KR960018588A - 프로우브장치 - Google Patents

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KR960018588A
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구니오 사노
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이노우에 아키라
도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤
이노우에 쥰이치
도오교오 에레구토론 야마나시 가부시끼가이샤
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Abstract

프로우브장치는, 검사대상이 되는 회로의 도전성 패드에 접촉 도통되는 다수의 프로우브 및 제1의 단자를 가지는 프로우브 카드와, 각 프로우브 테스트 신호를 보내기 위한 신호전송회로를 가지는 테스트헤드와, 이 테스트헤드의 신호진송회로에 도통하는 제2의 단자를 가지는 퍼포먼스보드와, 이 퍼포먼스보드와 프로우브카드와의 사이에 설치되고, 임피던스 조정된 콘텍트링과, 제1 및 제2의 단자에 맞닿는 한 쌍의 핀 부재를 갖추고, 각 프로우브에 테스트신호를 전달하기 위한 여러개의 제1의 표고핀과, 제1 및 제2의 단자에 맞닿는 한 쌍의 핀 부재를 갖추며, 또한 제1의 포고핀을 둘러싸듯이 콘택트링내에 배치되고, 또한 접지된 회로에 도통되는 여러개의 제2의 포고핀을 가진다.

Description

프로우브장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 실시예에 관한 프로우브장치를 도시하는 블록 구성도.
제4도는 포고핀 유지용 콘텍트링을 도시하는 부분 사시도.
제5도는 포고핀 유지용 콘택트링을 도시하는 부분 평면도.

Claims (12)

  1. 검사대상이 되는 회로로 테스트신호를 보내고, 회로의 전기적 특성을 검사하는 프로우브장치로서, 검사대상이 되는 회로의 도전성 패드에 접촉 도통되는 다수의 프로우브 및 제1의 단자를 가지는 프로우브카드와, 각 프로우브에 테스트신호를 보내기 위한 신호전송회로를 가지는 테스트헤드와, 이 테스트헤드의 신호전송회로에 도통하는 제2의 단자를 가지는 퍼포먼스보드와, 이 퍼포먼스보드와 프로우브카드와의 사이에 설치되고, 임피던스 조정된 콘택트링과, 제1 및 제2의 단자에 맞닿는 한 쌍의 핀 부재를 갖추고, 각 프로우브에 테스트신호를 전달하기 위한 여러개의 제1의 포고핀과, 제1 및 제2의 단자에 맞닿는 한 쌍의 핀 부재를 갖추고, 또한 제1의 포고핀을 둘러싸듯이 콘텍트링 내에 배치되며, 또한 접지된 회로에 도통되는 여러개의 제2표고핀을 가지는 프로우브 장치.
  2. 제1항에 있어서, 제1의 표고핀에 가장 가까운 제2의 포고핀과 제1의 포고핀과의 상호간 거리 L1은, 서로 이웃하는 제1의 포고핀의 상호간 거리 L2보다도 작은 프로우브장치.
  3. 제1항에 있어서, 제1의 포고핀에 가장 가까운 제2의 포고핀과 제1의 포고핀과의 상호간 거리 L1과, 서로 이웃하는 제1의 포고핀의 상호간 거리 L2와의 비율(L1/L2)은 1보다 작은 프로우브장치.
  4. 제1항에 있어서, 제1의 포고핀에 가장 가까운 다른 제1의 포고핀보다도 제2의 포고핀 쪽이 제1의 포고핀에 대하여 가까운 곳에 위치하는 프로우브장치.
  5. 제1항에 있어서, 제1의 포고핀에 가장 가까운 제2의 포고핀보다도 다른 제1의 포고핀쪽이, 제1의 포고핀에 대하여 멀리 떨어진 곳에 위치하는 프로우브장치.
  6. 제1항에 있어서, 4개 이상의 제2포고핀에 의해서 평면내에 형성되는 다각형 블록의 중앙에 제1의 포고핀이 배치되어 있는 프로우브장치.
  7. 제6항에 있어서, 다각형 블록을 형성하는 제2의 포고핀 전부가, 이 다각형 블록에 인접하는 다각형 블륵의 일부를 형성하는 프로우브장치.
  8. 제6항에 있어서, 다각형 블륵을 형성하는 제2의 포고핀중 일부가. 이 다각형 블륵에 인접하는 다각형블륵의 일부를 형성하는 프로우브장치.
  9. 제1항에 있어서, 4개의 제2포고핀에 의해서 평면냉에 형성되는 정방향 블록의 중아에 제1의 포고핀이 배치되어 있는 프로우브장치.
  10. 제1항에 있어서, 6개의 제2포고핀에 의하여 평면내에 형성되는 정6각형 블록의 중앙에 제1의 포고핀이 배치되어 있는 프로우브장치.
  11. 제1항에 있어서, 8개의 제2포고핀에 의해서 평면내에 형성되는 정8각형 블록의 중앙에 제1의 포고핀이 배치되어 있는 프로우브장치.
  12. 제1항에 있어서, 테스트헤드는 테스트신호로서 주파수 수십∼수백MHz의 고주파 신호를 제1의 포고핀을 통해서 각 프로우브에 보내는 프로우브장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950040538A 1994-11-09 1995-11-09 프로우브장치 KR100280081B1 (ko)

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