KR960035949A - 조명 장치 - Google Patents

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Abstract

조명 장치(1)은 그 광학적 축이 관찰부(3a)의 법선에 따른 각(θ)에 위치하도록 정렬된 볼록 렌즈(11)을 가지며, 카메라(5)는 반사된 광선의 경로내에 정렬된다. 광 방출부(13)이 렌즈(11)의 광학적 축을 따라 정렬되는 경우, 명 필드 조사가 발생한다. 놉(29)이 회전하며, 광 방출부(13)은 볼 스크루(25)을 따라 움직여서, 명 필드 조사에서 암 필드 조사로 변한다. 놉(37)이 회전하면, 렌즈(11)를 빠져나가는 빛은 광 방출부(13)가 렌즈(11)에 가깝게 이동한다면 수렴하고, 광 방출부(13)이 렌즈로부터 멀리 움직인다면 발산하며, 광 방출부(13)가 렌즈(11)의 초점에 위치한다면 평행이 된다. 이러한 방식으로 광 방출부(13)의 위치를 변화시킴에 의해, 조사각 및 조사각 분포를 변화시키는 것이 가능하며, 목적물(3)의 광학적 특성에 따라 광 방출부(13)의 위치를 조절함에 의해, 높은 대조 화상을 얻는 것이 가능하다. 액츄에이터, 마이크로컴퓨터 등을 이용함에 의해 이러한 조절을 자동적으로 수행하는 것이 또한 가능하다.

Description

조명 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1도는 본 발명의 원리를 도시하는 도면.

Claims (13)

  1. 광 방출 수단: 광학적 소자; 및 조사각을 변화시키기 위해 상기 광학적 소자에 대해서 상기 광 방출 수단을 이동시키기 위한 이동 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 목적물을 조사하기 위한 조명 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 이동 수단은 상기 광학적 소자의 초점 평면에 평행 방향으로 움직일 수 있는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  3. 광학적 소자; 및 상기 광학적 소자에 대해서 상이한 위치들에 배치되어 빛을 방출하도록 선택적으로 활성화되는 복수의 광 방출 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 목적물을 조사하기 위한 조명 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 이동 수단이 적어도 하나의 축을 따라 움직일 수 있는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 광 방출 수단은 복수의 광 방출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  6. 제5항에 있어서, 빛을 방출하도록 활성화되는 하나 또는 그 이상의 상기 광 방출부를 선택하기 위한 선택 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 광 방출 수단은 광 안내 소자(light guiding element)의 광 방출 종단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  8. 제3항에 있어서, 복수의 상기 광 방출 수단은 광 안내 소자의 광 방출 종단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 광 방출 수단은 상기 광학적 소자의 전면 초점 평면 부근에 정렬되는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  10. 제3항에 있어서, 상기 복수의 광 방출 수단은 상기 광학적 소자의 전면 초점평면의 부근에 정렬되는 것을 특징으로 하는 조명 장치.
  11. 광 방출 수단; 광학적 소자; 상기 광 방출 수단과 상기 광학적 소자 사이에 정렬되며, 적어도 하나의 어퍼츄어부(aperture portion)를 포함하는 마스크 플레이트(mask plste): 및 조사각을 변화시키기 위해서 상기 광학적 소자에 대해서 상기 마스크 플레이트를 이동 시키기 위한 이동 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 목적물을 조사하기 위한 조명 장치.
  12. 광 방출 수단; 광학적 소자; 상기 광 방출 수단과 상기 광학적 소자 사이에 정렬된 광학적 셔터(shutter); 및 상기 광학적 셔터를 구동하기 위한 구동 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 목적물을 조사하기 위한 조명 장치.
  13. 광 방출 수단, 광학적 소자 및 조사각 또는 조사각 분포를 변화하기 위한 수단을 가지는 조명 장치로 목적물을 조사함에 의해 목적물로부터 정보를 판독하는 방법에 있어서, 상기 광 방출 수단으로부터의 조사 광으로 목적물을 조사하는 단계; 및 상기 목적물을 통과하거나 반사된 빛을 기초로 상기 목적물상의 정보를 판독하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 판독 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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