KR960015073A - 마스크와 작업편의 위치맞춤방법 및 장치 - Google Patents
마스크와 작업편의 위치맞춤방법 및 장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 노광광과는 다른 과장의 광을 사용해서 얼라이먼트를 행하는 노광장치에 있어서 노광광 조사시의 배율과 비노광광 조사시의 배율을 일치시킴으로써 마스크와 작업편의 위치맞춤을 정밀하게 하는 것이다.
본 발명은 투영렌즈(3)의 파장에 의한 초점거리의 변화와 주평면의 이동을 고려하면서 마스크(M)와 투영렌즈(3) 사이의 거리 및 투영렌즈(3)와 작업편(3) 사이의 거리를 조정하고, 비노광광 조사시의 배율이 노광광 조사시의 배율과 동일한 배율이 되도록 광학시스템의 광로길이를 조정하는 것이다. 이어서, 비노광광을 마스크 상에 조사하고, 작업편의 얼라이먼트·마크와 마스크의 얼라이먼트·마크를 겹쳐지도록 작업편 구동스테이지(5) 혹은 마스크 구동스테이지(2)를 이동시킨다. 또한, 마스크(M)와 투영렌즈(3) 사이의 거리 및 투영렌즈(3)와 작업편(3) 사이의 거리를 조정하는 대신에 평행평면판 등의 광학부재를 삽입하여 광로길이를 조정할 수도 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예를 도시한 도면이다.
Claims (5)
- 투영렌즈의 파장에 의한 초점거리의 변화와 주평면의 이동을 고려하여 비노광광 조사시의 배율이 노광광 조사시의 배율과 동일한 배율이 되도록 광학시스템의 광로길이를 조정해서 비노광광을 마스크상에 조사하고, 작업편의 얼라이먼트·마크와 마스크의 얼라이먼트·마크를 수상하고, 작업편의 얼라이먼트·마크와 마스크의 얼라이먼트·마크가 겹쳐지도록 작업편 혹은 마스크를 작업편/마스크면으로 평행하게 이동시키는 것을 특징으로 하는 마스크와 작업편의 위치맞춤방법.
- 제1항에 있어서, 마스크, 투영렌즈 혹은 작업편중 적어도 2개를 이동시켜서 상호 거리를 조정하고, 비노광광 조사시의 배율이 노광광 조사시의 배율과 동일한 배율이 되도록 조정하는 것을 특징으로 하는 마스크와 작업편의 위치맞춤방법.
- 제1항에 있어서, 마스크와 투영렌즈 사이 혹은 투영렌즈와 작업편 사이에 핀트보정용 광학부재를 삽입함과 동시에, 상기 광학부재가 삽입되지 않은 투영렌즈와 작업편 사이 혹은 마스크와 투영렌즈 사이의 거리를 조정하여 비노광광 조사시의 배율이 노광광 조사시의 배율과 동일한 배율이 되도록 조정하는 것을 특징으로 하는 마스크와 작업편의 위치맞춤방법.
- 제1항에 있어서, 마스크와 투영렌즈 사이 및 투영렌즈와 작업편 사이에 핀트보정용 광학부재를 삽입하고, 비노광광 조사시의 배율이 노광광 조사사의 배율과 동일한 배율이 되도록 조정하는 것을 특징으로 하는 마스크와 작업편의 위치맞춤방법.
- 마스크상에 자외선을 조사하는 조사장치와, 마스크와, 상기 마스크를 이동시키는 마스크 구동스테이지와, 투영렌즈와, 작업편과, 상기 작업편을 이동시키는 작업편 구동스테이지와, 작업편의 얼라이먼트·마크와, 마스크의 얼라이먼트·마크를 수상하는 수상수단과, 마스크 구동스테이지 및 작업편 구동스테이지의 이동을 제어하는 제어수단을 구비하고, 상기 제어수단은 투영렌즈의 파장에 의한 초점거리의 변화와 주평면의 이동을 고려하여 비노광광 조사시의 배율이 노광광 조사시의 배율과 동일한 배율이 되도록 광학시스템의 광로길이를 조정하여 비노광광을 마스크상에 조사하고, 작업편의 얼라이먼트·마크와 마스크의 얼라이먼트·마크가 겹쳐지도록 작업편 구동스테이지 혹은 마스크 구동스테이지를 작업편/마스크면에 평행하게 이동시키는 것을 특징으로 하는 마스크와 작업편의 위치맞춤장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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