JPS59119246A - 被検査物照明装置 - Google Patents
被検査物照明装置Info
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- JPS59119246A JPS59119246A JP23444682A JP23444682A JPS59119246A JP S59119246 A JPS59119246 A JP S59119246A JP 23444682 A JP23444682 A JP 23444682A JP 23444682 A JP23444682 A JP 23444682A JP S59119246 A JPS59119246 A JP S59119246A
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- JP
- Japan
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- light
- optical fiber
- inspected
- diffuser plate
- fiber body
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は被検査物照明装置に関するものである。
従来より、被検査物表面の欠陥等を光を用いて検査する
場合、均一拡散照明や正反射照明が必要となる。ところ
が、これら均一拡散照明や正反射照明を同一装置で行な
おうとすると、均一拡散照明装置と正反射照明装置が同
居することとなり、お互いの光源が障害となって理想的
な照明が得られないという問題を有していた。
場合、均一拡散照明や正反射照明が必要となる。ところ
が、これら均一拡散照明や正反射照明を同一装置で行な
おうとすると、均一拡散照明装置と正反射照明装置が同
居することとなり、お互いの光源が障害となって理想的
な照明が得られないという問題を有していた。
この発明の目的は、一台の装置で均一拡散照明と正反射
照明を行なえる被検査物照明装置を提供することである
。
照明を行なえる被検査物照明装置を提供することである
。
Ｆｌの発明の被検査物照明装置は、一部に光取出穴をも
つ透過光拡散板で被検査物を取囲み、多数本のファイバ
を入射端側で束ねる表ともに投射端側で分離した第１の
光フアイバ体の各投射端を、投射方向を拡散板へ向けた
状態で拡散板の外方にほぼ均等に分布配置し、第２の光
フアイバ体を拡散板の外方に位置させて、その投射端を
、投射光が拡散板の一部を透過し被検査物表面で正反射
して光取出穴へ向かう位置に配置し、光源からの光を第
１および第２の光フアイバ体の各入射端のいずれかへ選
択的に切換入射するように構成したものである。このよ
うに構成することにより、光源の光を、第１の光フアイ
バ体へ入射することにより均一拡散照明を行なえ、逆に
、第２の光フアイバ体へ入射することにより正反射照明
を行なえる。
つ透過光拡散板で被検査物を取囲み、多数本のファイバ
を入射端側で束ねる表ともに投射端側で分離した第１の
光フアイバ体の各投射端を、投射方向を拡散板へ向けた
状態で拡散板の外方にほぼ均等に分布配置し、第２の光
フアイバ体を拡散板の外方に位置させて、その投射端を
、投射光が拡散板の一部を透過し被検査物表面で正反射
して光取出穴へ向かう位置に配置し、光源からの光を第
１および第２の光フアイバ体の各入射端のいずれかへ選
択的に切換入射するように構成したものである。このよ
うに構成することにより、光源の光を、第１の光フアイ
バ体へ入射することにより均一拡散照明を行なえ、逆に
、第２の光フアイバ体へ入射することにより正反射照明
を行なえる。
縞２の発明の被検査物照明装置は、一部に光取出穴をも
つ透過光拡散板で被検査物を取囲み、複数の透光部材を
拡散板の外面を取囲むように配列し、第１の光フアイバ
体を透光部材の外方に配置して、その投射端をいずれか
の透光部材の外面に対向させ、隣り合う透光部材間に透
過反射制御部材をそれぞれ介伎して、棺ｌの光フアイバ
体からの投射光の一部を隣りの透光部材へ透過する七と
もに他部を拡散板側へ反射させ、かつ、それら各透過反
射制御部材の反射能を、反射光量が拡散板全体でほぼ均
一となるように設定し、第２の光フアイバ体を透光部材
の外方に位置させて、その投射端を、投射光が拡散、板
の一部を透過し被検査物表面で正反射して光取出穴へ向
かう位置に配置し、光源からの光を第１および第２の光
フアイバ体の各入射端のいずれかへ選択的に切換入射す
るように構成したものである。このように構成すること
により、光源の光を、第１の光フアイバ体へ入射するこ
とにより均一拡散照明を行なえ、逆に、第２の光フアイ
バ体へ入射することにより正反射照明を行なえる。
つ透過光拡散板で被検査物を取囲み、複数の透光部材を
拡散板の外面を取囲むように配列し、第１の光フアイバ
体を透光部材の外方に配置して、その投射端をいずれか
の透光部材の外面に対向させ、隣り合う透光部材間に透
過反射制御部材をそれぞれ介伎して、棺ｌの光フアイバ
体からの投射光の一部を隣りの透光部材へ透過する七と
もに他部を拡散板側へ反射させ、かつ、それら各透過反
射制御部材の反射能を、反射光量が拡散板全体でほぼ均
一となるように設定し、第２の光フアイバ体を透光部材
の外方に位置させて、その投射端を、投射光が拡散、板
の一部を透過し被検査物表面で正反射して光取出穴へ向
かう位置に配置し、光源からの光を第１および第２の光
フアイバ体の各入射端のいずれかへ選択的に切換入射す
るように構成したものである。このように構成すること
により、光源の光を、第１の光フアイバ体へ入射するこ
とにより均一拡散照明を行なえ、逆に、第２の光フアイ
バ体へ入射することにより正反射照明を行なえる。
第１の発明の一実施例を第１図および第２図を用いて説
明する。すなわち、この被検査物照明装置は、第１図に
示すように１被検査物１を取囲むように、その上方に半
球面状で半透明乳白色のアクリル板２を配置する。この
アクリル板２の中央には、受光用として円形の穴２ａを
開ける。このアクリル板２の外側には、透明の半球面状
のアクリル板３（アクリル板２に比べて半径がＬ２だけ
大きい）をアクリル板２と同心状に配置し、同じように
中央は受光用として穴３ａを開ける。これら両アクリル
板２．３の中央穴２ｇ 、３ａには筒体４を貫装して、
その筒内を光取出穴５とする。
明する。すなわち、この被検査物照明装置は、第１図に
示すように１被検査物１を取囲むように、その上方に半
球面状で半透明乳白色のアクリル板２を配置する。この
アクリル板２の中央には、受光用として円形の穴２ａを
開ける。このアクリル板２の外側には、透明の半球面状
のアクリル板３（アクリル板２に比べて半径がＬ２だけ
大きい）をアクリル板２と同心状に配置し、同じように
中央は受光用として穴３ａを開ける。これら両アクリル
板２．３の中央穴２ｇ 、３ａには筒体４を貫装して、
その筒内を光取出穴５とする。
光源は、一台のランプ６と振動ミラー７で構成し、ラン
プ６から照射された光をイ辰動ミラー７により２方向へ
選択的に切換え可能とする。
プ６から照射された光をイ辰動ミラー７により２方向へ
選択的に切換え可能とする。
光フアイバ体８は、多数本（ｎ本）のファイバを入射端
８Ｉ１１１１１１で束ねるとともに投射端８ｂ側で分離
して構成し、入射端８ｒＬを振動ミラー７の近傍に配ｆ
ｉｆｆｉするとともＫ、各投射端８ｂを、投射方向を被
検査物１へ向けた状態で透明アクリル板３全体に均一に
分布するように配列する。この場合、透明アクリル板３
はファイバ差込用としてｎ個の穴を設けており、これら
の穴に各ファイバ８の投・射端８ｂを差込み固定する。
８Ｉ１１１１１１で束ねるとともに投射端８ｂ側で分離
して構成し、入射端８ｒＬを振動ミラー７の近傍に配ｆ
ｉｆｆｉするとともＫ、各投射端８ｂを、投射方向を被
検査物１へ向けた状態で透明アクリル板３全体に均一に
分布するように配列する。この場合、透明アクリル板３
はファイバ差込用としてｎ個の穴を設けており、これら
の穴に各ファイバ８の投・射端８ｂを差込み固定する。
他方の光フアイバ体９は、その入射端９ａを振動ミラー
７の近傍に配置し、投射端９ｂを、透明アクリル板３の
外方で、かつ投射光１ｏが両アクリル板２．３の一部を
透過し被検査物１表面で正反射して光取付穴５へ向かう
位置に配置する。この場合、投射端９ｂと半透明アクリ
ル板２との距離はＬ工とする、 この装置の動作をつぎに説明する。
７の近傍に配置し、投射端９ｂを、透明アクリル板３の
外方で、かつ投射光１ｏが両アクリル板２．３の一部を
透過し被検査物１表面で正反射して光取付穴５へ向かう
位置に配置する。この場合、投射端９ｂと半透明アクリ
ル板２との距離はＬ工とする、 この装置の動作をつぎに説明する。
（１）振動ミラー７を第２図（ａ）のミラー角変タイム
チャートに示すように振動させて、ランプ６からの光を
一部の角度でスキャンさせると、光は両光ファイバ体８
．９の入射端ｇａ 、９ｇへ時分割して入射され、光フ
アイバ体９の投射端９ｂからは第２図（ｂ）に示す光出
力が得られるとともに、他の光ファイバ体８０投射端８
ｂからは第２図（Ｃ）に示す光出力が得られる。
チャートに示すように振動させて、ランプ６からの光を
一部の角度でスキャンさせると、光は両光ファイバ体８
．９の入射端ｇａ 、９ｇへ時分割して入射され、光フ
アイバ体９の投射端９ｂからは第２図（ｂ）に示す光出
力が得られるとともに、他の光ファイバ体８０投射端８
ｂからは第２図（Ｃ）に示す光出力が得られる。
（２）光フアイバ体９がオンで点灯のときは、光フアイ
バ体９からの光出力は透明アクリル板３を通して乳白色
のアクリル板２に照明される。
バ体９からの光出力は透明アクリル板３を通して乳白色
のアクリル板２に照明される。
（３）光フアイバ体９からの光出力の広がりを一部、と
すると、Ｌ□離れた位置にある乳白色のアクリル板の表
面には、半径ｒ１−Ｌｌｔａｎθ１ の大きさをもった
スポットになる。
すると、Ｌ□離れた位置にある乳白色のアクリル板の表
面には、半径ｒ１−Ｌｌｔａｎθ１ の大きさをもった
スポットになる。
（４）半径ｒよの大きさをもったスポット光は、乳白色
アクリル板２を透過することによって内部で拡散され、
アクリル板２から出た光は全方位の拡散光となる。
アクリル板２を透過することによって内部で拡散され、
アクリル板２から出た光は全方位の拡散光となる。
（５）被検査物１に照明された光のうち、受光素子１１
（光取出穴５の上方に位置）に対して正反射の位置にあ
る光の成分のみが、光取出穴５を通って受光素子１１に
入射される。すなわち、半径ｒ工のスポット光からの平
行光成分のみが被検査物１により正反射されて受光素子
１１に入る。こうして、被検査物１０表面の凹凸が顕著
にわかる。
（光取出穴５の上方に位置）に対して正反射の位置にあ
る光の成分のみが、光取出穴５を通って受光素子１１に
入射される。すなわち、半径ｒ工のスポット光からの平
行光成分のみが被検査物１により正反射されて受光素子
１１に入る。こうして、被検査物１０表面の凹凸が顕著
にわかる。
（６）つぎに、他の光フアイバ体８が点灯のときは、各
投射端８ｂからの光出力がＬ２の距離で乳白色アクリル
板２に照明され、投射端８ｂからの光の広がりを−０２
とすると、半径ｒ２−Ｌ２ｔａＩ＋０２の大きさのスポ
ット光がｎ個だけできる。
投射端８ｂからの光出力がＬ２の距離で乳白色アクリル
板２に照明され、投射端８ｂからの光の広がりを−０２
とすると、半径ｒ２−Ｌ２ｔａＩ＋０２の大きさのスポ
ット光がｎ個だけできる。
（７）ｎ個分だけ全方向に拡散した光は乳白色アクリル
板２でさらに均一に拡散されて被検査物１に照明される
。このように、光が全方向に均一に拡散されて被検査物
１に照明されるため、被検査物１の表面に凹凸があって
もその影響を受けない。
板２でさらに均一に拡散されて被検査物１に照明される
。このように、光が全方向に均一に拡散されて被検査物
１に照明されるため、被検査物１の表面に凹凸があって
もその影響を受けない。
したがって、この光を利用して、被検査物１表面の凹凸
をキャンセルさせる検査を行なえる。
をキャンセルさせる検査を行なえる。
このように構成したため、光フアイバ体９からの光で正
反射光照明を行なえ、また、他の光フアイバ体８からの
光で均一拡散照明を行なえて、一台の装置で均一拡散照
明と正反射照明が可能となる。
反射光照明を行なえ、また、他の光フアイバ体８からの
光で均一拡散照明を行なえて、一台の装置で均一拡散照
明と正反射照明が可能となる。
第２の発明の一実施例を第３図ないし第８図を用いて説
明する。第３図はこの実施例の要部斜視図を示し、第４
図はその平面図を示す。すなわち、この被検査物照明装
置は、角筒状の半透明アクリル板１２の外周全域に、第
５図に示す透明ガラス板１３を複数個配列固定する。こ
の透明ガラス板１３は、水平断面ひし形の柱状体で、そ
の上面の頂角α（第４図）が４５度である。１４ 、１
４’は光フアイバ体で、投光端を鉛直線上に配列してお
り、それらの投光端を相対向するガラス板１３の外面に
それぞれ対面させている。
明する。第３図はこの実施例の要部斜視図を示し、第４
図はその平面図を示す。すなわち、この被検査物照明装
置は、角筒状の半透明アクリル板１２の外周全域に、第
５図に示す透明ガラス板１３を複数個配列固定する。こ
の透明ガラス板１３は、水平断面ひし形の柱状体で、そ
の上面の頂角α（第４図）が４５度である。１４ 、１
４’は光フアイバ体で、投光端を鉛直線上に配列してお
り、それらの投光端を相対向するガラス板１３の外面に
それぞれ対面させている。
隣接するガラス板１３．１３の対向側面間には、第６図
に示すビームスプリッタ１５または第７図に示すビーム
スプリッタ１６を介装する。すなわち、光フアイバ体１
４の光が最初に反射する４５度の角度になった面には、
第６図のビームスプリッタ１５を第４図に示すように配
設する。このビームスプリッタ１５は、透明フィルム１
５ａ上に全反射層１５ｂを市松状にコーティングしたも
ので、全反射層１５ｂで光の５０％を反射し、全反射層
１５ｂのない透明フィルム１５ａ部分で光の５０％を透
過する。他の隣接するガラス板１３．１３の対向側面間
には、第７図に示すビームスプリッタ１６を第４図に示
すように配設する。このビームスプリッタ１６は、第７
．８図に示すように、透明フィルム１６１４上に全反射
層１６ｂを格子状にコーティングしたもので、透過と反
射の比率は、コーテイング面とコーティングしていない
面積との比率により決定される。
に示すビームスプリッタ１５または第７図に示すビーム
スプリッタ１６を介装する。すなわち、光フアイバ体１
４の光が最初に反射する４５度の角度になった面には、
第６図のビームスプリッタ１５を第４図に示すように配
設する。このビームスプリッタ１５は、透明フィルム１
５ａ上に全反射層１５ｂを市松状にコーティングしたも
ので、全反射層１５ｂで光の５０％を反射し、全反射層
１５ｂのない透明フィルム１５ａ部分で光の５０％を透
過する。他の隣接するガラス板１３．１３の対向側面間
には、第７図に示すビームスプリッタ１６を第４図に示
すように配設する。このビームスプリッタ１６は、第７
．８図に示すように、透明フィルム１６１４上に全反射
層１６ｂを格子状にコーティングしたもので、透過と反
射の比率は、コーテイング面とコーティングしていない
面積との比率により決定される。
ガラス板１３の外面には、光ビーム体１４からの光の終
点側に全反射ミラー１７を貼着するとともに、他部に半
透明アクリル板１８を貼着する。
点側に全反射ミラー１７を貼着するとともに、他部に半
透明アクリル板１８を貼着する。
そして、このアクリル板１８の外方に、他の光ファイバ
１９の投射端１９９を、その投射光が両アクリル飯１８
．１２の一部を透過し被検青物２０表面で反射して角筒
状アクリル板１２上方のテレビカメラ受光面へ向かう位
置に配置する。これら両光ファイバ体１４．１９の入射
端へ光を照射する光源については、上記第１の発明の実
線例と同様とする。
１９の投射端１９９を、その投射光が両アクリル飯１８
．１２の一部を透過し被検青物２０表面で反射して角筒
状アクリル板１２上方のテレビカメラ受光面へ向かう位
置に配置する。これら両光ファイバ体１４．１９の入射
端へ光を照射する光源については、上記第１の発明の実
線例と同様とする。
この装置の動作をつぎに説明する。
（１）一方の光フアイバ体１４ 、１４’に光源からの
光を入射して、その入射光をライン状でガラス板１３へ
投射する。
光を入射して、その入射光をライン状でガラス板１３へ
投射する。
（２） この光２１を、第４図に示すように、ビームス
プリッタ１５で直角方向に均等に２分する。
プリッタ１５で直角方向に均等に２分する。
（３）他のビームスプリッタ１６では、その全反射層１
６ｂで光の一部をアクリル版１２側へ反射し、他部を透
明フィルム１６１４部分で隣りのガラス板１３に透過さ
せる。
６ｂで光の一部をアクリル版１２側へ反射し、他部を透
明フィルム１６１４部分で隣りのガラス板１３に透過さ
せる。
（４） 複数のガラス板１３を反射、透過した光は、
終端にある全反射ミラー１７で第４図に示すアクリル板
１２の方向に反射される。なお、各ビームスプリッタ１
６の全反射層１６ｂのコーティング面積は、ビームスプ
リッタ１６および全反射ミラー１７での反射光の光量が
それぞれ等しくなるように予め設定しておく。
終端にある全反射ミラー１７で第４図に示すアクリル板
１２の方向に反射される。なお、各ビームスプリッタ１
６の全反射層１６ｂのコーティング面積は、ビームスプ
リッタ１６および全反射ミラー１７での反射光の光量が
それぞれ等しくなるように予め設定しておく。
（５）アクリル板１２に投射された各党は、アクリル板
１２を透過してそれぞれ均一に拡散され、この拡散光で
被検査物２０を均一拡散照明できる。
１２を透過してそれぞれ均一に拡散され、この拡散光で
被検査物２０を均一拡散照明できる。
（６）一方、他方の光フアイバ体１９に光が入射された
ときは、投射端１９ｇからの投射光２２が、第４図破線
で示すようにアクリル板１８．ガラス板１３．アクリル
板１２を透過して被検査物２０に投射され、被検査物２
０表面での正反射光が、角筒状アクリル板１２の上面開
口（光取出穴）を通ってテレビカメラに入射される。こ
うして、光フアイバ体１９と２枚のアクリル板１８．１
２によって、一点方向からの均一な正反射照明を行なえ
る。
ときは、投射端１９ｇからの投射光２２が、第４図破線
で示すようにアクリル板１８．ガラス板１３．アクリル
板１２を透過して被検査物２０に投射され、被検査物２
０表面での正反射光が、角筒状アクリル板１２の上面開
口（光取出穴）を通ってテレビカメラに入射される。こ
うして、光フアイバ体１９と２枚のアクリル板１８．１
２によって、一点方向からの均一な正反射照明を行なえ
る。
このように構成したため、光フアイバ体１４゜１４′か
らの光で均一拡散照明を行なえ、また、他の光フ、イバ
体１９からの光で正反射照明を行なえて、一台の装置で
均一拡散照明と正反射照明が可能と々る。
らの光で均一拡散照明を行なえ、また、他の光フ、イバ
体１９からの光で正反射照明を行なえて、一台の装置で
均一拡散照明と正反射照明が可能と々る。
この発明の被検査物照明装置によれば・一台の装置で均
一拡散照明と正反射照明を行なえるという効果が得られ
る。
一拡散照明と正反射照明を行なえるという効果が得られ
る。
第１図は第１の発明の一実施例の断面図、第２図（ａ）
は振動ミラーのミラー角度タイムチャート、第２図ｆｔ
）） 、 （ｅ）は各光フアイバ体の光出力タイムチャ
ート、第３図は編２の発明の一実施例の要部斜視図、第
４図はその平面図、第５図はガラス板の斜視図、第６図
および第７図はビームスプリッタの説明図、第８図は第
７図の要部拡大正面図である。 １．２０・・・被検査物、２，１２・・・アクリル板（
透過光拡散板）、５・・・光取出穴、６・・・ランプ、
８゜９．１４．１４’、１９・・・光フアイバ体、１３
・・・ガラス板、１５．１６・・・ビームスプリッタｆ
ｊＴ１市・−１ 第１図 第３図
は振動ミラーのミラー角度タイムチャート、第２図ｆｔ
）） 、 （ｅ）は各光フアイバ体の光出力タイムチャ
ート、第３図は編２の発明の一実施例の要部斜視図、第
４図はその平面図、第５図はガラス板の斜視図、第６図
および第７図はビームスプリッタの説明図、第８図は第
７図の要部拡大正面図である。 １．２０・・・被検査物、２，１２・・・アクリル板（
透過光拡散板）、５・・・光取出穴、６・・・ランプ、
８゜９．１４．１４’、１９・・・光フアイバ体、１３
・・・ガラス板、１５．１６・・・ビームスプリッタｆ
ｊＴ１市・−１ 第１図 第３図
Claims (2)
- （１）被検査物を取囲むように配置されて一部に被検査
物表面での反射光を取出す取出穴をもつ透過光拡散板と
、多数本のファイバを入射端側で束ねるとともに投射端
側で分離して分離した各投射端を投射方向を拡散板へ向
けた状態で拡散板の外方にほぼ均等に分布配設した第１
の光フアイバ体と、前記拡散板の外方に配置され投射光
が前記拡散板の一部を透過し被検査物表面で正反射して
前記取出穴へ向かう位置に投射端を配置した第２の光フ
アイバ体と、光を前記第１および第２の光フアイバ体の
入射端のいずれかへ選択的に切換照射する光源とを備え
た被検査物照明装置。 - （２）被検査物を取囲むように配置されて一部に被検査
物表面での反射光を取出す取出穴をもつ透過光拡散板と
、この拡散板の外面を取囲むように配列した複数の透光
部材と、この透光部材の外方に配置されていずれかの透
光部材の外周面に投射端を対向配置したＭｌの光フアイ
バ体と、前記隣り合う透光部材間にそれぞれ介装して前
記第１の光フアイバ体からの投射光の一部を隣りの透光
部材へ透過するとともに他部を前記拡散板側へ反射して
その反射光量が拡散板全体でほぼ均一となるようにそれ
ぞれの反射能を設定した透過反射制御部材と、前記透光
部材の外方に配置されて投射光が前記拡散板の一部を透
過し被検査物表面で正反射して前記取出穴へ向かう位置
に投射端を配置した第２の光フアイバ体と、光を前記第
１および第２の光フアイバ体の入射端のいずれかへ選択
的に切換照射する光源とを備えた被検査物照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23444682A JPS59119246A (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | 被検査物照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23444682A JPS59119246A (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | 被検査物照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59119246A true JPS59119246A (ja) | 1984-07-10 |
Family
ID=16971127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23444682A Pending JPS59119246A (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | 被検査物照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59119246A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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- 1982-12-24 JP JP23444682A patent/JPS59119246A/ja active Pending
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