KR960015085A - 퀴논디아지드의 합성법 및 이것을 함유하는 포지형 레지스트 - Google Patents

퀴논디아지드의 합성법 및 이것을 함유하는 포지형 레지스트 Download PDF

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KR960015085A
KR960015085A KR1019950034113A KR19950034113A KR960015085A KR 960015085 A KR960015085 A KR 960015085A KR 1019950034113 A KR1019950034113 A KR 1019950034113A KR 19950034113 A KR19950034113 A KR 19950034113A KR 960015085 A KR960015085 A KR 960015085A
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quinonediazide
synthesizing
quinone diazide
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켄이치로 사토
야수마사 카와베
토시아키 아오아이
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오오니시 미노루
후지샤신필름 카부시키가이샤
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    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
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    • C07C303/28—Preparation of esters or amides of sulfuric acids; Preparation of sulfonic acids or of their esters, halides, anhydrides or amides of esters of sulfonic acids by reaction of hydroxy compounds with sulfonic acids or derivatives thereof
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
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    • C07C2601/12—Systems containing only non-condensed rings with a six-membered ring
    • C07C2601/14—The ring being saturated

Abstract

폴리히드록시화합물과 1,2-나프토퀴논디아지드-5-(및/또는 -4-)술포닐클로리드의 에스테르화반응에 의해 퀴논디아지드에스테르를 합성할 때에, 하기 일반식(I) 또는 (II)로 표시되는 염기화합물을 염기촉매로서 사용하는 것을 특징으로 하는 퀴논디아지드에스테르의 합성법 및 그 합성법에 의해 얻어지는 에스테르를 함유하는 포지형 포트레지스트가 개시되어 있다.
(식중, R1∼R15는 상기한 정의한 같다).
특정한 수산기가 분자내에 잔존하는 소망한 감광물을 고선택적으로 합성할 수 있는 퀴논디아지드에스테르의 합성법을 제공하고, 고해상력으로 또 해상력의 막두께 의존성이 작고 현상 잔유물이 발생하기 어렵고, 경시안 정성이 우수한 포지형 포토레지스트를 제공한다.

Description

퀴논디아지드의 합성법 및 이것을 함유하는 포지형 레지스트
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (3)

  1. 폴리히드록시화합물과 1,2-나프토퀴논디아지드-5-(및/또는 -4-)술포닐클로리드의에스테르화반응에 의해 퀴논디아지드에스테르를 합성할때에, 하기 일반식(I) 또는 (II)로 표시되는 염기화합물을 염기촉매로서 사용하는 것을 특징으로 하는 퀴논디아지드에스테르의 합성법.
    (식중, R1∼R15는 각각 수소원자 또는 탄소수 1∼4의 알킬기(단 R1, R10, R11은 수소원자가 아니다)를 나타내고, 1,m,n은 각각 1 또는 2를 나타낸다).
  2. 제1항에 있어서, 상기한 염기화합물이 N-메틸피롤리딘, N-메틸피페리딘 또는 1,4-디메틸피페라진인 퀴논디아지드에스테르의 합성법.
  3. 제1항 또는 제2항의 합성법에 의해 얻어지는 퀴논디아지드에스테르 및 알카리 가용성수지를 함유하는 것을 특징으로 하는 포지형 포토레지스트.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950034113A 1994-10-05 1995-10-05 퀴논디아지드의 합성법 및 이것을 함유하는 포지형 레지스트 KR960015085A (ko)

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