TW313626B - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- TW313626B TW313626B TW085103444A TW85103444A TW313626B TW 313626 B TW313626 B TW 313626B TW 085103444 A TW085103444 A TW 085103444A TW 85103444 A TW85103444 A TW 85103444A TW 313626 B TW313626 B TW 313626B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- light
- emitting
- illumination
- lighting
- optical element
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/544—Marks applied to semiconductor devices or parts, e.g. registration marks, alignment structures, wafer maps
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Image Input (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Fastening Of Light Sources Or Lamp Holders (AREA)
- Stroboscope Apparatuses (AREA)
Description
經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 3ί3β26 Α7 ----~~---- Β7__ 五 '發明説明(丨) — ~ - 本發明係關於一種照明裝置,尤指一種供觀測圖案,諸 $形成於絶緣基片諸如喊,玻璃,半導髋㈣或類似基 爻表面上或其表面附近之電路,字母及類似圖案之照明 裝置。 μ 説明 到目前爲止,在製造半導體積體電路及類似元件時,顯 微鏡,攝影機,甚至人眼,均曾被用以觀測在—種材料諸 如樹脂,陶堯,玻璃’液晶基片,半導體晶圓之表面所形 成之圖案諸如電路,字母及數字。例如,在製造過程中, 讀出半導體晶圓上之識别記號,然後根據此等識别記號進 行確定過程。 在先前技藝已知幾種照明裝置用以照明將予觀測之物體 ’並且此等裝置通常制勞紐,光纖照明,或者由透鏡 或類似者所構成之平行光源。 讀取基片上之圖案諸如字母等時,如果在圖案與周圍背 景之間有足夠大對比,此圖案將會看得清楚,但如在圖案 與周圍背景之間很少對比,則將難以自周圍背景分辨圖案 。圖案與周圍背景間之此種對比,不僅受光源之照明,並 且也受光源之照明角度及照明角度分布所影響。"照明角 度分布"意爲在所觀測之區域内,照明負度之分布。 雖然有亮場照明供照明在淺背景之暗圖案,但暗場照明 供照明在暗背景之淺圖案,始終採用具有高照明度之亮 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4规格(210Χ297公釐) _______h__^______’ 裝一---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
T % η Λ 五、 Α7 Β7 經濟部中夬棟準局員工消費合作衽印袋 發明説明( 場照明,不一定是好主意。 因此’在先前技藝之照明裝置,必須考慮光源,光學元 ’將予觀測之物體及觀測者在決定觀測系統配置時之位 置俾在所觀測之部份獲得足夠大對比。一經完成此工竹 ,然後必須使此已決定之觀測系統之位置關係固定,亦符 變成必須使照至所將觀測物體之光之照明角度及照明角廣 为布固定。就此點而言,操作者必須有足夠經驗及時間揭 調照明角度及照明角度分布。 在此方面’日本公開專利發表6_3625及6 —129844號揭守 種半導體晶囷檢查裝置’其中將平行光照至—樣本,市 來自其之反射光或散射光被—凸透鏡向一設置於凸透鏡核 、:、面以内之孔獲光闌聚焦。然而,即令在此種型式之裝遷 ,光之照明角度及照明角度分布也爲固定,要微調照明負 度及照明角度分布,作業員必須有足夠經驗及時間。’ 再者,即令使用相同度數之照明進行觀測時,但由於 製造場所,製造裝置或製造過程上之差異而;: 2光學特徵上之變化,在對比上也將會有很大變化。 均勻,在反射比及速射比上將會有很大變化。因、厚度巧 發生由於低對比度不可能觀測圖案之情況。 在此等情形,就每次觀測進行需要足夠經驗之 ,以獲得供所觀測物體之高度對比。然而,此軸 ^時二,並且依情況而定,有很多次必須將物體 h---!-----">袈-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 訂 r 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(210 X 297公釐) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 0IS626 A7 B7 五、發明説明(3 ) 爲較佳瞭解此問題,將就一實例詳細説明半導體晶圓。 亦即,一半導體晶圓有ID字母(識别記號),藉一種寫入 法,諸如用以藉照相曝光形成1C圖案之相同方法,或一種 採用高功率雷射將字母蚀刻至晶圓頂部之方法,寫入至其 頂部。通常,II)字母係在形成1C圖案前寫於晶圓上,在此· 以後,每一晶圓根據其ID字母經歷預定之過程。 進行此等預定過程時,稱爲一"批"之一組晶圓經歷各種 處理(蒸敷,上抗蝕劑,曝光,蝕刻等)。就此點而言, 每批經歷不同之處理係頗爲常見,並需依所形成之1C類型 進行不同之過程。現在,因爲此等處理用以在晶圓頂部形 成若干薄膜,故在進行此等處理所涉及之過程時,可能發 生各種問題,諸如晶圓翹曲,由於在ID字母附近之不規律 抗蚀劑而致形成不均勻層,以及自一位置輸送至另一位置 時損壞晶圓。此等問题於過程進行時越來越多。 現在,在先前技藝照明裝置,使用攝影機觀測已經歷上 述各種處理之晶圓頂部上面之1C字母時,必須就每一批, 每一 1C型别,及每種1C寫入方法,作上述光軸調整。在無 法進行調整之情形,由於1C字母周圍區域之不規律抗蚀劑 輿晶圓之缺陷相結合所致之光雜訊组份,產生所謂之影像 雜訊,這可能使得無法獲得II)字母之影像。因此,需將有 些情形處理爲不可觀測。 發明之概述 爲克服上述先前技藝之種種問題,發明人曾進行實驗, 確定照明角度與所形成之影像間之關係。發明人進行此項 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ------Μ - - -1 —i ...... -li
T 313626 經濟部中央棣準局員工消費合作、社印製 A7 B7 - ' _' —— . -- 五、發明説明(4 ) 研究時,一晶圓(其構成將予觀測之物體)與一攝影機及 攝影機造鐃間之位置關係予以固定,而照明光之照明角度 及平行特歡就各情形予以改變。此研究之結果如下: ⑴有超過一種照明角度可用以使ID字母自晶圓之周園部 分清晰可見。的確’可使用許多速績照明角度範圍。而且 ,可使用許多照明角度範園使晶BI之任何缺陷或不均勻清 楚可見。此外,也有許多照明角度對ID字母或晶圓之缺陷 及不均句部份則無作用。假若每一晶圓之鈕曲予以改正, 可考慮至少同一批之晶圓爲具有約略共同特性。 ⑵依寫入1C字母之方法及供形成每一類型Ic之過程而定 ,經常有照明角度範圍(如以上⑴中所述)及此等範圍之 數對每批爲不同之情形。 ⑶曾有數批不一定需要平行光。的確,曾有會聚光或發 散光爲較佳之情形。 自以上結果,亦即自存在許多照明角度範園之事實,以 及自照明光孩需爲平行之事實,發明人曾以各種照明角度 及以各種照明角度分布照明物體,並發現一種實施照明, 以獲得具有高對比度影像之容易及快速方法◊此等發現使 發明人能以完成本發明。 亦即,如圖1中所示’在根據本發明之照明裝置,來自 發光部份13之光經由凸透鏡11所構成之光學元件照至物體 3。在此種構造,使發光部份13可相對於凸透鏡1:1移動, 以允許調整照明角度。 自物體3所反射之光予以導向作業員之眼睛,勞屏,攝 本紙ί尺度適用中國⑽( 210X297公£7 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) —『t____ 訂 313626 A7 B7 正 五、發明説明(5 ♦利申請案第851034«號 t Appln. No.85103444 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 Λμρΐ11· flO.OOiUJ444 » .π中説明書參正第7頁-附件㈠ , Ajpended Pay of the Chinese Specification " Enel. 影機5或類似裝置,以供觀測。特别是,將發光部份13置 於沿透鏡11之光軸供照明物體3,並將攝影機5設置位於 反射光線之路捏以内(如圖1之實線所示),藉以形成亮 場照明。現在,如果使發光部份13在箭頭B所示之方向移 動’由物體3所反射,來自發光部份〗3之光將會不進入攝 影機5之攝影機透鏡4,這產生暗場照,明(如圏1中斷線 所示)。再者,使發光部份13在此方向略微移動,便可對 暗場照明角度作調整。 、 現在’使發光部份13在圖1中箭頭A所示之方向移動時 ’如果此移動爲向遠鏡Π ’物體3將會以會聚光線照明, 如果此種移動爲背離速鏡11,則物體3將會以發散光線照 明。就此而言,發光'部份13之移動方向不限於圖1中所示 之方向A,B,而是發光部份13可在相對於遠鏡11之任何方 向移動。 而且,可使用許多發光部份’以~種允許此等照明部份 選擇性啓動,以發出照明光之方式置於不同位置,代替發 光部份13。 再者,如圖2中所示,也可設置物體3致使垂直於朽透 鏡n之光軸。在此情形,將一半鏡41設於發光部价13與^ 遠鏡Π之間,以將自物體3所反射之光導向攝影機透鏡4 。以圖1中所示之相同方式,來自發光部份13之先絰由違 鏡U照至物體3,然後自物體3所反射之光藉透鏡11及半 鏡41導至攝影機遠鏡4。現在,如果發光部份13自先軸移 動一距離"y”,自物體3所反射之光將不通過透鏡11,;;言 本紙張尺度適用中鲺國家標率(cNS ) A4絲(nOXW公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 'ISJ' Μ Β7 五、發明説明( 產生一種暗場照明,如圏.2中斷線所示。就此點而言,即 使在此反射之光進入透鏡11之情形,也可藉調整距光轴之 距離y"防土此先進入攝影機造鏡4,並藉以形成暗場照明 〇 現在’使發光部份13在圖2中箭頭A所示之方向,亦即 沿光轴之方向移動時,如果此移動爲向透鏡11,物體3將 會以發散光線照明,如果此移動爲背離透鏡11,則物體3 將會以會聚光線照明。亦即,接近光軸之光線在其射於物 體3時將爲約略平行,而遠離光軸之光線則將以很大角度 照於物體3。再者,因爲發光部份13通常有一定之寬度, 使其較之點光源具有較大範圍,故照於物體3之光包括與 在距光軸一定距離所發出之光對應之角分量。換言之,變 成可獲得會聚光線,發射光線及平行光線,使得能造成一 種照明角度分布。 而且,也可使—至少有一孔徑設於發光部份13與光學元 件11之間之掩蔽板移動,代替使發光部份移動, 擇性啓動許多發光部份。 代替 再者,也可利用一種光閘元件諸如LCD (液晶裝置), ⑽(錯,鑭,錯酸鹽,鈥酸盤)或類似者卵代替上述掩 蔽板。利用此種光閘,可經由適當電信號形成任何希望之 圖案,並且以此種方式可形成任何希望之光通過圖案或光 阻斷圖案。例如,可選擇適當信號,使光閘具有與掩蔽板 之孔徑對應之光通過圖案,及一種將光閘之所有其他部份 阻斷之光阻斷圖案。 ” ° 本紙張尺度速用中國國家橾準(CNS ) A4規格(210 X 297公嫠) ----------『裝 τ訂 .. —^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) _ 經濟部t央樣準局員工消費合作、社印袋 經濟部中央棣準局貝工消費合作衽印製 A7 B7 五、發明説明(7 ) 現在’使發光部份13相對於透鏡π移動時,或選擇性啓 動許多發光元件發光時,變成可選擇性確定照明角度及照 明角度分布。以此方式,變成可選擇適當之照明(例如一 種將會在自觀測部份3a所將讀出者與其周固背景之間產生 高對比之照明),以便獲得最佳影像。 在最近幾年,由於薄膜技術及半導體之照相曝光技術上 之進步,人們愈來愈多利用在基片上所形成之圖案,其具 有對照明光在規定方向導致高度漫射之光學特徵。特别是 ,實例包括在半導體晶圓,供液晶之玻璃基片,陶瓷材料 ,及樹脂基片上所形成之圖案諸如電路及字母等。就此點 而言,用光在規定方向照明此等圖案,藉以可在進行觀測 時獲得高度對比。因之,調整照明方向匹配规定方向者, 便可獲得具有高度對比之影像。 而且,使發光部份13移動或選擇發光元件之數,藉以可 微調照明角度及照明角度分布。例如,可容易在亮場照明 與暗場照明之間切換,並且也可容易產生平行光,會聚光 ,發散光等。再者,變成可將來自許多照明角度之光合併。 以此方式’變成可根據物體3之光學特徵進行最佳照明 。現在,在物體3之光學特徵由於製造過程中之不規律等 而有大型不規律之情形,可能無法根據一種較佳照明狀崎 行適當觀測’但仍可藉在許多照明狀況之間切換而進行觀 測。因之,不必進行先前技藝照明裝置所需之耗費時間 種種光學調整。 附圖之簡要 I---------if 裝------* 訂 — -------^---« (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) S13626 A7 •_____ _B7 五、發明説明(8 ) 圖1爲示本發明原理之圖。 圖2爲示本發明另一種配置之原理之圖。 圖3爲本發明第一實施例之略圖。 圖4爲本發明第二實施例之略圈。 圖5爲本發明第三實施例之略圖。 圖6爲一使用微電腦控制圖5之裝置之控制裝置,其一 種實例之方塊圖。 圖7爲本發明第四實施例之略圖。 圖8爲本發明第五實施例之略圖。 圖9爲本發明第六實施例之略圖。 圖10爲本發明第七實施例之略圖。. 圖11爲示光閘之透明部份,其實例圖案之圖。 圖12爲示考閘之違明部份,其另一實例圖案之圖。 圖13爲本發明第八實施例之略圖。 較佳實施例之詳細説明 請參照附圖,現將説明本發明之第一至第八實施例。 第一實施例 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 圖3示根據本發明第一實施例之照明裝置,其中該照明 裝置用於一供在基片頂部讀出識别記號之判讀裝置。如圖 3中所示,一物體3 (半等體晶圓或類似者〉有識别記號 設於其觀測部份3a,並且來自照明裝置,照至此觀測部份 3a之光自其反射,並經由攝影機透鏡4導至攝影機5。來 自攝影機5影像資訊輸入影像處理裝置7,其處理此資訊 ,並將已處理之影像信號(或未處理之影像信號)輪出至 本紙張尺度適用中國國家裸準(CNS ) A4規格(2丨0X297公釐) A7 B7 經濟部中央樣準局員工消費合作社印聚 五、發明説明(9 ) 顯示裝置9,諸如CRT或類似裝置,其依據此等已處理之影 像信號顯示影像。 照明裝置1裝備有一由薄凸透鏡π,可在凸鏡n之焦點 酎近自由移動之發光部份13,供驅動發光部份〗3之發光驅 動裝置15,及供控制發光驅動裝置之發光控制部份丨了所 構成之光學元件。至於發光部份13之位置配置,則不一定 必須在透鏡11之焦點附近。 透鏡η由一固定至照明裝置〗之底座21之透鏡座19所固 持。發光部份13經由一托座14設於一活動台23上,活動台 23螺接至一滾珠螺桿25。滾珠螺桿25設於一台框架27,俾 在-與凸透鏡11之絲正交之方向延伸。—有刻度控制旋 紐29設於滾珠螺桿25之-端,供控制活動台之位置,從 而轉動控制旋紐29便使活動台23沿滚珠螺桿25移動。亦即 ’台23所移至之位置,係由㈣旋㈣在順鐘向或逆鐘向 轉動之次數所決定。台框架27固定在活動台31。活動台幻 螺接至-滾珠螺桿33,其設於—固定至底座21之台框架奶 。滚珠螺桿33在—錢之絲平行之方向延伸,並且 j刻度㈣旋鈕37設麵珠螺桿33之—端,供控制活動 :德置,從而可使發光部份13在光轴之方向移動。現 乙在=構造,可操作控制旋紐29,_以分别使活動 動。不過’也可利用馬達,馬達驅動器及馬達 W制器控制雜台23,31之位置,代替此二控制旋㈣, 至於發光部份13,可_熟知之燈諸Μ燈及自素燈。 -11 - 本紙張尺度適用中國國家棣準 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Λί 訂 A〆 S1S626 A7 B7 五、發明説明(10 ) 經濟部中央檩準局員工消費合作杜印製 不過,可供發光部份13使用之光源類型並無限制,可使用 任何適當發光裝置,諸如LED或類似裝置。也可使用光導 元件諸如光纖之端部。 發光堪動裝置15堪動發光部份13,並依據來自發光控制 部份17之指令,切換發光部份13卯或〇!7,並調節自其所 發出之光強度。發光驅動裝置15可例如採用托座14,作爲 -可固持發光部份13及發光_裝置15之電路之電路底座 。而且,可儲存來自—感測器之檢測値或供給希望之照明 強度所需之功率量,藉以增進在相同強度複現照明光之能力 〇 發光控制部份17裝備有-控制旋紐及—開關或類似裝備 ,、供調節照明強度,及供轉變發光部份13训或〇吓,以及 依據此旋益及關之㈣,發紐制部份17控制發光堪動 裝置15。 而且’也可將—活動掩蔽板(圖3中未示)設置在透鏡 11與發光細3之間。在此情形,活動掩蔽板目定至活動台 23 ’俾與發光部份13一起移動,並設有—孔捏或針孔,以 允許來自發光料13之光,或絲自其之光之—部份到達 透鏡11 ”X此方式,可造成較明確之照明角度,供照明光 照在物體3之觀測部份3a。 現在,在上列構造,照明裝置1係予設置爲致使透鏡11 之光軸相對於觀測部份3咐線形成一角度θ,而攝影機 設置在反射光線之路#上。如时之斷騎示,發光部份 13位於沿透鏡π之光㈣,便存在亮場卿。如果轉動旋 12 vn m^i · ~《装-- (請先閏讀背面之注意事項再填寫本頁} 訂.
A 表紙張尺度適用中國國家揉準( CNS)Α4 規 A7 B7 Μ Μ . , ,----- I. _ 五、發明説明(η ) 鈕29,發光部份13便沿滾珠螺桿25移動,從而使照明自亮 場照明改變至暗場照明。此時,因爲亮場之光線通常強於 暗場之光線,故調整開關及發光控制部份17之類似裝置, 藉以可減少亮場光線與暗場光線間之差異,並且這使得可 進行甚至更容易之觀測。 轉動旋紐37,也藉以可改變發光部份13沿透鏡η之光輛 之位置。就此點而言,發光部份13位於靠近速鏡11時,退 出遠鏡Π之光將會發散,如果發光部份13位於透鏡〗〗之焦 點,退出透鏡11之光則將爲平行。而且,如果發光部份自 透鏡移開經過此焦點,退出透鏡丨丨之光將會匯聚。 如以上所述,改變發光部份13之位置,變成可改變照明角 度及照明角度分布,並且這使得可在觀察顯示裝置9時進 行調整,藉以獲得具有甚至更高對比之影像。 在調整後,來自攝影機5之影像信號輸入影像處理裝置 7,在此處使用熟知之方法識别影像,然後藉顯示裝置9顯 示讀出結果。以此方式,改變物體3,藉以可讀出任何數 物體3之觀測部份3a上之識别記號。 經濟部中夬榡隼局負工消費合作社印製 装丨 (碕先閱效背面之注意事11再填窝本頁j 雖然滚珠螺桿25在上列實施例係予説明爲設置成平行於 透鏡11之焦平面,但滚珠螺桿25也可設置爲與此焦平面成 一角度。在此情形,活動台23移動時,依活動台23之位置 而定,照於觀測部份3a之光將爲發散,匯聚或平行。而且 ,以滾珠螺椁25或滾珠螺桿33用作爲軸,可構成一可旋轉 發光部份13。再者’發光部份13不限於如在上列實施例中 所述,沿二軸向移動,發光裝置也可構造爲致使發光部份 -13 -
A7 ___B7 _ 五、發明説明(l2 ) 能在三軸向移動。以此方式,可獲得甚至更寬之照明角度 範固’及甚至更寬之匯聚或發散照明範圍。 在本實施例,因爲可使發光部份13在與透鏡Π之光軸十 行及垂直之方向移動,故照至透鏡11之光量很少損失。例 如,如果發光部份13經歷樞轉式運動而非本實施例所述之 平行運動,向透鏡Π所發出之光將會改變方向,並且這將 會導致減少進入透鏡11之光量。特别是,因爲發光部份13 與透鏡11間之空間通常如下文所述被一遮光罩所覆蓋,故 如發光部份13經歷樞轉運動,被遮光罩所散射之光比例將 會增加,導致進入透鏡11之光減少。輿此對照而言,在本 實施例,進入違鏡11之光量很少損失,並可改變照明角度 。亦即,發光部份較佳爲能如圖3中所示平行移動。就此 點而言,圖4,5,8,9,10中所示之諸實施例能達到 相同之結果。 而且,即使滾珠螺桿25及33在本實施例用以分别使活動 台23,31移動,本發明也不限於此種構造,並且也可使用 壓電致動器,音圈致動器,氣缸或類似者,或旋轉致動器 〇 經濟部中央橾準局負工消費合作社印裝 jr丨 ^装丨丨 C#先閱讀背面之注意事項存填寫本貰) 再者,雖然在附圖中未示,但整個裝置,不包括造鏡11 之照明侧,可被遮光罩覆蓋,以防止外面光之干擾。 第二實施例 圖4示一根據本發明第二實施例之照明裝置。在此實施 例,物體3設置爲垂直於透鏡11之光軸,此對應於圖2中 所示之原理。如圖4中所示,進行與以上就第一實施例所 -14 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(210X 297公釐) 經濟部中央梯準局員工消驚合作枉印製 A7 ________ B7 五、發明説明(13 ) 述元件相同功能之諸元件,係以相同參考數字指示。 不過’此實施例使用-半鏡41,其在發光部㈣與凸造 鏡之間設置爲相對於透鏡11之光轴成45度角。 在圖4中所示之構造’自物鱧3所反射之光被半鏡41反 射至攝影機遠鏡4 ’從而影像顯示在顯示裝置9上。現在, 如果轉動旋鈕,托座14便在水平方向移動,這使得可達成 亮場照明或暗場照明,並且根據物體3之光學特徵,可藉 調整發光部份13之位置而獲得高對比影像。 利用本實施例,因爲自物體3所發射之光依循在相反方 向之光徑,故可構成一輕巧之照明裝置。 I三實施例 圖5爲略圖,示根據本發明之照明裝置之第三實施例。 在此實施例,一托座141容納許多發光部份131 (圖中示三 部份),並藉在諸發光部份131之間_切換而進行發光。發 光部份131,透鏡11,物體3及攝影機透鏡4間之關係, 爲與圖3中所示者相同。 在此實施例,一發光驅動裝置151進行發光部份131間之 切換操作,並依據來自發光控制部份171之指令,每一發 光部份131切換ON或OFF,並且調節自其所發出之光之強度 。就此點而,雖然該圖示發光驅動裝置151位於離開托座 141,但托座141也可作用如一容納發光部份131及發光驅 動裝置151之電路基片。 發光控制部份171裝備有控制器及開關,供切換每一發 光部份131 ON或OFF,及供調節自其所發出之光之強度, 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) --------【裝-- • 〆 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 五、發明説明(u A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 並且操作此等控制器及開關,藉以可控制光發射驅動装置 151 〇 對於發光部份131,可使用個别燈或LED之一種配置,或 者照明元件之一種集體配置諸如燈陣列,LED陣列或等離 子體顯示器。換言之,只要可使用發光驅動裝置151及發 光控制部份171個别切換每—元件卯或〇?7及調節來自其之 光之強度,可使用發光元件之任何配置。而且,在發光部 份131前面配置一掩蔽板或類似者,可限制進入透鏡”之 光線,藉以進行高對比觀測。 利用此種構造,操作一爲發光控制部份171所提供之開 關’可選擇-適當發光部份131,藉以改變照明角度。例 如,如果選擇圖5之中間發光部份131,將會產生亮場昭 明(如圖5中實線所示),如果選擇右端發光部份 則將會產生暗場㈣(如_ 5切換操作使得容易改變照明角斷從:丄。以:方式, 照明觀測部份3a之最適當照^度㈣變成可迅速找到供 就此點而言,照明部份]Ή、a 次-個或以二個或更多個之^不限於三。而且,可一 言,增加同時發光之發光部^使用照明部份。就此點而 變成能以各種照明角度照明〈數或發光部份之組合數, 換操作需費很少時間,故變成測部份3a,並且進行此等切 而且,照明部份131之配置可迅速找到最適當照明。 例如,可使用照明部份之随、限於圖5中所示之配置。 光軸或-相對於光軸成一角^置’ $可將諸照明部份沿 從^軸線配置,代替圖5中所—16 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格 :297公釐) — l··.— -^-----「裝 —I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、tT
A 3〇2 6 經濟部中央摞準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明(丨5 ) 示之沿單一軸線配置。 再者,雖然可手動進行發光控制部份171之操作,但也 可採用微電腦或類似裝置自動執行此等操作。圖6之方塊 圖示此情形之一種實例構造,其中將發光部份之適當模式 以及自其所發出供觀測預定物體3之光之強度儲存於微電 腦之圯憶體部份176,而微電腦I/O部份174經由繼電器, 電b曰體等’連接至發光控制部份之⑽開關部份172。 另外,一]3/A轉換器175連接至發光控制部份之光量調節部 份173’並且根據來自微電腦之操作者控制部份178之指令 ’可選擇適合進行觀測之幾種模式之一。 再者’提供自動輸送裝置用以輸送物體3,將自動輸送 裝置及攝影機5經由I/O部份174連接至影像處理裝置,並 提供外部同步供影像處理裝置,藉以變爲可構成一種自動 觀測系統。例如,在收到指示物體3已到達规定位置之信 號時’微電腦可操作記憶體部份176所儲存之很多程式之 一’以規定之照明角度及照明角度分布將物體3照明。然 後’在收到來自影像處理裝置,指示已讀出物體3之識别 記號之指令信號時,微電腦可中止判讀操作,並命令自動 輸送機輪送次一物體。 第四實名ϋ 圖7示根據本發明之照明裝置之第四實施例。在本實施 例,照明部份132採用至少一光纖束43 (光導无件)之端 部。在圖7中所示之實例,使用三照明部份132。照明部 份132固定至—照明部份托座45,並且光纖本43之另一端 -17 - 本紙張尺度適用中國國家樣準(CNS ) Α4規格(2!〇><297公釐) 裝! (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Λ A7 B7 經濟部中央椟準局員工消費合作社印製 五、發明説明(16 ) 連接至一由發光驅動裝置49所操作之發光元件47。一光閘部 份51設在一沿每一光纖束43之長度之特定位置,其有 光閘驅動裝置53所控制以開或關光纖路徑之光閘。發光控 制部份55連接至發光驅動裝置49及光閘驅動裝置53,俾控 制發光部份132之ΟΝ/OFF操作及光閘之開/關操作。 在本實施例之照明裝置,以透鏡11配置爲致使其光軸置 於相對於觀測部份3a之法線成一角度θ,並且將觀測者眼 睛或攝影機5在一沿照明裝置之光軸之位置設置在接收自 觀測部份3a所反射之光之侧面,便可藉以根據每—發光部 份132之位置,以規定之照明角度照明觀測部伶狀,並且這 使得可用肉眼或顯示裝置9進行觀測。而且,操作發先控 制部份55 ’可藉以切換每一發光部份132 ON或OFF,並且 逭使得可利用諸照明部份132單獨或以彼此之若干组合之 一進行照明。以此方式,可在不同之照明角度觀測觀測部份3a 〇, 在本實施例,囡爲發光部份132設於沿一與透鏡11之光 轴垂直之線,故自一發光部份132切換至另一發光部份時 ’進入透鏡11之光量很少減少。如以上就第一實施例所解 釋,如果光纖束之末端經歷樞轉運動,此種樞轉運動可能 導使被導向透鏡11之光改變方向,並且這可能導致進入透 鏡11之光量減少。而且,如果發光部份132與透鏡Π間之 空間被遮光罩所覆蓋,遮光罩所散射之光之比例將會增加 ,並且這也可能導致進入速鏡11之光量減少。因之’和圖 7中所示之實施例一樣,因爲光源之平行運動減少進入透 -18 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(21 ο X 297公釐) «m Kn nn utt 1 -^n. (請先閲讀背面之注^^項再填寫本頁) —^裝-------^訂 _ - II . I- -- ·
A 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 1—'~~-~—_____ _ 87 五、發明説明(17 ) '~~'~~~ =之光量少,故發光部份132難予崎M平行於透 f1。再者,如果光纖東之末端經歷樞轉運動,該束可能 在承受負載之特定部份斷裂。回應此問題,在此實施例, 光纖束之末端予以固定在定位,以便其不經歷任何運動, 這消除束可能斷裂之危險。 再者,可自圖7中所示之實施列免除光閑部份51,並在 其位置將發光元件設置在每―光纖束43之光接收端,然後 切換此等發光元細或_,藉以可切換每—發光部份132 ON或OFF。 圖8示根據本發明之照明裝置之第五實施例,此實施例 基本上爲第一實施例(圖3 )及第三實施例(圖5 )之组 合。亦即,圖5中所示之三發光部份131爲配置在圖3中 所示之活動台23上。現在,由於本實施例之其他諸元件爲 與圖3及5中所示者相同,故其以相同參考數字指示。 利用圖8之實施例,可選擇發光部份131之一或其组合 ’藉以改變發光部份131之位置,故可對照明角度進行甚 至更細微之調整。 圖9示根據本發明之照明装置之第六實施例。在照明裝 置之此實施例,一凸透鏡11由一固定至底座21之達鏡座19 所支承。底座21連接至一設有滚珠螺桿62之台框架61,並 且一可自由移動之活動台65設於滾珠螺桿62上。操作一台 位置調整旋鈕63 ,藉以使活動台65相對於台框架61移動。 -19 - 本紙張尺度適用中國國家揉準(CNS ) A4规格(2丨〇 X 297公釐) -----^ t! (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) — 丁 J-"m ^13626 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明(18 ) 一掩蔽板67固定至活動台65,其有一孔徑部份67a形成於 至少一位置,以允許光通過。而且,掩蔽板67設置於透鏡 Π之前焦點附近。一發光部份托座69設在底座2〗之上部, 其容納許多發光部份71。一供使發光部份71所發出之光漫 射之漫射板73在底座21設在一在發光部份71前面之位置。 發光部份71及漫射板73可包含任何允許進行表面照明之構 造。就此點而言,即使漫射板73並非一必不可少元件,但 將漫射板73設置在發光部份71輿掩蔽板67之間以進行表面 照明,可免除必須調整發光部份71與孔徑部份67A間之關 係0 發光部份71由一發光驅動裝置151予以操作,並且一發 光控制部份171連接至驅動裝置151,以控制發光部份71之 ΟΝ/OFF切換操作,並調整自其所發出之光之強度。 在本實施例之照明裝置,透鏡^設置爲致使其光軸置爲 相對於觀測部份3a之法線成一角度θ,並且觀測者眼睛或 攝影機5在一沿照明裝置之光軸之位置設置在接收自觀測 部份3a所反射之光之侧面。來自發光部份71之先在通過漫 射板73及孔徑部份67a後進入透鏡n。如果操作旋鈕㈤使 活動台65移動,將會使孔徑部份67a在透鏡π之焦平面以 内移動。亦即,如果孔徑部份67a與透鏡u之光軸對準, 退出透鏡11之光將爲平行,這將會產生亮場照明(如圖9 中實線所示),而如果孔徑部份67a位於離開光軸,將會 根據孔徑部份67a與光軸之距離,觀測部份3a以不同照明 角度予以照明,這將會產生暗場照明(如圖9中斷線所示 -20 - 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(21〇X297公釐) • 1 I nn IK f · (請先閑讀背面之注意事項再填寫本頁) ---『裝 訂 IV'---
A 經濟部中央榡準局員Η消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(19 ) )° 就此點而言,在掩蔽板67形成二或更多孔徑部份67a, 可以照明角度之一種组合照明觀測部份3a,並從而達成甚 至更適當之照明。而且,也可使掩蔽板67可沿透鏡〗〗之光 轴移動。再者,可在具有各種大小或形成在不同位置之孔 捏之許多掩蔽板之間切換。 第七實 圖1〇示根據本發明之照明裝置之第七實施例。在此實施 例,以一光閘代替圈9之掩蔽板。至於本實施例之其他諸 元件,輿圖9中所示者相同之諸元件將以相同參考數字指 示。 固定至底座21之光閘81設在透鏡π與漫射板73之間。 光閘81爲一包含轉移電極之光學元件諸如LCD,PLZT或類 似元件,有特定材料設在此等電極之間,並且在供給或中 斷電能諸如電壓電勢至電極間之至少—指定空間時,位於 其間之材料變爲遠明或不透明。就此點而言,提供一光閘 驅動器83以供給或中斷電能至光閘81之特定電極,俾造成 透明或不透明部份。而且,提供一光閘控制部份84,以命 令在光閘81造成特定之透明及不透明部份。 在此實施例,也可採用許多疊置之光閘81,以造成甚至 更佳阻斷光之能力。以此方式,防止光自光閘81之光阻斷 部份漏洩,藉以變成可在照明觀測部份3a時,獲得甚至 更高之對比。 現在,在使用LCD供光閘81之情形,’必須使用一有lcd之 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公度) -------^ 裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) τ* '?τ
A 3626 經濟部中央棵準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(20 ) 極性螢屏。然後,在觀測部份(例如直接在攝影機速鏡4 或觀測者眼睛前面提供再〜極性螢屏,藉以變成容易進行 光觀測。 在圖10中所示之實施例,每一結構元件固定至底座21, 俾使其位置固定,並且除了照明光退出遠鏡Π處之照明装 置之部份外,可用遮光罩覆蓋整個照明裝置,以消除外面 光之影響。 在本實施例之照明裝置,以透鏡11設置爲致使其光軸I 爲輿觀測部份3a之法線成〜角度0,並將觀測者眼睛或缉 影機在一沿照明裝置之光輛之位置,設置於接收自觀測部 份3a所反射之光之侧面,藉以可根據所造成之光閘81之違 明部份,以規定之照明角度照明觀測部份3a ,這使得可進 行觀測。 而且,操作光閘控制部份84在光閘81造成二或更多透明 部份,藉以可以照明角度之组合照明觀測部份3a,並從而 達成甚至更適當之照明。再者,可在光閘81之各規定位置 造成許多具有不同形狀之透明部份。 就此點而言’圖11(a)-11(1)示(以半色調點形式)光閘 81之造明部份81a之實例模式。可將此等模式儲存於說在 光閘控制部份84之模式記憶體部扮,然後,在需要規定之 模式時,可利用模式切換信號在此等所儲存之模式之間切 換光閘81之模式。 在此應該提及,圖11中所示透明部份81内之所有元件不 必均爲透明。例如,圖12示圖11(f)中所示模式之替代性 -22 - 本紙張尺度適用中國國家揉準(CNS ) A4規格(210 X 297公策) (請先閱读背面之注意事項再填寫表頁」 -訂—-
A A7 B7 _ _ — ____________________________ ___ 五、發明説明(21 ) 實施例,其中僅使光閘81之遂明部份内諸元件80之一部份 (例如50%)變成速明,如圖12之造明部份81t>,81c所示 ,藉以控制通過光閘之光量。作爲另一任意選擇,可根據 元件80在透明部份内之相對位稟,而改變其遠明度。 而且,在進行觀測時由於沿光軸照射之光量遠多於在其 他方向照射者而致亮度太大之情形’除了能調整光源之亮 度藉以減少此光量外,也可調整圖12中所示透明部份8lb ,81c之諸元件之透明度藉以減少此光量。 現在,在上述之實施例,光M81之每一元件基本上設計 爲在二狀態之任一狀態,亦即透明狀態及不透明狀態。然 而,以可予控制以調整所可通過之光量之元件構成光閘81 ,藉以變成可控制通過此等元件之光量,這使得可微調通 光閘81之光量。 因此,利用模式切換信號,可立即切換上述模式以匹 配所觀測物體之光學特徵。因此,無需如圖9中所示移動 或更換掩蔽板,這使得可達成甚至更大之觀測效率。 經濟部中央橾準局員工消費合作'杜印製 ----------f 裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
A 現在,在光閘81形成許多透明部份之情形,光源之位置 根據此等透明部份之大小而改變。例如,透明部份小如針 孔時,使光源位於光閘81之位置,透明部份大時,則使光 源位於漫射板73之位置。就此點而言,因爲先源之此等位 置改變可能使得難以調整照於觀測物體之光之照明角度, 故較佳爲漫射板73與光閘81間之距離”d"(請見圖)要 儘量小。 而且,即使在圖10中所示之實施例’將光閘81連同透鏡 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2丨〇X 297公釐) 313626 經濟部中央榡準局員工消費合作杜印製 A7 B7 -~~~-^ 五、發明説明() 或漫射板73安裝在可沿至少一運動轴線例如沿透鏡11之先 轴移動之活動台上,藉以使光閘81及速鏡11固定,也變成 可造成發射,匯聚及平行之光線。 再者,也可利用商用液晶投影機構成本實施例。在此情 形,使光閘81位於透鏡Π之焦點附近,以便以約略平行光 線照明觀測部份3a。而且,光閘不限於上述之電型光開, 也可使用機械型光閘或類似者。 第八f施例 圖13爲一利用根據本發明之照明裝置之條碼標簽裝置, 其主要部份之透鏡圖。在圖13中所示之條碼標簽裝置,讀 出半導體晶圓上之識别記號,然後將一與此等識别記號對 應之條碼加至下文所述之環形框架或帶。 如圖13中所示,將一半導體晶圓75安裝在一切割帶77上 面,切割帶77之周邊部份黏著至一環形框架79以供支撐晶 圓(此等元件在下文將稱作"工件")。另外,識别記號設 在半導體晶圓75上,並在環形框架79之外部在二規定位置 形成缺口 79a。 "工件"容納於一供給匣81内,並藉輸送裝置之夾頭臂或 類似裝置(圖中未示)將環形框架79—次一個安裝至一合 83。另外,台83有插銷83a設在規定位置,俾配合環形框 架79之缺口 79a。再者,許多與吸力裝置相通之小孔在台83 上形成在垂直方向,並且在”工件”已到達台83上之規定位 置後啓動此吸力裝置,藉以可利用其所產生之吸力使’’工 件”固定至台§3。另外,此吸力減少晶圓75之翹曲及類似 (碕先閲讀背*之注意事項再填寫本頁〕 ........I-- -i m ί^— · • Im fm _
IT tf^i tJT/β n vl«— 本-氏張尺度顧中賴家網^ (CNS) (21Gx297公董) 〜----- A7 B7 —__ 五、發明説明(23 ) 情況。 台83設在一χ-γ運動裝置上,其装備有旋轉裝置,以使 台83能繞其中心旋轉。此旋轉裝置不限於任何特定旋轉範 園,旋轉裝置例如可一次透轉9〇。至四角位置〇。,9〇。 ,180。及270〇 〇 現在,在台83已使安裝在其上之〃工件"移動至—供以 CCD攝影機5判讀之位置後’便讀出識别記號。就此點而 言,圖13另示一照明箱85,其容納一上述根據本發明第— 至第七實施例之任—實施例之照明裝置。亦即,調整照明 箱85内之照明裝置,以選擇適當之照明角度及照明角度分 布,以便獲得將會在識别記號75與其周圍部份之間造成高 對比之照明。此時,如果識别記號75a不在供攝影機5判可 讀之適當位置,可藉旋轉裝置旋轉台83或藉χ-γ運動裝置 使其移動,藉以調整其位置。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 現在,在照明光自晶圓75反射並進入CCD攝影機5後, 攝影機5輪出影像信號至影像處理裝置?供判讀字符 使識别記號75桃被讀出。然後,讀出絲發送至條碼列 印裝置87,在此處根據讀出結果(亦即識别記號7以〉, 藉-設於條碼列印裝置87之高速熱列印機或類似者,將條 碼列印至條碼標簽89,而自排出口 87a將條碼標簽89排出 。-條碼附加眞空夾頭_後固持棑出條碼料之列印面 。爲此目的,條碼附加眞空夾頭93連接至—眞空吸力軟 93a。然後,將"工件"送至條碼標簽附加位置(在本 亦即列印裝置87之位置),在此處操作堪動裝置91驅動條 -25 - 本紙張尺度適财_家鄉(CNS)丨規格(21Qx 297公羡) A7 3iS626 B7 五、發明説明(24 ) 碼附加眞空夾頭93,藉以將條碼標簽89附加至切割帶77或 環形框架79上之規定位置。就此點而言,可藉旋轉裝置旋 轉台83,或藉X-Y運動裝置使其移動,調整條碼標簽附 加位置。 已附加條碼標簽後,驅動一條碼判讀機95,並讀出附加 之標簽,其結果與來自影像處理裝置7之結果比較,看看二 結果是否彼此匹配,如果其不匹配,則重覆上列過程,以 發出並附加另一條碼標簽。 匹配一經證實,便將"工件"輸送至容納匣97並容納於其 内。可代之爲使"工件”回至原來之供給匣81 (如圖13中斷 線箭頭所示)。 使用上述條碼標簽裝置,可進行自動過程,供將半導體 晶圓上之識别標記轉換爲條碼。到目前爲止,係藉直接目 視觀測或藉判讀機讀出晶圓等上之識别記號,並且因爲判 讀機通常導致較高成本,此等成本使得難以設置判讀機供 在每一製造步驟使用。因此,就製造半導體晶圓之處理步 驟自動化而言,到目前爲止極難達成自動判讀。 就此點而言,使用如以上所述之條碼附加裝置,變成可 將此等識别記號轉換爲條碼,而容易讀出半導體之識别記 號,這復使得可規劃以後諸過程之自動化。例如,變成可 進行供组裝過程之CIM(電腦整合製造),構成供管理每 一晶片1C之測繪系統,構成供管理晶圓批資料之系統等, 這導致大爲提升生產力。而且,在如上述之條碼標簽裝置 提供根據本發明之照明裝置,可提供最適當之照明供半導 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 2.97公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央揉準局員工消費合作社印製 _______________f 裝------"訂 —------^---,--1 . 313626 A7 B7__ 五、發明説明(25 ) 體晶圓,並且使用此照明裝置使得可準確讀出晶圓上之識 别記號。當然,上述條碼標簽裝置不限於供半導體晶圆使 用,可使用此條碼標簽裝置供將自絶緣基片,諸如破璃, 陶瓷等讀出之模式及記號轉換爲條碼。 根據本發明之照明裝置不限用於條碼標簽装置,通常可 在很多不同裝置利用本發明之照明裝置。例如,根據本發 明之照明裝置可用於字符判讀裝置,圖案測量裝置,及其 他辨識装置及測量裝置,其中照明裝置用以照明物體,以 便可依據照明光通過該物體或自其反射,而讀出資訊。 通常,根據本發明之照明裝置使得可容易進行照明角度 及照明角度分布之微調。換言之,本發明使得可容易造成 許多照明角度,並造成發散,匯聚及平行照明光。因此, 除了大爲消除先前技藝觀測裝置之光學系統爲應付在觀剛 物體之製程等期押發生之光學特徵分散等所需之麻煩調整 外,根據本發明之照明裝置也使得可容易確定供照明觀測 物體之最適當照明狀況。再者,即使在一種觀測狀況下, 由於觀測物體之光學特徵上之很大分散,而難以進行觀測 之情況,預先檢查很多照明狀況,作業員很少費力,便可 容易在此等照明狀況之間切換。 而且,要以先前技藝照明裝置改變照明角度,必須調整 很多元件,諸如發光部份,光學系統,物體,攝影機等。 然而,利用本發明之照明裝置,只要調整發光部份,便可 改變照明角度等,並且此等調整可很容易及迅速實施。 此外,將根據本發明之照明裝置與—供輸迭觀測物體之 -27 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) if 裝丨 -訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 t- -1» In · 本紙張尺度適用中國國家操準(CNS〉A4規格(η〇Χ297公釐〉 A7 B7 五、發明説明(26 ) 自動輸送装置結合,可容易造成一種自動觀測裝置,並且 也可使用各種辨識裝置或測量裝置,諸如字符判讀裝置或 圖案測量裝置,作爲一種可自攝影機接收輸出之影像處理 裝置。 裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 is .II -- - - 1.......1 - ^ II 1-»--« 1··_ - I . 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(210 X 297公釐)
Claims (1)
- 修正之申請專利辑圍f文本(共I3項)-附件二 Amended Claims in Chinese - Enel. IT ~ ψΓό η ^ηβίΚ)~~ (Submitted on : 9,1997) 313626 as B8 C8 D8 六' 申請專利範圍 ROC 1. 一種供將物體照明以觀察形成於物體之圖案之照明裝置,包含: 一發光裝置; 一光學元件;以及 一活動裝置,供使發光裝置相對於光學元件移動,俾 改變照明角度。 _ 2. 根據申請專利範圍第1項之照明裝置,其中活動裝置能 在一與光學元件之焦平面平行之方向移動。 3. —種供將物體照明以觀察形成於物體之圖案之照明裝置,包含·· --光學元件;以及 許多發光裝置,位於相對於光學元件之不同位置,諸 發光裝置係予選擇性啓動發光。 4. 根據申請專利範圍第1項之照明裝置,其中活動裝置能 沿至少一軸線移動。 5 ·根據申請專利範圍第4項之照明裝置,其中發光裝置包 含許多發光部份。 6. 根據申請專利範固第5項之照明裝置,另包含一選擇裝 置,供選擇一個或多個發光部份予以啓動發光。 7. 根據申請專利範圍第1項之照明裝置,其中發光裝置包 含光導元件之發光端部d 8. 根據申請專利範圍第3項之照明裝置,其中許多發光裝 置包含光導元件之發光端部。 9. 根據申請專利範圍第1項之照明裝置,其中發光裝置設 置在光學元件之前焦平面附近。 10. 根據申請專利範圍第3項之照明裝置,其中許多發'光 -29 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(210X297公釐} --------_01_ (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ « 經濟部中央標率局員工消費合作社印製 朱1足 ,.Γ 遍於|_祕1_|11|'·. 313626 A8 B8 C8 D8々、申請專利範圍 裝置設置在光學元件之前焦平面附近。 让一種供將物體照明以觀察形成於物體之圖案之照明裝置,包含: 一發光裝置; 一光學元件; 一掩蔽板包括至少一孔徑部份,該掩蔽板設置在發光 裝置與光學元件之間;以及 . — 一活動裝置,供使掩蔽板相對於光學元件移動,俾改 變照明角度。 汉一種供將物體照明以觀察形成於物體之圖案之照明装置,包含: 一發光裝置; 。 一光學元件; 一光閘設在發光裝置與光學元件之間;以及 一驅動裝置供驅動光閘。 议一種藉一具有發光裝置,光學元件及供改變照明角度或照 明角度分布之裝置之照明裝置照明物體以自形成於一物體 上之物體圖樣讀取資訊之方法,.包含下列步驟: 以來自發光裝置之照明光將物體照明; 依據光通過該物體或自其反射而讀取物體上之資訊。 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(210X297公釐)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10040095 | 1995-03-31 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW313626B true TW313626B (zh) | 1997-08-21 |
Family
ID=14272941
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW085103444A TW313626B (zh) | 1995-03-31 | 1996-03-22 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5923020A (zh) |
EP (1) | EP0735361B1 (zh) |
KR (1) | KR100388186B1 (zh) |
DE (1) | DE69636183T2 (zh) |
MY (1) | MY116648A (zh) |
SG (1) | SG55109A1 (zh) |
TW (1) | TW313626B (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI682163B (zh) * | 2014-05-15 | 2020-01-11 | 新加坡商億美視覺私人有限公司 | 用於檢查眼用透鏡的系統與方法 |
Families Citing this family (52)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69636183T2 (de) * | 1995-03-31 | 2007-03-29 | Lintec Corp. | Vorrichtung zur Prüfung von Halbleitersubstraten |
US6166375A (en) * | 1996-10-08 | 2000-12-26 | Psc Scanning, Inc. | Offset optical axes for bar code scanner |
DE19739328C2 (de) | 1997-09-09 | 1999-07-01 | Melzer Maschinenbau Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen von Kunststoffkartenoberflächen |
JPH11183389A (ja) * | 1997-12-18 | 1999-07-09 | Lintec Corp | 観測装置 |
DE19917082C2 (de) * | 1999-04-15 | 2003-07-03 | Siemens Ag | System zur Erkennung von Markierungen auf spiegelnden Objektoberflächen |
US6557764B1 (en) * | 1999-08-12 | 2003-05-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method and apparatus for illumination control to increase the manufacturing yield for a bar code and position reference reader in a mass storage auto-changer |
US7107712B2 (en) | 2000-06-06 | 2006-09-19 | Christine Ann Mueller | Lighting system |
JP2002014057A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Nidek Co Ltd | 欠陥検査装置 |
DE10133993A1 (de) * | 2001-07-12 | 2003-01-23 | Leica Microsystems | Einstellmodul für die Beleuchtungsvorrichtung eines optischen Gerätes |
DE10155142C2 (de) * | 2001-11-12 | 2003-09-04 | Friz Biochem Gmbh | Dunkelfeld-Abbildungsvorrichtung zur ortsaufgelösten Dunkelfeldabbildung einer flächigen Probe |
JP3973659B2 (ja) * | 2002-05-31 | 2007-09-12 | オリンパス株式会社 | マクロ照明装置 |
US20050122509A1 (en) * | 2002-07-18 | 2005-06-09 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Apparatus for wafer inspection |
US7823789B2 (en) | 2004-12-21 | 2010-11-02 | Cognex Technology And Investment Corporation | Low profile illumination for direct part mark readers |
US9070031B2 (en) | 2003-10-24 | 2015-06-30 | Cognex Technology And Investment Llc | Integrated illumination assembly for symbology reader |
US7874487B2 (en) * | 2005-10-24 | 2011-01-25 | Cognex Technology And Investment Corporation | Integrated illumination assembly for symbology reader |
US7604174B2 (en) * | 2003-10-24 | 2009-10-20 | Cognex Technology And Investment Corporation | Method and apparatus for providing omnidirectional lighting in a scanning device |
US9536124B1 (en) | 2003-10-24 | 2017-01-03 | Cognex Corporation | Integrated illumination assembly for symbology reader |
US7823783B2 (en) | 2003-10-24 | 2010-11-02 | Cognex Technology And Investment Corporation | Light pipe illumination system and method |
US20070103581A1 (en) * | 2003-11-14 | 2007-05-10 | Sick, Inc. | Scanning imaging system and method for imaging articles using same |
US7086756B2 (en) * | 2004-03-18 | 2006-08-08 | Lighting Science Group Corporation | Lighting element using electronically activated light emitting elements and method of making same |
US7824065B2 (en) * | 2004-03-18 | 2010-11-02 | Lighting Science Group Corporation | System and method for providing multi-functional lighting using high-efficiency lighting elements in an environment |
US7215086B2 (en) * | 2004-04-23 | 2007-05-08 | Lighting Science Group Corporation | Electronic light generating element light bulb |
US7367692B2 (en) * | 2004-04-30 | 2008-05-06 | Lighting Science Group Corporation | Light bulb having surfaces for reflecting light produced by electronic light generating sources |
US7319293B2 (en) * | 2004-04-30 | 2008-01-15 | Lighting Science Group Corporation | Light bulb having wide angle light dispersion using crystalline material |
US7617984B2 (en) | 2004-12-16 | 2009-11-17 | Cognex Technology And Investment Corporation | Hand held symbology reader illumination diffuser |
US9292724B1 (en) | 2004-12-16 | 2016-03-22 | Cognex Corporation | Hand held symbology reader illumination diffuser with aimer optics |
US20070125863A1 (en) * | 2005-12-05 | 2007-06-07 | Jakoboski Timothy A | System and method for employing infrared illumination for machine vision |
DE102005061834B4 (de) * | 2005-12-23 | 2007-11-08 | Ioss Intelligente Optische Sensoren & Systeme Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum optischen Prüfen einer Oberfläche |
JP2008014697A (ja) * | 2006-07-04 | 2008-01-24 | Nikon Corp | 表面検査装置 |
JP4306741B2 (ja) * | 2006-07-20 | 2009-08-05 | 株式会社デンソーウェーブ | 光学情報読取装置 |
JP4307470B2 (ja) * | 2006-08-08 | 2009-08-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、試料加工方法及び半導体検査装置 |
US7766526B2 (en) * | 2006-09-13 | 2010-08-03 | Isky Panel Systems, Inc. | Illumination system |
JP5266236B2 (ja) | 2006-10-20 | 2013-08-21 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | サンプル抽出および取り扱いのための方法および装置 |
US8455821B2 (en) | 2006-10-20 | 2013-06-04 | Fei Company | Method for S/TEM sample analysis |
KR100867520B1 (ko) * | 2007-04-23 | 2008-11-07 | 삼성전기주식회사 | 결상 렌즈 및 그 제조 방법 |
FR2931295B1 (fr) * | 2008-05-13 | 2010-08-20 | Altatech Semiconductor | Dispositif et procede d'inspection de plaquettes semi-conductrices |
KR20100002829A (ko) * | 2008-06-30 | 2010-01-07 | 삼성테크윈 주식회사 | 실물 화상기용 조명 장치 및 이를 구비하는 실물 화상기 |
HUP0900142A2 (en) * | 2009-03-06 | 2010-10-28 | 3Dhistech Kft | Method and arrangement for dark-field and bright-field digitalization of sample with or without visible dyestuft in transmitted light |
JP2011095070A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-05-12 | Hst Vision Corp | 照明装置および照明システム |
EP2524575B1 (en) * | 2010-01-15 | 2019-05-08 | Signify Holding B.V. | Method and system for 2d detection of localized light contributions |
US9146156B2 (en) * | 2011-06-29 | 2015-09-29 | Kla-Tencor Corporation | Light source tracking in optical metrology system |
DE102011052802B4 (de) * | 2011-08-18 | 2014-03-13 | Sick Ag | 3D-Kamera und Verfahren zur Überwachung eines Raumbereichs |
US8901831B2 (en) | 2012-05-07 | 2014-12-02 | Lighting Science Group Corporation | Constant current pulse-width modulation lighting system and associated methods |
JP6205780B2 (ja) * | 2013-03-27 | 2017-10-04 | 凸版印刷株式会社 | 照明装置及び検査装置 |
KR101405227B1 (ko) * | 2013-04-02 | 2014-06-10 | 현대자동차 주식회사 | 컨베이어 라인의 속도측정장치 |
US9464788B2 (en) * | 2013-08-16 | 2016-10-11 | Lighting Science Group Corporation | Method of assembling a lighting device with flexible circuits having light-emitting diodes positioned thereon |
US9557015B2 (en) | 2013-08-16 | 2017-01-31 | Lighting Science Group Corporation | Lighting device with flexible circuits having light-emitting diodes positioned thereupon and associated methods |
DE102013216774A1 (de) * | 2013-08-23 | 2015-02-26 | Robert Bosch Gmbh | Projektorvorrichtung, Überwachungsvorrichtung, Verfahren mit der Überwachungsvorrichtung sowie Computerprogramm |
DE202013104836U1 (de) | 2013-10-29 | 2014-01-30 | Foseco International Limited | Speiseraufbau |
JP5866586B1 (ja) | 2015-09-22 | 2016-02-17 | マシンビジョンライティング株式会社 | 検査用照明装置及び検査システム |
US10210625B2 (en) * | 2015-10-30 | 2019-02-19 | Industrial Technology Research Institute | Measurement system comprising angle adjustment module |
US10509931B1 (en) | 2018-07-03 | 2019-12-17 | Hand Held Products, Inc. | Methods, systems, and apparatuses for scanning and decoding direct part marking indicia |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3617759A (en) * | 1968-04-03 | 1971-11-02 | Martin Tracker Corp | Electrooptical measuring system |
US3757125A (en) * | 1970-12-26 | 1973-09-04 | Mitsubishi Electric Corp | Optical tracking apparatus |
US3860935A (en) * | 1973-12-19 | 1975-01-14 | Honeywell Inc | Auto focus camera |
US3970841A (en) * | 1974-11-25 | 1976-07-20 | Green James E | Method and apparatus for dual resolution analysis of a scene |
DE3242219C1 (de) * | 1982-11-15 | 1984-02-16 | Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch | Optisches Markenerkennungsgeraet |
JPS59119246A (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 被検査物照明装置 |
US4585315A (en) * | 1984-11-13 | 1986-04-29 | International Business Machines Corporation | Brightfield/darkfield microscope illuminator |
JPS6211133A (ja) * | 1985-06-24 | 1987-01-20 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 表面検査装置 |
JPS63256841A (ja) * | 1987-04-14 | 1988-10-24 | Hitachi Ltd | 透過照明方法 |
US4805175A (en) * | 1987-12-03 | 1989-02-14 | Metrologic Instrumetns, Inc. | Ultra-compact, hand-held laser scanner |
DE3905481C2 (de) * | 1988-02-23 | 2003-01-09 | Sony Corp | Verfahren und Vorrichtung für optischen Datenverkehr |
US5374817A (en) * | 1988-05-11 | 1994-12-20 | Symbol Technologies, Inc. | Pre-objective scanner with flexible optical support |
US5280161A (en) * | 1988-11-18 | 1994-01-18 | West Electric Company, Ltd. | Apparatus for optically reading a bar code |
US4893223A (en) * | 1989-01-10 | 1990-01-09 | Northern Telecom Limited | Illumination devices for inspection systems |
US5077640A (en) * | 1990-08-13 | 1991-12-31 | Butler Jr C Tyler | Photographic lighting apparatus |
US5185638A (en) * | 1991-04-26 | 1993-02-09 | International Business Machines Corporation | Computer controlled, multiple angle illumination system |
US5350909A (en) * | 1992-10-14 | 1994-09-27 | International Business Machines Corp. | Optical scanner for bar code scanning |
US5479011A (en) * | 1992-12-18 | 1995-12-26 | Spectra-Physics Scanning Systems, Inc. | Variable focus optical system for data reading |
JPH06317532A (ja) * | 1993-04-30 | 1994-11-15 | Kazumi Haga | 検査装置 |
US5463213A (en) * | 1994-05-03 | 1995-10-31 | Honda; Takafaru | Code mark reader |
DE69636183T2 (de) * | 1995-03-31 | 2007-03-29 | Lintec Corp. | Vorrichtung zur Prüfung von Halbleitersubstraten |
-
1996
- 1996-03-22 DE DE69636183T patent/DE69636183T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-03-22 TW TW085103444A patent/TW313626B/zh not_active IP Right Cessation
- 1996-03-22 EP EP96104612A patent/EP0735361B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-03-23 MY MYPI96001102A patent/MY116648A/en unknown
- 1996-03-26 US US08/621,694 patent/US5923020A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-03-27 SG SG1996006435A patent/SG55109A1/en unknown
- 1996-03-30 KR KR1019960009609A patent/KR100388186B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1999
- 1999-07-12 US US09/352,324 patent/US6286969B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI682163B (zh) * | 2014-05-15 | 2020-01-11 | 新加坡商億美視覺私人有限公司 | 用於檢查眼用透鏡的系統與方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0735361A2 (en) | 1996-10-02 |
KR100388186B1 (ko) | 2003-09-19 |
EP0735361B1 (en) | 2006-05-31 |
KR960035949A (ko) | 1996-10-28 |
US6286969B1 (en) | 2001-09-11 |
DE69636183D1 (de) | 2006-07-06 |
US5923020A (en) | 1999-07-13 |
SG55109A1 (en) | 1998-12-21 |
MY116648A (en) | 2004-03-31 |
DE69636183T2 (de) | 2007-03-29 |
EP0735361A3 (en) | 1998-06-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW313626B (zh) | ||
JP3657694B2 (ja) | 照明装置 | |
TWI237744B (en) | Level sensor for lithographic apparatus | |
US8029149B2 (en) | Illumination for projecting an image | |
TW201211703A (en) | Exposure apparatus and light source device | |
WO2006100857A1 (ja) | 照明装置 | |
TW200921083A (en) | Lithographic apparatus and device manufacturing method | |
CN102362223A (zh) | 光学成像写入系统 | |
TW200424792A (en) | Lithographic apparatus and device manufacturing method | |
JP2009139333A (ja) | マクロ検査装置、マクロ検査方法 | |
JP2009021618A (ja) | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | |
KR20160025441A (ko) | 묘화 장치 | |
CN110209017A (zh) | 图案形成装置、对齐标记检测方法和图案形成方法 | |
TW500967B (en) | Automatic exposure function testing device of digital camera | |
US6967708B1 (en) | Pattern transfer device using PC projector | |
US8243134B2 (en) | Optical reader capable of changing the incident angle of dark field illumination | |
JP2009186728A (ja) | ビデオマイクロスコープおよび観察用アダプタ | |
CN108803243A (zh) | 一种数字投影3d成型装置 | |
TW535007B (en) | Position adjusting device for optical device, method for adjusting position of optical modulating device, and its initial position adjusting clamp | |
JP2003207718A (ja) | 顕微鏡装置 | |
TW201107891A (en) | Light irradiation apparatus for exposure apparatus, exposure apparatus, and exposure method | |
EP0637780A1 (en) | Exposure apparatus for photolithography | |
KR100263325B1 (ko) | 가상 광축을 이용한 노광 방법 | |
TW461972B (en) | Electronic switch type off-axis illumination blade for stepping illumination system | |
KR20010076579A (ko) | 갭 센서 및 얼라인 카메라가 일체로 된 노광기 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees |