KR100650400B1 - 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치는 하부의 어레이 기판과 상부의 컬러 필터 기판을 각각 형성하고 배치하므로, 빛샘과 같은 문제가 발생할 수 있다. 또한, 어레이 기판은 여러 장의 마스크를 이용하여 제조하므로 마스크의 수를 줄여 제조 비용을 감소시킬 수 있다.
본 발명에서는 어레이 기판을 회절 노광을 이용하여 4장의 마스크로 제조함으로써 제조 비용을 감소시킬 수 있고, 게이트 배선 형성시 게이트 배선에 직각 방향인 제 1 및 제 2 차광 패턴을 형성한 다음, 화소 전극을 제 1 및 제 2 차광 패턴과 중첩하도록 함으로써 합착마진을 향상시켜 빛샘을 방지할 수 있다. 또한, 이러한 차광 패턴 중 어느 하나를 게이트 배선과 연결되도록 하여 스토리지 캐패시터의 용량을 향상시키고, 나머지 하나는 데이터 배선과 일부 중첩하도록 하여 데이터 배선이 단선되었을 때, 이를 수리함으로써 불량을 방지할 수 있다.
빛샘, 차광 패턴, 4마스크, 합착마진

Description

액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법{array panel of liquid crystal display device and manufacturing method thereof}
도 1은 일반적인 액정 표시 장치의 단면도.
도 2는 일반적인 액정 표시 장치용 어레이 기판의 평면도.
도 3은 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판의 평면도.
도 4는 도 3에서 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 자른 단면도.
도 5는 도 3에서 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 자른 단면도.
도 6a 내지 도 6d와 도 7a 내지 도 7d는 본 발명에 따라 어레이 기판을 제조하는 공정을 도시한 단면도.
도 8은 본 발명에 따른 마스크에 대한 단면도.
본 발명은 액정 표시 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
최근 정보화 사회로 시대가 급발전함에 따라 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판 표시장치(flat panel display)의 필요성이 대두되었는데, 그 중 색 재현성 등이 우수한 액정 표시 장치(liquid crystal display)가 활발하게 개발되고 있다.
일반적으로 액정 표시 장치는 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을 두 전극이 형성되어 있는 면이 마주 대하도록 배치하고 두 기판 사이에 액정 물질을 주입한 다음, 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정 분자를 움직이게 함으로써, 이에 따라 달라지는 빛의 투과율에 의해 화상을 표현하는 장치이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 일반적인 액정 표시 장치의 구조에 대하여 설명한다.
도 1은 일반적인 액정 표시 장치에 대한 단면도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 투명한 제 1 기판(10) 위에 금속과 같은 도전 물질로 이루어진 게이트 전극(21)이 형성되어 있고, 그 위에 실리콘 질화막(SiNx)이나 실리콘 산화막(SiO2)으로 이루어진 게이트 절연막(30)이 게이트 전극(21)을 덮고 있다. 게이트 전극(21) 상부의 게이트 절연막(30) 위에는 비정질 실리콘으로 이루어진 액티브층(41)이 형성되어 있으며, 그 위에 불순물이 도핑된 비정질 실리콘으로 이루어진 오믹 콘택층(51, 52)이 형성되어 있다.
오믹 콘택층(51, 52) 상부에는 금속과 같은 도전 물질로 이루어진 소스 및 드레인 전극(61, 62)이 형성되어 있는데, 소스 및 드레인 전극(61, 62)은 게이트 전극(21)과 함께 박막 트랜지스터(T)를 이룬다.
이어, 소스 및 드레인 전극(61, 62) 위에는 실리콘 질화막이나 실리콘 산화막 또는 유기 절연막으로 이루어진 보호층(70)이 형성되어 있으며, 보호층(70)은 드레인 전극(62)을 드러내는 콘택홀(71)을 가진다.
보호층(70) 상부에는 투명 도전 물질로 이루어진 화소 전극(81)이 형성되어 있고, 화소 전극(81)은 콘택홀(71)을 통해 드레인 전극(62)과 연결되어 있다.
한편, 제 1 기판(10) 상부에는 제 1 기판(10)과 일정 간격을 가지고 이격되어 있으며 투명한 제 2 기판(90)이 배치되어 있고, 제 2 기판(90)의 안쪽면에는 블랙 매트릭스(91)가 박막 트랜지스터(T)와 대응되는 위치에 형성되어 있다. 블랙 매트릭스(91) 하부에는 컬러 필터(92)가 형성되어 있는데, 컬러 필터(92)는 적(R), 녹(G), 청(B)의 색이 순차적으로 반복되어 있으며, 하나의 색이 하나의 화소 영역에 대응된다. 컬러 필터(92) 하부에는 투명한 도전 물질로 이루어진 공통 전극(93)이 형성되어 있다.
그리고, 두 기판(10, 90) 사이에는 액정층(100)이 주입되어 있다.
이러한 액정 표시 장치는 하부의 어레이 기판과 상부의 컬러 필터 기판을 각각 형성하고, 하부의 화소 전극과 상부의 컬러 필터가 일대일 대응되도록 배치하는 공정을 통해 형성된다.
도 2에 일반적인 액정 표시 장치용 어레이 기판에 대한 평면도를 도시하였다.
도 2에 도시한 바와 같이, 가로 방향의 게이트 배선(22)과 세로 방향의 데이 터 배선(63)이 교차하고, 게이트 배선(22)과 데이터 배선(63)의 교차점에는 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있다.
게이트 배선(22)과 데이터 배선(63)에 의해 정의되는 화소 영역에는 화소 전극(81)이 형성되어 있고, 화소 전극(81)은 박막 트랜지스터(T)와 연결되어 있다. 또한, 화소 전극(81)은 게이트 배선(22)과 일부 중첩하여 게이트 배선(22)과 함께 스토리지 캐패시터(storage capacitor)를 형성한다.
이러한 어레이 기판과 컬러 필터 기판을 배치할 때, 화소 전극(81)과 컬러 필터는 일대일 대응해야 하며, 상부의 블랙 매트릭스는 화소 전극(81)을 제외한 영역을 가리도록 배치되어야 하는데, 블랙 매트릭스와 화소 전극(81)의 가장자리 부분을 정확하게 맞추기가 어렵다. 따라서, 오정렬(misalign)이 발생할 확률이 높고, 오정렬이 발생할 경우 블랙 매트릭스와 화소 전극(81) 사이에 틈이 생기게 되어, 이 부분에서 빛샘이 일어날 수 있다.
이를 방지하기 위해, 블랙 매트릭스는 합착마진을 고려하여 폭을 더 넓게 형성함으로써, 합착마진만큼 화소 전극과 중첩되도록 한다. 이때, 합착마진은 개구율과 같은 문제를 고려하여 5 ㎛ 정도로 한다.
그러나, 컬러 필터 기판과 어레이 기판을 합착시키고 이후 공정을 진행할 경우, 공정의 온도 등에 따라 기판의 크기가 달라질 수 있는데, 컬러 필터 기판과 어레이 기판은 그 종류가 다르기 때문에 기판의 크기 변화 정도가 각각 다르게 된다. 이에 따라, 블랙 매트릭스의 폭을 넓게 하더라도, 블랙 매트릭스와 화소 전극 사이에 어긋나는 부분이 생겨 빛이 새는 문제가 발생한다.
한편, 액정 표시 장치의 어레이 기판은 박막을 형성하고 사진 식각하는 공정을 반복함으로써 이루어지는데, 사진 식각 공정에는 세정, 감광막 도포, 노광 및 현상, 식각 등 여러 공정을 수반하고 있다. 따라서, 사진 식각 공정을 한번만 단축해도 제조 시간이 상당히 많이 줄어들고 제조 비용이 감소된다. 일반적으로 사진 식각 공정에 이용되는 마스크 수가 공정수를 대표한다. 도 2와 같은 구조를 가지는 어레이 기판은 5장의 마스크를 이용하여 제조되는데, 마스크 수를 감소시켜 제조 비용을 줄일 필요가 있다.
본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 공정수를 줄여 제조 비용을 감소시키고 빛샘을 방지할 수 있는 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판에서는 기판 위에 일 방향을 가지는 다수의 게이트 배선과 게이트 배선에 연결되어 있는 게이트 전극이 형성되어 있다. 이어, 게이트 배선과 같은 물질로 이루어지고 상기 게이트 배선에 직각인 방향을 가지며, 일정 간격 이격되어 있는 제 1 및 제 2 차광 패턴이 형성되어 있고, 그 위에 게이트 절연막이 형성되어 있다. 게이트 절연막 상부에는 반도체층과 오믹 콘택층이 차례로 형성되어 있으며, 오믹 콘택층 상부 에는 게이트 배선과 직교하고 제 1 및 제 2 차광 패턴 사이에 위치하는 데이터 배선, 데이터 배선에서 연장된 소스 전극 및 소스 전극 맞은편에 위치하는 드레인 전극이 형성되어 있다. 다음, 데이터 배선과 소스 및 드레인 전극 상부에는 드레인 전극을 일부 드러내는 콘택홀을 가지는 보호층이 형성되어 있고, 그 위에 드레인 전극과 연결되어 있으며, 제 1 및 제 2 차광 패턴과 일부 중첩하는 화소 전극이 형성되어 있다. 여기서, 오믹 콘택층은 데이터 배선, 소스 및 드레인 전극과 같은 모양을 가지며, 반도체층은 소스 및 드레인 전극 사이를 제외하고 데이터 배선, 그리고 소스 및 드레인 전극과 동일한 모양으로 이루어진다.
본 발명에서, 제 1 차광 패턴은 게이트 배선과 연결되어 있을 수 있다.
또한, 제 2 차광 패턴은 데이터 배선과 일부 중첩할 수도 있다.
본 발명에 따른 어레이 기판의 제조 방법에서는 기판을 구비한 다음, 기판 위에 금속 물질을 증착하고 제 1 마스크로 패터닝하여 게이트 배선과 게이트 전극, 그리고 게이트 배선에 직각인 방향을 가지는 제 1 및 제 2 차광 패턴을 형성한다. 이어, 게이트 배선 상부에 게이트 절연막, 비정질 실리콘층, 불순물 비정질 실리콘층 및 금속층을 순차적으로 증착한다. 다음, 제 2 마스크로 금속층과 불순물 비정질 실리콘층 및 비정질 실리콘층을 차례로 패터닝하여 반도체층과 오믹 콘택층, 데이터 배선, 그리고 소스 전극 및 드레인 전극을 형성한다. 이어, 데이터 배선 상부에 절연 물질을 증착하고, 제 3 마스크를 이용한 패터닝 공정으로 드레인 전극을 일부 드러내는 콘택홀을 가지는 보호층을 형성한다. 다음, 보호층 상부에 투명 도전 물질을 증착하고 제 4 마스크로 패터닝하여, 제 1 및 제 2 차광 패턴과 일부 중 첩하는 화소 전극을 형성한다.
여기서, 제 1 차광 패턴은 게이트 배선과 연결되어 있을 수 있다.
또한, 본 발명은 제 2 차광 패턴은 데이터 배선과 일부 중첩하며, 데이터 배선과 제 2 차광 패턴을 단락시키는 단계를 더 포함할 수도 있다.
본 발명에서 제 2 마스크는 소스 및 드레인 전극 사이에 대응하는 부분에 슬릿 패턴을 가지는 것일 수 있다.
이와 같이 본 발명에서는 4장의 마스크로 어레이 기판을 제조하여 공정수가 감소되고, 화소 전극과 중첩되는 차광 패턴을 형성하여 상부 및 하부 기판의 합착 마진을 향상시킨다. 또한, 차광 패턴 중 어느 하나를 게이트 배선과 연결되도록 하여 스토리지 캐패시터 용량을 증가시키고, 다른 하나는 데이터 배선과 중첩되도록 하여 데이터 배선의 단선시 이를 수리하도록 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판에 대하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판의 평면도를 도시한 것이고, 도 4와 도 5는 도 3에서 각각 Ⅳ-Ⅳ선 및 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 자른 단면을 도시한 것이다.
도 3과 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 투명한 절연 기판(110) 위에 가로 방향의 게이트 배선(121)과 게이트 배선(121)의 분지인 게이트 전극(122), 그리고 게이트 배선(121)에서 세로 방향으로 연장된 제 1 차광 패턴(123) 및 제 1 차광 패턴(123)과 일정 간격으로 이격되어 있는 세로 방향의 제 2 차광 패턴(124)이 형성 되어 있다.
다음, 게이트 배선(121)과 게이트 전극(122), 제 1 및 제 2 차광 패턴(123, 124) 위에 게이트 절연막(130) 형성되어 이들을 덮고 있다.
게이트 절연막(130) 상부에는 비정질 실리콘으로 이루어진 액티브층(141)과 불순물이 도핑된 비정질 실리콘으로 이루어진 오믹 콘택층(151, 152)이 차례로 형성되어 있다.
오믹 콘택층(151, 152) 상부에는 세로 방향의 데이터 배선(161)이 형성되어 있는데, 데이터 배선(161)은 게이트 배선(121)과 교차함으로써 화소 영역을 정의하며, 데이터 배선(161)에서 연장된 소스 전극(162)과 소스 전극(162) 맞은 편에 형성되어 있는 드레인 전극(163)은 게이트 전극(122)을 중심으로 마주 대하고 있다.
오믹 콘택층(151, 152)은 데이터 배선(161), 소스 전극(162), 그리고 드레인 전극(163)과 같은 모양을 가지며, 액티브층(141)은 소스 및 드레인 전극(162, 163) 사이의 채널 부분을 제외하고 데이터 배선(161), 소스 전극(162) 및 드레인 전극(163)과 동일한 모양을 가진다.
데이터 배선(161)과 소스 및 드레인 전극(162, 163) 상부에는 실리콘 질화막이나 실리콘 산화막 또는 유기 절연막으로 이루어진 보호층(170)이 형성되어 있고, 보호층(170)은 드레인 전극(163)을 일부 드러내는 콘택홀(171)을 가진다.
보호층(170) 상부의 화소 영역에는 투명한 도전 물질로 이루어진 화소 전극(181)이 형성되어 있는데, 화소 전극은 콘택홀(171)을 통해 드레인 전극(163)과 접촉하고, 전단 게이트 배선(121)과 일부 중첩하여 스토리지 캐패시터를 형성한 다. 이때, 게이트 배선(121) 상부에 데이터 배선(161)과 같은 물질로 화소 전극(181)과 연결된 패턴을 형성함으로써, 스토리지 캐패시터를 형성할 수도 있다. 또한, 화소 전극(181)은 제 1 및 제 2 차광 패턴(123, 124)과도 일부 중첩되어 있다.
일반적으로 상부의 블랙 매트릭스(도시하지 않음)와 화소 전극(181)은 합착마진을 고려하여 5 ㎛ 정도 중첩되도록 형성하는데, 본 발명에서 제 1 및 제 2 차광 패턴(123, 124)이 화소 전극(181)과 중첩되지 않는 부분의 폭은 2 ㎛ 정도이다. 따라서, 합착마진이 7 ㎛ 정도로 종래에 비해 증가되어, 상부 기판과 하부 기판의 크기 변화가 다르더라도 빛샘을 방지할 수 있다.
또한, 제 1 차광 패턴(123)은 게이트 배선(121)과 연결되어 있어 캐패시터를 형성하므로, 스토리지 캐패시터의 용량이 증가된다.
한편, 최근 액정 표시 장치의 대형화 및 고정세화에 따라 배선의 길이가 길어지고 폭은 줄어들게 되었다. 이에 따라 배선이 단선될 확률이 높아지게 되었는데, 데이터 배선(161)이 단선될 경우 선결함(line defect)과 같은 불량이 발생한다.
여기서, 제 2 차광 패턴(123)의 상부와 하부는 연장되어 데이터 배선(161)과 중첩하도록 되어 있는데, 데이터 배선(161)이 단선될 경우 이 부분을 단락시켜 데이터 배선(161)의 단선을 수리할 수 있다.
한편, 일반적인 액정 표시 장치에서 화소 전극(181)과 데이터 배선(161)은 보통 3 ㎛ 정도의 간격을 가지고 떨어져 있는데, 이러한 경우 화소 전극(181)과 데 이터 배선(161) 사이의 기생 용량에 의해 커플링(coupling)이 발생할 수 있다. 그러나, 본 발명에서는 차광 패턴(123, 124)과 중첩된 범위 내에서 화소 전극(181)의 폭을 줄임으로써 화소 전극(181)과 데이터 배선(161) 사이의 거리가 멀어지게 하여 화소 전극(181)과 데이터 배선(161) 사이의 기생 용량를 감소시킬 수도 있다. 따라서, 액정 표시 장치의 화질을 향상시킬 수 있다.
이러한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법에 대하여 도 6a 내지 도 6d와 도 7a 내지 도 7d를 참조하여 상세히 설명한다.
도 6a 내지 도 6d는 도 3에서 Ⅳ-Ⅳ선에 해당하는 단면도이고, 도 7a 내지 도 7d는 도 3의 Ⅴ-Ⅴ선에 해당하는 단면도이다.
먼저, 도 6a 및 도 7a에 도시한 바와 같이 유리와 같은 투명한 기판(110) 위에 금속 물질을 스퍼터링과 같은 방법으로 증착하고 제 1 마스크를 이용한 사진 식각 공정으로 패터닝하여 가로 방향의 게이트 배선(121)과 게이트 배선(121)의 분지인 게이트 전극(122), 그리고 게이트 배선(121)에서 세로 방향으로 연장된 제 1 차광 패턴(123) 및 제 1 차광 패턴(123)과 일정 간격 이격된 세로 방향의 제 2 차광 패턴(124)을 형성한다.
여기서, 게이트 배선(121)은 비저항이 작고 기판(110)과의 접착력이 좋은 물질로 형성하는 것이 좋다.
다음, 도 6b 및 도 7b에 도시한 바와 같이 실리콘 질화막이나 실리콘 산화막(130), 비정질 실리콘막, 불순물로 도핑된 비정질 실리콘막을 차례로 증착한 후, 금속층을 스퍼터링 방법으로 증착한다. 이어, 제 2 마스크를 이용하여 금속층 과 불순물 비정질 실리콘막, 비정질 실리콘막을 순차적으로 패터닝함으로써 데이터 배선(161)과 소스 및 드레인 전극(162, 163), 오믹 콘택층(151, 152), 그리고 액티브층(141)을 형성한다.
이때 사용되는 제 2 마스크는 빛의 투과 영역이 다른 세 부분을 포함하는데, 이러한 제 2 마스크를 도 8에 도시하였다.
도시한 바와 같이, 투명한 기판(210) 위에 빛을 차단하기 위한 막이 형성되어 있어, 데이터 배선(161)과 소스 및 드레인 전극(162, 163)에 대응하는 부분(A)에서는 빛이 투과되지 않으며, 소스 및 드레인 전극(162, 163) 사이의 채널에 대응하는 부분(B)은 빛이 일부만 투과되고, 나머지 부분(C)은 빛이 모두 투과된다. B 부분에는 슬릿과 같은 미세한 패턴이 형성되어 있어, 빛의 회절 현상에 의해 빛의 투과도가 C 부분보다 작게 된다.
이러한 마스크를 이용하여 금속층 상부에 두께가 다른 감광막 패턴을 형성하고 식각 공정을 실시함으로써, 한 번의 식각 공정으로 데이터 배선(161)과 소스 및 드레인 전극(162, 163), 오믹 콘택층(151, 152), 그리고 액티브층(141)을 형성할 수 있다.
다음, 도 6c 및 도 7c에 도시한 바와 같이 실리콘 질화막이나 실리콘 산화막, 유기 절연막을 증착 또는 도포하여 보호층(170)을 형성하고, 제 3 마스크를 이용한 사진 식각 공정으로 보호층(170)을 패터닝하여 드레인 전극(163) 상부에 콘택홀(171)을 형성한다.
다음, 도 6d 및 도 7d에 도시한 바와 같이 인듐-틴-옥사이드(indium-tin- oxide ; ITO)나 인듐-징크-옥사이드(indium-zinc-oxide ; IZO)와 같은 물질을 증착하고, 제 4 마스크를 이용하여 패터닝함으로써 화소 전극(181)을 형성한다. 화소 전극(181)은 콘택홀(171)을 통해 드레인 전극(162)과 연결되며, 전단 게이트 배선(121), 그리고 제 1 및 제 2 차광 패턴(123, 124)과 일부 중첩한다.
이와 같이, 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 어레이 기판은 4장의 마스크를 이용하여 제작되므로, 5장의 마스크를 이용한 종래의 어레이 기판보다 제조 공정 및 제조 비용을 감소시킬 수 있다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 이상 다양한 변화와 변형이 가능하다.
본 발명에 따른 액정 표시 장치는 4장의 마스크를 이용하여 제조함으로써 제조 비용을 절감할 수 있으며, 게이트 배선과 같은 물질로 화소 전극과 일부 중첩하는 제 1 및 제 2 차광 패턴을 형성함으로써 공정 마진을 향상시켜 빛샘 불량을 방지할 수 있다. 또한, 어느 하나의 차광 패턴은 게이트 배선과 연결되도록 하여 스토리지 캐패시터의 용량을 향상시키며, 나머지 하나의 차광 패턴은 데이터 배선과 일부 중첩되도록 함으로써 데이터 배선이 단선될 경우, 데이터 배선과 차광 패턴을 단락시켜 단선을 수리할 수 있다.
한편, 차광 패턴과 화소 전극의 중첩된 폭 내에서 화소 전극의 면적을 감소시킴으로써 데이터 배선과 화소 전극 사이의 거리를 멀게 하여 화소 전극과 데이터 배선 사이의 기생 용량을 감소시킬 수 있다. 따라서, 얼룩을 개선하고 화질을 향상시킬 수 있다.

Claims (7)

  1. 기판;
    상기 기판 위에 일 방향을 가지는 다수의 게이트 배선과 상기 게이트 배선에 연결되어 있는 게이트 전극;
    상기 게이트 배선과 같은 물질로 이루어지고 상기 게이트 배선에 직각인 방향을 가지며, 일정 간격 이격되어 있는 제 1 및 제 2 차광 패턴;
    상기 게이트 배선, 상기 게이트 전극, 그리고 상기 제 1 및 제 2 차광 패턴 상부에 형성되어 있는 게이트 절연막;
    상기 게이트 절연막 상부에 형성되어 있는 반도체층;
    상기 반도체층 상부에 형성되어 있는 오믹 콘택층;
    상기 오믹 콘택층 상부에 형성되어 있고, 상기 게이트 배선과 직교하며 상기 제 1 및 제 2 차광 패턴 사이에 위치하는 데이터 배선, 상기 데이터 배선에서 연장된 소스 전극 및 상기 소스 전극 맞은편에 위치하는 드레인 전극;
    상기 데이터 배선과 상기 소스 및 드레인 전극 상부에 형성되어 있으며, 상기 드레인 전극을 일부 드러내는 콘택홀을 가지는 보호층;
    상기 보호층 상부에 형성되어 있고, 상기 드레인 전극과 연결되어 있으며, 상기 제 1 및 제 2 차광 패턴과 일부 중첩하는 화소 전극
    을 포함하며,
    상기 오믹 콘택층은 상기 데이터 배선, 상기 소스 및 드레인 전극과 같은 모 양을 가지며, 상기 반도체층은 상기 소스 및 드레인 전극 사이를 제외하고 상기 데이터 배선, 그리고 상기 소스 및 드레인 전극과 동일한 모양으로 이루어진 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 차광 패턴은 상기 게이트 배선과 연결되어 있는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 차광 패턴은 상기 데이터 배선과 일부 중첩하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
  4. 기판을 구비하는 단계;
    상기 기판 위에 금속 물질을 증착하고 제 1 마스크로 패터닝하여 게이트 배선과 게이트 전극, 그리고 상기 게이트 배선에 직각인 방향을 가지는 제 1 및 제 2 차광 패턴을 형성하는 단계;
    상기 게이트 배선 상부에 게이트 절연막, 비정질 실리콘층, 불순물 비정질 실리콘층 및 금속층을 순차적으로 증착하는 단계;
    제 2 마스크로 상기 금속층과 상기 불순물 비정질 실리콘층 및 상기 비정질 실리콘층을 차례로 패터닝하여 반도체층과 오믹 콘택층, 데이터 배선, 그리고 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계;
    상기 데이터 배선 상부에 절연 물질을 증착하고, 제 3 마스크를 이용한 패터닝 공정으로 상기 드레인 전극을 일부 드러내는 콘택홀을 가지는 보호층을 형성하는 단계;
    상기 보호층 상부에 투명 도전 물질을 증착하고 제 4 마스크로 패터닝하여, 상기 제 1 및 제 2 차광 패턴과 일부 중첩하는 화소 전극을 형성하는 단계
    를 포함하는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 차광 패턴은 상기 게이트 배선과 연결되는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 2 차광 패턴은 상기 데이터 배선과 일부 중첩하며, 상기 데이터 배선과 상기 제 2 차광 패턴을 단락시키는 단계를 더 포함하는 액정 표시 장치용 어 레이 기판의 제조 방법.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 2 마스크는 상기 소스 및 드레인 전극 사이에 대응하는 부분에 슬릿 패턴을 가지는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
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