JPS63256841A - 透過照明方法 - Google Patents
透過照明方法Info
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- JPS63256841A JPS63256841A JP8993487A JP8993487A JPS63256841A JP S63256841 A JPS63256841 A JP S63256841A JP 8993487 A JP8993487 A JP 8993487A JP 8993487 A JP8993487 A JP 8993487A JP S63256841 A JPS63256841 A JP S63256841A
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title abstract description 6
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 34
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 7
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
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- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、ホトマスクパターンおよびプリント基板パタ
ーンなどを透過照明する方法に係り、とくに前記パター
ンを検出するのに好適な透過照明方法に関する。
ーンなどを透過照明する方法に係り、とくに前記パター
ンを検出するのに好適な透過照明方法に関する。
［従来の技術］
従来のパターンを透過照明する装置はたとえば米国特許
第４，１４８，０６５号明細書とくに第４図に示されて
いるようにパターンを設置したＸＹステージ内に照明装
置を組み込み、一方の照明装置は地上に固定され、他方
のＸＹステージが移動するように形成され、このさいに
ＸＹステージが移動してもＸＹステージと照明装置とが
当らないように構成されている。また光拡散性ガラス板
の下に蛍光灯を組み込み、パターン保持台全体が光る透
明照明装置が「ライトテーブル」として知られている。
第４，１４８，０６５号明細書とくに第４図に示されて
いるようにパターンを設置したＸＹステージ内に照明装
置を組み込み、一方の照明装置は地上に固定され、他方
のＸＹステージが移動するように形成され、このさいに
ＸＹステージが移動してもＸＹステージと照明装置とが
当らないように構成されている。また光拡散性ガラス板
の下に蛍光灯を組み込み、パターン保持台全体が光る透
明照明装置が「ライトテーブル」として知られている。
また、従来のプリント基板検査装置はたとえば第３図に
示すように、ＸＹステージ１の上部に保持されたプリン
ト基板保持板２にはその上部に多数の穴２ａを形成する
とともにこれら多数の穴２ａを空気排気ブロワ３に接続
して上面にプリント板４を吸着保持し、前記プリント板
４にパターン５を光源６からの照明光により集光レンズ
７および半透視鏡８を介して上方から落射照明したのち
、反射光レンズ９によりパターン検出ＪａｌＯ上に結像
し、その検出信号１１を図示しない欠陥検出器により画
像処理して欠陥検出を行なうものが実施されてぃる。な
お、図示の１２はベース、１３はテーブル、１４は送り
モータ、１４ａは送り螺子軸である。
示すように、ＸＹステージ１の上部に保持されたプリン
ト基板保持板２にはその上部に多数の穴２ａを形成する
とともにこれら多数の穴２ａを空気排気ブロワ３に接続
して上面にプリント板４を吸着保持し、前記プリント板
４にパターン５を光源６からの照明光により集光レンズ
７および半透視鏡８を介して上方から落射照明したのち
、反射光レンズ９によりパターン検出ＪａｌＯ上に結像
し、その検出信号１１を図示しない欠陥検出器により画
像処理して欠陥検出を行なうものが実施されてぃる。な
お、図示の１２はベース、１３はテーブル、１４は送り
モータ、１４ａは送り螺子軸である。
［発明が解決しようとする問題点］
前記第３図に示す従来のプリント基板検出装置に透過照
明装置を組み込んだ場合、従来の透過照明装置では構成
が複雑で大形化になる問題がある。
明装置を組み込んだ場合、従来の透過照明装置では構成
が複雑で大形化になる問題がある。
すなわち第４図は従来のプリント基板検査装置に透過照
明装置を組み込んだ場合の１例を示す。
明装置を組み込んだ場合の１例を示す。
第４図に示すように、ＸＹステージ１の筐体内に光源１
６、レンズ１７．１８を組み込んでホトマスク１９を透
過照明している。
６、レンズ１７．１８を組み込んでホトマスク１９を透
過照明している。
そのため、ホトマスク透過照明装置と、第１図に示すプ
リント基板保持機構との両方を設置する必要があるので
、構成が複雑で大形化になって現実的ではない。
リント基板保持機構との両方を設置する必要があるので
、構成が複雑で大形化になって現実的ではない。
また、従来前記プリント基板保持機構と透過照明装置と
を共用するためにライトテーブルを用いたものとしては
、例えば第５図に示すように、ライトテーブル２０の内
部に多数個の蛍光灯２１を組み込み、拡散板２２を介し
てホトマスク１５を透過照明するものが実施されている
。
を共用するためにライトテーブルを用いたものとしては
、例えば第５図に示すように、ライトテーブル２０の内
部に多数個の蛍光灯２１を組み込み、拡散板２２を介し
てホトマスク１５を透過照明するものが実施されている
。
しかるに、前記の装置では、通常ライトテーブル２０の
厚さＬが厚くなるので、その厚さＬだけ第１図に示すプ
リント基板検査装置を上昇させなければならない。なお
、前記厚さＬは通常２００閣程度である。
厚さＬが厚くなるので、その厚さＬだけ第１図に示すプ
リント基板検査装置を上昇させなければならない。なお
、前記厚さＬは通常２００閣程度である。
そこで、前記蛍光灯２１を小形化してライトテーブル２
０を成る程度薄くすることは可能であるが、その反面、
蛍光灯２１による照明光の不均一性および蛍光灯２１の
発熱など実用上問題がある。
０を成る程度薄くすることは可能であるが、その反面、
蛍光灯２１による照明光の不均一性および蛍光灯２１の
発熱など実用上問題がある。
本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決し、パタ
ーンを目視ｍ察あるいは検出するのに好適な透過照明方
法を提供することにある。
ーンを目視ｍ察あるいは検出するのに好適な透過照明方
法を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］
前記の目的は、ＸＹステージ上に搭載され、上面にパー
タンを有するホトマスクを載置する透過照明手段内に多
数個の発光ダイオード（以下ＬＥＤという）を配置し、
前記ＸＹステージの移動に同期して前記検出するパター
ンを検出する範囲の前記ＬＥＤのみ点灯させることによ
って達成される。
タンを有するホトマスクを載置する透過照明手段内に多
数個の発光ダイオード（以下ＬＥＤという）を配置し、
前記ＸＹステージの移動に同期して前記検出するパター
ンを検出する範囲の前記ＬＥＤのみ点灯させることによ
って達成される。
［作用］
第６図に本発明によるＬＥＤ透過照明装置の基本構成を
示す。
示す。
第６図に示すようにＬＥＤ２３は面発光ダイオードが使
用され、その大きさは数−角乃至２０一角程度を有し、
かつその厚さｌは約７ｍ程度である。
用され、その大きさは数−角乃至２０一角程度を有し、
かつその厚さｌは約７ｍ程度である。
このような構成をしたＬＥＤ２３を多数個バックボード
２４に組み込み、上方に拡散板２２を設置することによ
り透過照明装置の厚さＬは約２０−程度に薄くすること
が可能である。
２４に組み込み、上方に拡散板２２を設置することによ
り透過照明装置の厚さＬは約２０−程度に薄くすること
が可能である。
また前記ＬＥＤ２３は面発光ダイオードの代わりに線形
の発光ダイオードを使用することも可能である。この場
合には、ＬＥＤ２３は多数個のＬＥＤを長さ２００乃至
３０〇−程度にして並置したもので、このＬＥＤは主と
してファックス用に使用される。
の発光ダイオードを使用することも可能である。この場
合には、ＬＥＤ２３は多数個のＬＥＤを長さ２００乃至
３０〇−程度にして並置したもので、このＬＥＤは主と
してファックス用に使用される。
［実施例コ
以下、本発明の一実施例を示す第１図および第２図につ
いて説明する。
いて説明する。
第１図に示すように、プリント基板保持板２の上面には
内部に多数個のＬＥＤ２３をピッチＰ■で配列したＬＥ
Ｄ透過照明装置２６を空気排気ブロワ３により吸着保持
している。
内部に多数個のＬＥＤ２３をピッチＰ■で配列したＬＥ
Ｄ透過照明装置２６を空気排気ブロワ３により吸着保持
している。
ホトマスク１５のパターン５を検出する場合には、前記
透過照明装置２６の上にホトマスク１５を載置し。
透過照明装置２６の上にホトマスク１５を載置し。
クランプ２７でホトマスク１５を固定する。この場合、
前記ホトマスク１５はガラス板あるいはフィルムで形成
されているので、真空吸着方法でなくとも平坦度が保持
される。
前記ホトマスク１５はガラス板あるいはフィルムで形成
されているので、真空吸着方法でなくとも平坦度が保持
される。
また、前記ＬＥＤ２３の数量は、前記ホトマスク１５の
大きさが８００ Ｘ ５００ ｍ％ＬＥＤ２３の大きさ
が１５Ｘ２０ｍの場合、約１３００個となる。このよう
に多数のＬＥＤ２３を点灯させるさいに発熱、消費エネ
ルギーの低減をはかるため、つぎの方法が考えられる。
大きさが８００ Ｘ ５００ ｍ％ＬＥＤ２３の大きさ
が１５Ｘ２０ｍの場合、約１３００個となる。このよう
に多数のＬＥＤ２３を点灯させるさいに発熱、消費エネ
ルギーの低減をはかるため、つぎの方法が考えられる。
すなわち、パターン検出器ｌＯによる前記ホトマスクパ
ターン５の検出視野はせいぜい１０乃至１００ｍ＋程度
であるから、一度にすべてのＬＥＤ２３を点灯させる必
要はなく、パターン検出器１０で検出している視野範囲
のみの面積をＬＥＤ２３で照明すればよい。
ターン５の検出視野はせいぜい１０乃至１００ｍ＋程度
であるから、一度にすべてのＬＥＤ２３を点灯させる必
要はなく、パターン検出器１０で検出している視野範囲
のみの面積をＬＥＤ２３で照明すればよい。
そこで本発明においては、ＸＹステージ１の移動とＬＥ
Ｄ２３の点灯とを同期させるためＸＹステージ１に該Ｘ
Ｙステージ１の移動量Ｘを読み取るリニアスケール２５
を取付け、このリニアスケール２５および前記多数個の
ＬＥＤ２３に接続する同期点灯装置２７′を設けている
。この同期点灯装置２７′は第２図に示すように、リニ
アスケール２５からの出力信号が割算機２８に入力され
ると、割算機２８がＸＹステージ１の移動量Ｘから点灯
すべきＬＥＤ２３′の位置すなわち、検出器１０で検出
されているレンズ９の真下の部分の点灯すべきｘ／ｐ番
目のＬ Ｅ Ｄ ２３’の位置を割り出し、このｘ／ｐ
の値からデコーダ２９を介して当該Ｌ Ｅ Ｄ ２３’
に電流を出力して点灯させるように形成されている。な
お、前記リニアスケール２５の原点と、最初のＬＥＤ２
３の位置とがあらかじめ一致するように位置調整されて
いる。
Ｄ２３の点灯とを同期させるためＸＹステージ１に該Ｘ
Ｙステージ１の移動量Ｘを読み取るリニアスケール２５
を取付け、このリニアスケール２５および前記多数個の
ＬＥＤ２３に接続する同期点灯装置２７′を設けている
。この同期点灯装置２７′は第２図に示すように、リニ
アスケール２５からの出力信号が割算機２８に入力され
ると、割算機２８がＸＹステージ１の移動量Ｘから点灯
すべきＬＥＤ２３′の位置すなわち、検出器１０で検出
されているレンズ９の真下の部分の点灯すべきｘ／ｐ番
目のＬ Ｅ Ｄ ２３’の位置を割り出し、このｘ／ｐ
の値からデコーダ２９を介して当該Ｌ Ｅ Ｄ ２３’
に電流を出力して点灯させるように形成されている。な
お、前記リニアスケール２５の原点と、最初のＬＥＤ２
３の位置とがあらかじめ一致するように位置調整されて
いる。
本発明による透過照明装置は前記のように構成されてい
るから、ＬＥＤ透過照明装置２６の厚さＬが薄くなるの
で、容易に透過照明装置２６を取り除くことが可能であ
り、かつこの透過照明装置２６を取り除くさい、光源６
、集光レンズ７、半透視鏡８、レンズ９およびパターン
検出器１０からなる光学系の移動を最小限に抑えること
が可能なので。
るから、ＬＥＤ透過照明装置２６の厚さＬが薄くなるの
で、容易に透過照明装置２６を取り除くことが可能であ
り、かつこの透過照明装置２６を取り除くさい、光源６
、集光レンズ７、半透視鏡８、レンズ９およびパターン
検出器１０からなる光学系の移動を最小限に抑えること
が可能なので。
光学系を保持する構成を簡単にすることができる。
また前記同期点灯装置２７′によりＸＹステージ１の移
動と、ＬＥＤ２３の点灯を同期して行ない、かつ前記パ
ターン検出器１０で検出している範囲のＬＥＤ２３’の
みを点灯し全てのＬＥＤ２３を点灯する必要がないから
、前記ＬＥＤ２３の寿命を向上させることができるのみ
でなく、前記ＬＥＤ２３の発熱を低減させて消費電力を
低減させることができる。
動と、ＬＥＤ２３の点灯を同期して行ない、かつ前記パ
ターン検出器１０で検出している範囲のＬＥＤ２３’の
みを点灯し全てのＬＥＤ２３を点灯する必要がないから
、前記ＬＥＤ２３の寿命を向上させることができるのみ
でなく、前記ＬＥＤ２３の発熱を低減させて消費電力を
低減させることができる。
［発明の効果］
本発明によれば、コンパクトに構成することができるの
で、従来の特別の机仕立てのライトテーブルを使用する
必要がなく、一般の机の上でもパターンを透過照明観察
をすることができる。
で、従来の特別の机仕立てのライトテーブルを使用する
必要がなく、一般の机の上でもパターンを透過照明観察
をすることができる。
また落射照明用に設計されたパターン検出装置を容易に
透過照明用に転用可能なので、パターン検出対象をプリ
ント基板およびホトマスクなど落射あるいは透過照明が
必要なものの両方に適用範囲を拡大することができる。
透過照明用に転用可能なので、パターン検出対象をプリ
ント基板およびホトマスクなど落射あるいは透過照明が
必要なものの両方に適用範囲を拡大することができる。
さらにＬＥＤの発熱および消費電力を低減することがで
きるので、ＬＥＤの耐用年数の向上をはかることができ
る。
きるので、ＬＥＤの耐用年数の向上をはかることができ
る。
第１図は本発明の一実施例であるプリント板検査機付透
過照明装置の正面図、第２図は第１図に示す同期点灯装
置の説明図、第３図は従来のプリント板検査機の正面図
、第４図は従来のホトマスク検査機の正面図、第５図は
従来のプリント検査機付透過照明装置の正面図、第６図
（ａ）、 （ｂ）は本発明による透過照明装置の説明図
であって、（ａ）は基本構成を示すもの、（ｂ）は（ａ
）に示すＬＥＤの拡大図である。 １・・・ＸＹステージ、２・・・プリント基板保持板。 ３・・・空気排気ブロワ、５・・・パターン、６・・・
光源、７・・・集光レンズ、８・・・半透視鏡、９・・
・レンズ、１０・・・パターン検出器、１１・・・検出
信号、１２・・・ベース、１３・・・テーブル、１４・
・・送りモータ、１４ａ・・・送り螺子軸、２３・・・
ＬＥＤ、２６・・・ＬＥＤ透過照明装置、２７・・・ク
ランプ、２８・・・割算機、２９・・・デコーダ。 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第 １ 区 Ｉ ＸＹステージ ７１し七、レソス’
ｔ５ ホトマス７２ プリント基力え探杵板 Ｂ
牛先鋭 ２３発九μオード３ す気柳大７゛ロア
９ レンス゛ ２６ 姪ヒ角Ｊ罠明装置
５ ハ゛ダーン １０ パダーソ糎ツｌ（
２７グランプロ丸木 １１授良信号 第 Ｚ 区 ２デ 第 ３ 図 第李図 第５図 第 ６ 区
過照明装置の正面図、第２図は第１図に示す同期点灯装
置の説明図、第３図は従来のプリント板検査機の正面図
、第４図は従来のホトマスク検査機の正面図、第５図は
従来のプリント検査機付透過照明装置の正面図、第６図
（ａ）、 （ｂ）は本発明による透過照明装置の説明図
であって、（ａ）は基本構成を示すもの、（ｂ）は（ａ
）に示すＬＥＤの拡大図である。 １・・・ＸＹステージ、２・・・プリント基板保持板。 ３・・・空気排気ブロワ、５・・・パターン、６・・・
光源、７・・・集光レンズ、８・・・半透視鏡、９・・
・レンズ、１０・・・パターン検出器、１１・・・検出
信号、１２・・・ベース、１３・・・テーブル、１４・
・・送りモータ、１４ａ・・・送り螺子軸、２３・・・
ＬＥＤ、２６・・・ＬＥＤ透過照明装置、２７・・・ク
ランプ、２８・・・割算機、２９・・・デコーダ。 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第 １ 区 Ｉ ＸＹステージ ７１し七、レソス’
ｔ５ ホトマス７２ プリント基力え探杵板 Ｂ
牛先鋭 ２３発九μオード３ す気柳大７゛ロア
９ レンス゛ ２６ 姪ヒ角Ｊ罠明装置
５ ハ゛ダーン １０ パダーソ糎ツｌ（
２７グランプロ丸木 １１授良信号 第 Ｚ 区 ２デ 第 ３ 図 第李図 第５図 第 ６ 区
Claims (1)
- １、ＸＹステージ上に搭載され、上面にパターンを有す
るホトマスクを載置する透過照明手段内に多数個の発光
ダイオードを配置し、これら多数個の発光ダイオードの
うち、前記検出するパターンの検出範囲の発光ダイオー
ドのみを前記ＸＹステージの移動に同期して点灯させる
ことを特徴とする透過照明方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8993487A JPS63256841A (ja) | 1987-04-14 | 1987-04-14 | 透過照明方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8993487A JPS63256841A (ja) | 1987-04-14 | 1987-04-14 | 透過照明方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63256841A true JPS63256841A (ja) | 1988-10-24 |
Family
ID=13984525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8993487A Pending JPS63256841A (ja) | 1987-04-14 | 1987-04-14 | 透過照明方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63256841A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0735361A2 (en) * | 1995-03-31 | 1996-10-02 | LINTEC Corporation | Apparatus for inspecting semiconductor substrates |
-
1987
- 1987-04-14 JP JP8993487A patent/JPS63256841A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0735361A2 (en) * | 1995-03-31 | 1996-10-02 | LINTEC Corporation | Apparatus for inspecting semiconductor substrates |
| EP0735361A3 (en) * | 1995-03-31 | 1998-06-10 | LINTEC Corporation | Apparatus for inspecting semiconductor substrates |
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