investment Corporation | Low profile illumination for direct part mark readers |
US7823783B2 (en) | 2003-10-24 | 2010-11-02 | Cognex Technology And Investment Corporation | Light pipe illumination system and method |
US7874487B2 (en) | 2005-10-24 | 2011-01-25 | Cognex Technology And Investment Corporation | Integrated illumination assembly for symbology reader |
US20070103581A1 (en) * | 2003-11-14 | 2007-05-10 | Sick, Inc. | Scanning imaging system and method for imaging articles using same |
US7086756B2 (en) * | 2004-03-18 | 2006-08-08 | Lighting Science Group Corporation | Lighting element using electronically activated light emitting elements and method of making same |
US7824065B2 (en) * | 2004-03-18 | 2010-11-02 | Lighting Science Group Corporation | System and method for providing multi-functional lighting using high-efficiency lighting elements in an environment |
US7215086B2 (en) * | 2004-04-23 | 2007-05-08 | Lighting Science Group Corporation | Electronic light generating element light bulb |
US7319293B2 (en) * | 2004-04-30 | 2008-01-15 | Lighting Science Group Corporation | Light bulb having wide angle light dispersion using crystalline material |
US7367692B2 (en) * | 2004-04-30 | 2008-05-06 | Lighting Science Group Corporation | Light bulb having surfaces for reflecting light produced by electronic light generating sources |
US7617984B2 (en) | 2004-12-16 | 2009-11-17 | Cognex Technology And Investment Corporation | Hand held symbology reader illumination diffuser |
US9292724B1 (en) | 2004-12-16 | 2016-03-22 | Cognex Corporation | Hand held symbology reader illumination diffuser with aimer optics |
US20070125863A1 (en) * | 2005-12-05 | 2007-06-07 | Jakoboski Timothy A | System and method for employing infrared illumination for machine vision |
DE102005061834B4 (de) * | 2005-12-23 | 2007-11-08 | Ioss Intelligente Optische Sensoren & Systeme Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum optischen Prüfen einer Oberfläche |
JP2008014697A (ja) * | 2006-07-04 | 2008-01-24 | Nikon Corp | 表面検査装置 |
JP4306741B2 (ja) * | 2006-07-20 | 2009-08-05 | 株式会社デンソーウェーブ | 光学情報読取装置 |
JP4307470B2 (ja) * | 2006-08-08 | 2009-08-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、試料加工方法及び半導体検査装置 |
US7766526B2 (en) * | 2006-09-13 | 2010-08-03 | Isky Panel Systems, Inc. | Illumination system |
US8357913B2 (en) * | 2006-10-20 | 2013-01-22 | Fei Company | Method and apparatus for sample extraction and handling |
EP2104864B1 (en) | 2006-10-20 | 2015-03-04 | FEI Company | Method for creating s/tem sample and sample structure |
KR100867520B1 (ko) * | 2007-04-23 | 2008-11-07 | 삼성전기주식회사 | 결상 렌즈 및 그 제조 방법 |
FR2931295B1 (fr) * | 2008-05-13 | 2010-08-20 | Altatech Semiconductor | Dispositif et procede d'inspection de plaquettes semi-conductrices |
KR20100002829A (ko) * | 2008-06-30 | 2010-01-07 | 삼성테크윈 주식회사 | 실물 화상기용 조명 장치 및 이를 구비하는 실물 화상기 |
HUP0900142A2 (en) * | 2009-03-06 | 2010-10-28 | 3Dhistech Kft | Method and arrangement for dark-field and bright-field digitalization of sample with or without visible dyestuft in transmitted light |
JP2011095070A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-05-12 | Hst Vision Corp | 照明装置および照明システム |
BR112012017100A8 (pt) * | 2010-01-15 | 2017-09-19 | Koninklijke Philips Electronics Nv | Sistema de detecção para determinar se uma contribuição de luz de uma primeira fonte de luz de um sistema de iluminação esta presente em uma posição selecionada dentro de uma cena, método para determinar se uma contribuição de luz de uma primeira fonte de luz de um sistema de iluminação esta presente em uma posição selecionada dentro de uma cena e programa de computador |
US9146156B2 (en) * | 2011-06-29 | 2015-09-29 | Kla-Tencor Corporation | Light source tracking in optical metrology system |
DE102011052802B4 (de) * | 2011-08-18 | 2014-03-13 | Sick Ag | 3D-Kamera und Verfahren zur Überwachung eines Raumbereichs |
US8901831B2 (en) | 2012-05-07 | 2014-12-02 | Lighting Science Group Corporation | Constant current pulse-width modulation lighting system and associated methods |
JP6205780B2 (ja) * | 2013-03-27 | 2017-10-04 | 凸版印刷株式会社 | 照明装置及び検査装置 |
KR101405227B1 (ko) * | 2013-04-02 | 2014-06-10 | 현대자동차 주식회사 | 컨베이어 라인의 속도측정장치 |
US9464788B2 (en) * | 2013-08-16 | 2016-10-11 | Lighting Science Group Corporation | Method of assembling a lighting device with flexible circuits having light-emitting diodes positioned thereon |
US9557015B2 (en) | 2013-08-16 | 2017-01-31 | Lighting Science Group Corporation | Lighting device with flexible circuits having light-emitting diodes positioned thereupon and associated methods |
DE102013216774A1 (de) * | 2013-08-23 | 2015-02-26 | Robert Bosch Gmbh | Projektorvorrichtung, Überwachungsvorrichtung, Verfahren mit der Überwachungsvorrichtung sowie Computerprogramm |
DE202013104836U1 (de) | 2013-10-29 | 2014-01-30 | Foseco International Limited | Speiseraufbau |
JP6701177B2 (ja) * | 2014-05-15 | 2020-05-27 | イーメージ ヴィジョン ピーティーイー. エルティーディー.Emage Vision Pte. Ltd. | 眼内レンズを検査するためのシステムおよび方法 |
JP5866586B1 (ja) * | 2015-09-22 | 2016-02-17 | マシンビジョンライティング株式会社 | 検査用照明装置及び検査システム |
US10210625B2 (en) * | 2015-10-30 | 2019-02-19 | Industrial Technology Research Institute | Measurement system comprising angle adjustment module |
US10509931B1 (en) | 2018-07-03 | 2019-12-17 | Hand Held Products, Inc. | Methods, systems, and apparatuses for scanning and decoding direct part marking indicia |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3617759A (en) * | 1968-04-03 | 1971-11-02 | Martin Tracker Corp | Electrooptical measuring system |
US3757125A (en) * | 1970-12-26 | 1973-09-04 | Mitsubishi Electric Corp | Optical tracking apparatus |
US3860935A (en) * | 1973-12-19 | 1975-01-14 | Honeywell Inc | Auto focus camera |
US3970841A (en) * | 1974-11-25 | 1976-07-20 | Green James E | Method and apparatus for dual resolution analysis of a scene |
DE3242219C1 (de) * | 1982-11-15 | 1984-02-16 | Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch | Optisches Markenerkennungsgeraet |
JPS59119246A (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 被検査物照明装置 |
US4585315A (en) * | 1984-11-13 | 1986-04-29 | International Business Machines Corporation | Brightfield/darkfield microscope illuminator |
JPS6211133A (ja) * | 1985-06-24 | 1987-01-20 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 表面検査装置 |
JPS63256841A (ja) * | 1987-04-14 | 1988-10-24 | Hitachi Ltd | 透過照明方法 |
US4805175A (en) * | 1987-12-03 | 1989-02-14 | Metrologic Instrumetns, Inc. | Ultra-compact, hand-held laser scanner |
DE3905481C2 (de) * | 1988-02-23 | 2003-01-09 | Sony Corp | Verfahren und Vorrichtung für optischen Datenverkehr |
US5374817A (en) * | 1988-05-11 | 1994-12-20 | Symbol Technologies, Inc. | Pre-objective scanner with flexible optical support |
US5280161A (en) * | 1988-11-18 | 1994-01-18 | West Electric Company, Ltd. | Apparatus for optically reading a bar code |
US4893223A (en) * | 1989-01-10 | 1990-01-09 | Northern Telecom Limited | Illumination devices for inspection systems |
US5077640A (en) * | 1990-08-13 | 1991-12-31 | Butler Jr C Tyler | Photographic lighting apparatus |
US5185638A (en) * | 1991-04-26 | 1993-02-09 | International Business Machines Corporation | Computer controlled, multiple angle illumination system |
US5350909A (en) * | 1992-10-14 | 1994-09-27 | International Business Machines Corp. | Optical scanner for bar code scanning |
US5479011A (en) * | 1992-12-18 | 1995-12-26 | Spectra-Physics Scanning Systems, Inc. | Variable focus optical system for data reading |
JPH06317532A (ja) * | 1993-04-30 | 1994-11-15 | Kazumi Haga | 検査装置 |
US5463213A (en) * | 1994-05-03 | 1995-10-31 | Honda; Takafaru | Code mark reader |
EP0735361B1 (en) * | 1995-03-31 | 2006-05-31 | LINTEC Corporation | Apparatus for inspecting semiconductor substrates |
-
1996
- 1996-03-22 EP EP96104612A patent/EP0735361B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-03-22 DE DE69636183T patent/DE69636183T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-03-22 TW TW085103444A patent/TW313626B/zh not_active IP Right Cessation
- 1996-03-23 MY MYPI96001102A patent/MY116648A/en unknown
- 1996-03-26 US US08/621,694 patent/US5923020A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-03-27 SG SG1996006435A patent/SG55109A1/en unknown
- 1996-03-30 KR KR1019960009609A patent/KR100388186B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1999
- 1999-07-12 US US09/352,324 patent/US6286969B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW313626B (ko) | 1997-08-21 |
DE69636183T2 (de) | 2007-03-29 |
EP0735361A3 (en) | 1998-06-10 |
DE69636183D1 (de) | 2006-07-06 |
US6286969B1 (en) | 2001-09-11 |
EP0735361A2 (en) | 1996-10-02 |
MY116648A (en) | 2004-03-31 |
SG55109A1 (en) | 1998-12-21 |
US5923020A (en) | 1999-07-13 |
EP0735361B1 (en) | 2006-05-31 |
KR100388186B1 (ko) | 2003-09-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR960035949A (ko) | 조명 장치 | |
US10107469B2 (en) | Vehicular lamp, vehicular lamp control system, and vehicle including the same | |
DE69834304D1 (de) | Optische Visiereinrichtung | |
DE69531805D1 (de) | Inspektion einer Kontaktlinse mit einer Beleuchtung mit Doppelfokus | |
KR950034479A (ko) | 조명광학계 | |
JPH0757226B2 (ja) | 手術用顕微鏡 | |
JPH08327554A (ja) | 照明装置 | |
DE59608551D1 (de) | Vorrichtung zur linienförmigen Beleuchtung von Blattgut, wie z.B. Banknoten oder Wertpapiere | |
KR950024024A (ko) | 투영노광장치 및 이를 이용한 디바이스 제조방법 | |
CA2487035A1 (en) | A safety system for use with a tool machine | |
CN1008948B (zh) | 有可伸出闪光灯的带远距离镜头及普通镜头的低值照像机 | |
ATE200146T1 (de) | Strahler mit langgestrecktem reflektor | |
KR930023760A (ko) | 데이터 프린팅장치 부착 카메라 | |
KR970007411A (ko) | 조명 광학 시스템 | |
JP5224592B2 (ja) | 照明器 | |
US5228765A (en) | Movable light projector | |
DE59205631D1 (de) | Beleuchtungseinrichtung für optische Geräte mit separaten Beleuchtungsstrahlengängen | |
JP3148355B2 (ja) | 照明装置 | |
JP2551078Y2 (ja) | スポットライト | |
JP2756765B2 (ja) | 複写機等の原稿撮像装置 | |
US5913087A (en) | Indicating apparatus within viewfinder of single lens reflex camera | |
JP2638962B2 (ja) | 画像露光装置 | |
US20040013423A1 (en) | Camera with viewfinder | |
JP2003084207A5 (ko) | ||
KR910012794A (ko) | 레드아이현상방지장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20100525 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |