KR960018698A - 전극기판, 그 제조방법 및 이를 사용한 표시장치 - Google Patents

전극기판, 그 제조방법 및 이를 사용한 표시장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 액정표시장치에 사용되는 표시장치용 전극기판 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 이 표시장치용 전극기판은 절연기판상에 매트릭스사으로 배열된 복수의 화소전극과, 이 화소전극에 전기적으로 접속되며 복수의 배선패턴에 의해 형성되는 소정의 전극배선을 구비하고 있으며, 이 전극배선은 도전성을 갖는 부재에 의해 형성되는 제1배선패턴 및 이 제1배선패텀과 동일 평면상에 위치하고, 제1배선패턴과 동일부재에 의해 형성되는 제2배선패턴을 갖는 제1도체층과, 제1배선패턴의 일부에 적층되며 도전성을 갖는 부재에 의해 형성되는 제3배선패턴 및 제3배선패턴이 적층되어 있지 않는 제1배선패턴 외의 일부, 제2배선패턴 및 제1배선패턴과 제2배선패턴의 경계영역에 적층되며 제3배선패턴과 동일부재에 의해 형성되는 제4배선패턴을 갖는 제2도체층을 구비하고 있으며, 또한 제1배선패턴과 제2배선패턴과의 경계영역에는 일련의 제4배선패턴이 적층되며, 제3배선패턴이 제4배선패턴과의 경계영역의 베이스에는 일련의 제1배선패턴이 형성되어 있어서 가령 제1배선패턴과 제2배선패턴과의 경계영역 및 제3배선패턴과 제4배선패턴과의 경계영역에 단선 등의 배선불량이 발생해도 각각 제4배선패턴 또는 제1배선패턴이 길기 때문에 전기배선자체의 단선 등 배선불량이 경감되는 것을 특징으로 한다.

Description

전극기판, 그 제조방법 및 이를 시용한 표시장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1A도는 대형 기판을 노광하기 위한 세그먼크 노광공정을 설명하기 위한 개략적 평면도.
제2B도는 세그먼트 노광에 의해 형성되는 하나의 전극배선의 노광상을 나타낸 평면도.
제1C도는 제1B도에 표시된 노광상에 따라 형성되는 배선패턴을 나타낸 평명도.
제2도는 본 발명의 하나의 실시예에 따른 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 개략적으로 나타낸 평면도.

Claims (30)

  1. 도전성을 갖는 부재에 의해 형성되는 제1배선패턴과, 이 제1배선패턴과 동일 평면상에 위치하고 제1배선패턴과 동일 부재에 의해 형성되는 제2배선패턴을 갖는 제1도체층; 및 상기 제1배선패턴의 일부에 적층되고 도전성을 갖는 부재에의해 형성되는 제3배선패턴과, 이 제3배선패턴이 적층되어 있지 않은 상기 제1배선패턴의 다른 일부, 상기 제2배선패턴 및 상기 제1배선패턴과 제2배선패턴과의 경계영역에 적층되며, 상기 제3배선패턴과 동일 부재에 의해 형성되는 제4배선패턴을 갖는 제2도체층을 구비하는 것을 특징으로 하는 전극기판.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1도체층이 평탄한 절연성 기판상에 형성되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전극기판.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1도체층은 기판상에 퇴적된 절연층상에 형성되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전극기판.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1도체층은 제1도전성 부재에 의해 형성되고, 상기 제2도체층은 제1도전성 부재와는 상이한 제2도전성 부재에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 전극기판.
  5. 제1항에 있어서, 복수의 화소전극이 배열된 표시화소영역과, 상기 표시화소영역 주변에 배치되는 주변영역을 포함하고, 적어도 상기 제1도체층 및 이 제2도체층이 상기 표시화소영역에 배치되는 것을 특징으로 하는 전극기판.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1도체층 및 상기 제2도체층의 적어도 한쪽은 상기 화소전극과 동일 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는 전극기판.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1도체층은 상기 화소전극과 동일 공정으로 막이 형성된 인듐 주석 산화물에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 전극기판.
  8. 제5항에 있어서, 상기 제1도체층 및 상기 제2도체층의 적어도 한쪽은, 스위치 소자를 통하여 상기 화소전극에 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 전극기판.
  9. 제8항에 있어서, 상기 스위치 소자는 박막 트랜지스터인 것을 특징으로 하는 전극기판.
  10. 제1항에 있어서, 복수의 화소전극이 배열된 표시화소영역과, 상기 표시화소영역주변에 배치되는 주변영역을 포함하고, 상기 제1도체층 및 제2도체층이 상기 주변 영역에 배치되는 것을 특징으로 하는 전극기판.
  11. 제1항에 있어서, 상기 제1도체층에 있어서 제1 및 제2배선패턴의 배선폭은 상기 제2도체층에 있어서의 제3 및 제4배선패턴의 배선폭보다 작은 것을 특징으로 하는 전극기판.
  12. 제11항에 있어서, 상기 제1도체층은 상기 제2도체층에 의해 피복되는 것을 특징으로 하는 전극기판.
  13. 적어도 1개의 평탄한 면을 갖는 절연체; 상기 절연체의 평탄한 면상에 매트릭스상으로 배열된 복수의 화소전극; 상기 절연체의 평탄한 면상에 형성되고, 도전성을 갖는 부재에 의해 형성되는 제1배선패턴과, 이 제1배선패턴과 동일 평면상에 배치하고 제1배선패턴과 동일한 부재에 의해 형성되는 제2배선패턴을 갖는 제1도체층; 상기 제1배선패턴의 일부에 적층되고 도전성을 갖는 부재에 의해 형성되는 제3배선패턴과, 이 제3배선패턴이 적층되어 있지 않은 상기 제1배선패턴의 다른 일부, 상기 제2배선패턴 및 상기 제1배선패턴과 상기 제2배선패턴과의 경계영역에 적층되며, 상기 제3배선패턴과 동일한 부재에 의해 형성되는 제4배선패턴을 갖는 제2도체층을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시장치에 사용되는 전극기판.
  14. 제13항에 있어서, 상기 절연체가 절연성기판인 것을 특징으로 하는 표시장치에 사용되는 전극기판.
  15. 제13항에 있어서, 상기 절연체가 기판상에 퇴적된 절연층인 것을 특징으로 하는 표시장치에 사용되는 전극기판.
  16. 제13항에 있어서, 상기 제1도체층은 제1도전성부재에 의해 형성되고, 상기 제2도체층은 제1도전성 부재와는 다른 제2도전성 부재에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 표시장치에 사용되는 전극기판.
  17. 제13항에 있어서, 상기 제1도체층 및 상기 제2도체층 중 어느 한쪽의 도체층이 상기 화소전극과 동일재료에 의해 형성되며, 다른 쪽의 도체층이 상기 화소전극에 대해서 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 표시장치에 사용되는 전극기판.
  18. 제13항에 있어서, 복수의 상기 화소전극에 각각 전기적으로 접속되는 소스전극을 구비한 복수의 박막 트랜지스터와, 상기 박막 트랜지스터의 게이트 전극에 각각 전기적으로 접속되는 복수의 주사선을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시장치에 사용되는 전극기판.
  19. 제13항에 있어서, 복수의 상기 화소전극에 각각 전기적으로 접속되는 소스전극을 구비한 복수의 박막 트랜지스터와, 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극에 각각 전기적으로 접속되는 복수의 신호선을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시장치에 사용되는 전극기판.
  20. 적어도 1개의 실질적으로 평탄한 면을 갖는 절연체와, 상기 절연체의 평탄화 면상에 매트릭스상으로 배열된 복수의 화소전극과, 상기 절연체의 평탄한 면상에 형성되고 도전성을 갖는 부재에 의해 형성되는 제1배선패턴 및 이 제1배선패턴과 동일평면성에 위치하고 제1배선패턴과 동일부재에 의해 형성되는 제2배선패턴을 갖는 제1도체층과, 상기 제1배선패턴의 일부에 적층되며 도전성을 갖는 부재에 의해 형성되는 제3배선패턴 및 이 제3배선패턴이 적층되어 있지 않은 상기 제1배선패턴 외의 일부, 상기 제2배선패턴 및 상기 제1배선패턴과 제2배선패턴과의 경계영역에 적층되며, 상기 제3배선패턴과 동일한 부재에 의해 형성되는 제4배선패턴을 갖는 제2도체층을 구비한 표시장치용 어레이 기판; 상기 표시장치용 어레이 기판의 상기 화소전극에 대향배치되는 적어도 1개의 대향전극을 구비한 대향기판; 및 상기 표시장치용 어레이 기판과 상기 대향기판과의 사이에 유지되는 광변조층을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시장치.
  21. 제20항에 있어서, 상기 표시용 어레이 기판의 절연체는 절연성 기판인 것을 특징으로 하는 표시장치.
  22. 제20항에 있어서, 상기 표시용 어레이 기판의 절연체는 기판상에 퇴적된 절연층인 것을 특징으로 하는 표시장치.
  23. 제20항에 있어서, 상기 제1도체층 및 제2도체층 중 어느 한쪽의 도체층이 상기 화소전극과 동일재료로 형성되고, 다른쪽의 도체층이 상기 화소전극에 대해서 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 표시장치.
  24. 제20항에 있어서, 상기 표시장치용 어레이기판은 또한 복수의 상기 화소전극에 각각 전기적으로 접속되는 소스전극을 구비한 박막 트랜지스터와, 상기 박막 트랜지스터의 게이트 전극에 각각 전기적으로 접속되는 복수의 주사선을 구비한 것을 특징으로 하는 표시장치.
  25. 제20항에 있어서, 상기 표시장치용 어레이기판은 또한 복수의 상기 화소전극에 각각 전기적으로 접속되는 소스전극을 구비한 복수의 박막 트랜지스터와, 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극에 각각 전기적으로 접속되는 복수의 신호선을 구비한 것을 특징으로 하는 표시장치.
  26. 절연층을 갖는 기판을 준비하는 제1공정; 상기 절연층상에 제1도전성 부재를 퇴적하는 제2공정; 경계근방에서 서로 오버랩(overlap)되어 있는 오버랩영역을 포함하는 세그먼트 영역에 상기 제1도전성 부재를 나누어 각 세그먼트 영역마다 대응하는 1개의 기준패턴에 기초하여 패터닝하며, 또한 각 세그먼트 영역의 중복영역을 각각 기준패턴에 기초하여 패터닝하는 것에 의해 제1도체층을 형성하는 제3공정; 상기 절연층 및 상기 제1도체층상에 제2도체성 부재를 퇴적하는 제4공정; 및 상기 제3공정에서 나누어지는 복수의 세그먼트 영역과는 다르고, 또한 경계근방에서 서로 중복되어 있는 중복영역을 포함하는 복수의 세그먼트 영역에 상기 제2도전성 부재를 나누어 각 세그먼트 영역마다 대응하는 1개의 기준 패턴에 기초하여 패터닝하며, 또한 각 세그먼트 영역의 중복영역을 각각의 기준패턴에 기초하여 패터닝하는 것에 의해 제2도체층을 형성하는 제5공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시장치에 사용된는 전극기판의 제조방법.
  27. 제26항에 있어서, 상기 제3공정은 상기 제1도전성 부재상에 포토레지스트를 도포하는 공정과, 상기 포토레지스트의 제1세그먼크 영역을 선택적으로 노광하는 제1노광공정과, 상기 포토레지스트의 상기 제1세그먼트영역과 오버랩하는 오버랩영역을 포함하는 제2세그먼트 영역을 선택적으로 노광하는 제2노광공정과, 상기 포토레지스트를 형상하는 공정과, 상기 포토레지스트가 제거된 부분의 상기 제1도전성 부재를 에칭하는 공정과, 잔존한 포토레지스트를 제거하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시장치에 사용되는 전극기판의 제조방법.
  28. 제27항에 있어서, 상기 제5공정은 상기 제2도전성부재상에 포토레지스트를 도포하는 공정과, 상기 포토레지스트의 제3세그먼트 영역을 선택적으로 노광하는 제3노광공정과, 상기 포토레지스트의 상기 제3세그먼트 영역과 오버랩하는 오버랩영역을 포함하는 제4세그먼트 영역을 선택적으로 노광하는 제4영역과, 상기 포토레지스트를 형성하는 공정과, 상기 포토레지스트가 제거된 부분의 상기 제2도전성 부재를 에칭하는 공정과, 잔존한 포토레지스트를 제거하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시장치에 사용되는 전극기판의 제조방법.
  29. 제28항에 있어서, 상기 제3세그먼트 영역과 제4세그먼크 영역이 서로 오버랩하는 상기 오버랩영역은 상기 제1세그먼트 영역과 제2세그먼트 영역이 서로 오버랩하는 오버랩영역에 평면적으로 서로 다른 영역에 위치 하는 것을 특징으로 하는 표시장치에 사용되는 전극기판의 제조방법.
  30. 제26항에 있어서, 상기 제3공정 및 제5공정 중 어느 한쪽의 공정에 있어서, 매트릭스상으로 배열된 복수의 화소전극이 동시에 패터닝되는 것을 특징으로 하는 표시장치에 사용되는 전극기판의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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