JP5938707B2 - 光学素子保持装置への光学素子の接着方法及びこの方法に用いる光学素子保持装置及びこの光学素子を備えた露光装置 - Google Patents

Description

本発明は、プリント基板や液晶基板等の基板の製造に用いられる露光装置に関し、更に詳しくは、その露光装置に設けられている光学素子保持装置への光学素子の接着方法及びこの方法に用いる光学素子保持装置に関する。

従来から、プリント基板や液晶基板等の基板の製造に露光装置が用いられている。この露光装置には、光学素子保持装置が設けられている。この光学素子保持装置には、マスクパターン投影用の光学素子としての投影レンズ群が設けられる。

そのマスクパターンは、投影レンズ群によりフォトレジスト等の感光材料が塗布された対象ワークの表面に等倍又は２倍程度に拡大して投影されるのが望ましいため、その投影レンズ群には、対象ワークの表面を一度に露光できるように大面積でかつ深い焦点深度を有するものを用いるのが適している。

ところで、投影レンズ群を光学素子保持装置に固定する際に、歪みや変形が生じると、例えば、その投影レンズ群が変形すると、主として非点収差が生じ、対象ワークの表面に形成されたマスクパターン像が歪み、解像度が劣化する。

特開２００１−３４３５７５号公報

そこで、従来、投影レンズ群を接着剤を用いて光学素子保持装置に固定している。しかしながら、従来の接着剤を用いる投影レンズ群の光学素子保持装置への接着方法では、接着剤の収縮により投影レンズが歪みや変形を生じる。その投影レンズ群の歪みや変形を取り除いて、投影レンズ群を光学素子保持装置に固定するのは概して困難である。

本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、接着剤を用いて光学素子を光学素子保持装置に接着固定する場合でも、光学素子の歪みや変形を極力除去して、その光学素子を光学素子保持装置に固定することのできる光学素子保持装置への光学素子の接着方法、この方法に用いる光学素子保持装置及びこの光学素子を備えた露光装置を提供することにある。

本発明の光学素子保持装置への光学素子の接着方法は、光エネルギーの照射により硬化する第１接着剤を用いて局所的に光学素子を保持枠部材に仮止めし、ついで、光学素子の外周部を第１接着剤よりも硬化時間の遅い第２接着剤を用いてその保持枠部材に接着固定することを特徴とするものである。

更には、本発明の光学素子保持装置への光学素子の接着方法は、光学素子保持装置の一部を構成しかつ内周側に光学素子を保持する周壁部が形成された保持枠部材の前記周壁部と前記光学素子の外周部との間でしかもその周回り方向に間隔を開けて存在する少なくとも３箇所に光エネルギーを照射することにより硬化する第１接着剤を介在させてこの第１接着剤に光エネルギーを照射して第１接着剤を硬化させる第１接着剤硬化ステップと、保持枠部材の周壁部の内周側と光学素子の外周部との間に第１接着剤よりも硬化時間が遅い硬化時間特性を有する第２接着剤を介在させてこの第２接着剤を硬化させる第２接着剤硬化ステップと、を実行することにより光学素子を保持枠部材に接着固定するのが望ましい。

光学素子は円形状の投影レンズからなり、その周壁部は円形状であり、第１接着剤は、紫外線硬化型接着剤でもよいし、可視光硬化型接着剤でも良い。

保持枠部材は、その投影レンズをその外周部から包囲する環状枠部材と、この環状枠部材に固定される固定部と第１接着剤が塗布されて投影レンズの外周部に密接される密接部とを有する接着用補助部材とから構成されていても良い。

密接部は光エネルギーを透過させる透過材料により構成されていても良いし、光エネルギーを通過させる通過穴を有する構成とされていても良い。また、密接部は弾性部を介して固定部に連結されていても良い。

保持枠部材の周壁部と光学素子の外周部との間に、第２接着剤が垂れ落ちるのを防止するパッキン部材が介在されていても良い。

また、本発明の光学素子保持装置への光学素子の接着方法は、光学素子保持装置の一部を構成しかつ内周側に光学素子を保持する周壁部が形成された保持枠部材の周壁部と光学素子の外周部との間でしかもその周回り方向に間隔を開けて存在する少なくとも３箇所に光エネルギーを照射することにより硬化する第１接着剤を介在させて保持枠部材に対する光学素子の光軸を調整する調整ステップと、第１接着剤に光エネルギーを照射して第１接着剤を硬化させる第１接着剤硬化ステップと、保持枠部材の周壁部と光学素子の外周部との間に第１接着剤よりも硬化時間が遅い硬化時間特性を有する第２接着剤を介在させて第２接着剤を硬化させる第２接着剤硬化ステップと、を実行することにより光学素子を保持枠部材に接着固定する方法であっても良い。

保持枠部材は、投影レンズをその外周部から包囲する環状枠部材と環状枠部材に固定される固定部と第１接着剤が塗布されて投影レンズの外周部に密接される密接部とを有する接着用補助部材とから構成され、この接着用補助部材を用いて光学素子の光軸を調整する方法であっても良い。

その接着用補助部材は、弾性部を介して密接部と固定部とが連結されていても良い。

本発明の光学素子保持装置は、内周側に投影レンズをその外周部から包囲して保持する周壁部が形成された環状枠部材と、
環状枠部材の周回り方向に間隔を開けて少なくとも３箇所に形成された開口部と、環状枠部材に固定される固定部と第１接着剤が塗布されて投影レンズの外周部に密接される密接部とを有して各開口部に配設される接着用補助部材とを備え、接着用補助部材は固定部と密接部との間に弾性部を有し、投影レンズの外周部と環状枠部材の周壁部との間には第１接着剤よりも硬化時間の遅い第２接着剤が介在され、第１接着剤には開口部を通じて光エネルギーを照射することにより硬化する樹脂が用いられていることを特徴とする。

保持枠部材の周壁部と光学素子の外周部との間に、第２接着剤が垂れ落ちるのを防止するパッキン部材が介在されていても良い。

この光学素子保持装置は、露光装置に用いられる。

本発明によれば、光エネルギーの照射により第１接着剤を用いて局所的に光学素子を保持枠部材に仮止めし、ついで、光学素子の外周部を硬化時間の遅い第２接着剤を用いて保持枠部材に固着するので、光学素子の歪みや変形を抑制しつつ光学素子を光学保持装置に固定できるという効果を奏する。

また、光エネルギーの照射により第１接着剤を短時間で硬化させて、光学素子を保持枠部材に局所的に仮止めするので、第２接着剤を用いて光学素子をその保持枠部材に固着させる際に、別の光学素子を別の保持枠部材に仮止めでき、生産効率を損なうことなく光学保持装置に光学素子を取り付けることができる。

図１は本発明に係る露光装置の構成の一例を模式的に示す説明図である。 図２は図１に示す光学素子保持装置の構成を拡大して模式的に示す斜視図である。 図３は投影レンズ群の配置の一例を示す断面図である。 図４は図３に示す投影レンズ保持装置の上端部に設けられている保持枠部材とこの保持枠部材に固定されている投影レンズとを拡大して部分的に示す斜視図である。 図５は図４に示す投影レンズを取り除いた状態を示す保持枠部材を示す斜視図である。 図６は図５に示す接着用補助部材の一例を示す斜視図である。 図７は図６に示す接着用補助部材の保持枠部材の一部を拡大してかつ断面で示す斜視図である。 図８は図７に示す保持枠部材への投影レンズの接着状態を説明するための部分拡大斜視図である。 図９は接着用補助部材の他の構成を示す斜視図である。

以下に、本発明に係る光学素子保持装置への光学素子の接着方法をこれに用いる光学素子保持装置及びこの光学素子保持装置を備えた露光装置と共に図面を参照しつつ説明する。

図１は、本発明に係る光学素子保持装置への光学素子の接着方法を用いて製作された光学素子保持装置２０を有する露光装置１０の構成を模式的に示す説明図である。図２は図１に示す光学素子保持装置２０の構成を模式的に示す斜視図である。
（露光装置１０の全体構成）
露光装置１０は、図１に示すように、照明光学系１として、光軸方向に沿って出射側から順に、光源部１１と、コールドミラー１２と、露光シャッタ１３と、紫外線バンドパスフィルタ１４と、インテグレータレンズ１５と、コリメータレンズ１６と、平面鏡１７とを有する。

また、この露光装置１０は、マスクステージ機構２として、マスクステージ１８と、マスクブラインド１９とを有すると共に、投影レンズ機構としての光学素子保持装置２０と、歪補正部２１と、投影露光ステージ２２とを有する。この露光装置１０は、露光用光束として紫外光を用いる。

光源部１１は、この実施例では、水銀ランプ１１ａと楕円反射鏡１１ｂとからなる。水銀ランプ１１ａは楕円反射鏡１１ｂの第１焦点位置に配置されている。水銀ランプ１１ａは、制御部２４により点灯・消灯される。水銀ランプ１１ａからの光をは楕円反射鏡１１ｂにより反射されてコールドミラー１２に導かれる。

コールドミラー１２は、赤外領域の熱線を透過させかつ他の波長帯域の光を反射する。これにより赤外領域の熱線が分離される。コールドミラー１２により反射された光は、露光シャッタ１３、紫外線バンドパスフィルタ１４に導かれる。

その露光シャッタ１３は、コールドミラー１２により反射された光の透過・遮断の切り替えに用いられる。その露光シャッタ１３は、コールドミラー１２と紫外線バンドパスフィルタ１４との間の光路に照明系移動機構２５により出入される。

この露光シャッタ１３が、その光路から退避されると対象ワーク２３が露光され、光路に進入すると対象ワーク２３の露光が停止される。なお、対象ワーク２３は投影露光ステージ２２に載置される。

紫外線バンドパスフィルタ１４は、紫外線領域の光を透過する。この実施例では、波長３６５ｎｍの水銀のスペクトル線であるｉ線を透過するｉ線バンドパスフィルタにより構成されている。

コールドミラー１２からの反射光は、紫外線バンドパスフィルタ１４により紫外線（ｉ線）の波長帯域の光（実際には、ｉ線の波長帯域の近傍の強度が高い紫外光）となって、インテグレータレンズ１５に導かれる。

インテグレータレンズ１５は、その紫外光の照度ムラを打ち消し、対象ワーク２３の照射面の周辺部まで含めてその照射面に均一な照度分布を形成するのに用いる。すなわち、その紫外光は、インテグレータレンズ１５により均一な照度分布とされて、コリメータレンズ１６に導かれる。

その紫外光は、コリメータレンズ１６により平行光束とされて平面鏡１７に導かれ、その平面鏡１７によりマスクステージ１８に向けて反射される。

マスクステージ１８は、平面鏡１７による反射光路上に設けられている。このマスクステージ１８はマスク１８ａを有する。このマスク１８ａにはマスクパターンが形成されている。このマスク１８ａはその反射光路の光軸（投影光軸）Ｏに直交する方向にマスクステージ１８により移動される。

マスクステージ１８は、マスク１８ａが取り外し可能とされ、そのマスク１８ａとは異なるマスクパターンを有するマスクをそのマスクステージ１８に取り付けることができる。

各マスクには、複数のマスク側アライメントマーク（図示を略す）が設けられている。平面鏡１７により反射された紫外光は、マスク１８ａを透過して、マスク１８ａを照明する。これにより、マスクパターンの形状に対応するマスクパターン像を形成するマスクパターン像形成光束が図２に拡大して示す光学素子保持装置２０に導かれる。

その照射光学系１は、照明系移動機構２５により、マスクステージ１８に対して、光軸Ｏと直交する平面内でＸ軸方向、Ｙ軸方向に移動可能とされている。その照明系移動機構２５は、制御部２４により駆動制御される。

マスクステージ１８と光学素子保持装置２０との間に、マスクブラインド１９が設けられている。マスクブラインド１９は、マスク１８ａを通過したマスクパターン像形成光束の進行光路に進退可能に設けられている。

このマスクブラインド１９は、マスク１８ａのマスクパターンのうち所望の領域のみのマスクパターン像を、対象ワーク２３上に形成する機能を有する。このマスクブラインド１９は、マスクブラインド駆動機構２６により駆動され、このマスクブラインド駆動機構２６も制御部２４により駆動制御される。

光学素子保持装置２０は、対象ワーク２３に、マスクパターン像を投影するのに用いられる。そのマスク１８ａに形成されたマスクパターンは適宜変倍され、これにより、対象ワーク２３の表面にマスクパターン像が形成される。

光学素子保持装置２０の内部には図３に示すように投影レンズ群ＬＥＮＳが設けられている。その光学素子保持装置２０の構成については後述する。

対象ワーク２３の表面とマスク１８ａとはその投影レンズ群ＬＥＮＳにより光学的に共役とされている。

その光学素子保持装置２０と投影露光ステージ２２との間に、歪補正部２１が設けられている。歪補正部２１は、対象ワーク２３の歪みに応じて、対象ワーク２３の表面である結像面に形成されるマスクパターン像を変形させるのに用いる。

この歪補正部２１は、歪補正駆動機構２８により駆動され、この歪補正駆動機構２８も制御部２４により駆動制御される。

投影露光ステージ２２は、ステージ駆動機構２９により対象ワーク２３を光軸Ｏに直交する平面内でＸ−Ｙ方向に移動可能とされ、投影露光ステージ２２による対象ワーク２３の保持には適宜の手段を用いる。そのステージ駆動機構２９の駆動制御にも制御部２４を用いる。

なお、その対象ワーク２３には、シリコンウエハやガラス基板やプリント基板等に、紫外線（ｉ線）に対して光反応するフォトレジスト等の感光材料が塗布または張り付けられている。
（光学素子保持装置２０の概略構成）
その光学素子保持装置２０は、図２に示すように、レンズ鏡筒部２０Ａを有する。このレンズ鏡筒部２０Ａには光学素子としての投影レンズ群ＬＥＮＳが図３に拡大して示すように配置される。

その図３には、構造物（図示を略す）にレンズ鏡筒部２０Ａを固定する取付けフランジ部２０Ｂ（図２参照）よりも上部側のレンズ群ＬＥＮＳが示されている。取付けフランジ２０Ｂよりも下部側の投影レンズ群ＬＥＮＳの図示は省略する。

その投影レンズＬＥＮは図４に示すように保持枠部材２０Ｃを介してレンズ鏡筒部２０Ａに固定される。その保持枠部材２０Ｃはレンズ鏡筒部２０Ａの内周部に図３に示すビス２０Ｄにより固定されていても良いし、レンズ鏡筒部２０Ａの端面２０Ａ’に直接図３に示すビス２０Ｅにより固定されて、レンズ鏡筒部２０Ａの一部を構成していても良い。

ここでは、保持枠部材２０Ｃは、レンズ鏡筒部２０Ａの端面２０Ａ’に取り付けられているものとして説明する。
（保持枠部材２０Ｃの構成）
図５はその保持枠部材２０Ｃの斜視図を示している。この保持枠部材２０Ｃは、金属製の環状枠部材から構成されている。この環状枠部材は、内周側に円形状の投影レンズＬＥＮをその外周部２０ｔから包囲して保持する円形状の周壁部２０ａを有する。その環状枠部材は上下に間隔を開けて対向する上フランジ２０ｂ、下フランジ２０ｃを有する。

その下フランジ２０ｃには周回り方向に間隔を開けてビス留め穴２０ｄが形成され、その上フランジにはビス留め穴２０ｄに対向するビス抜き穴２０ｅが形成されている。その下フランジ２０ｃの下面２０ｃ’はレンズ鏡筒部２０Ａの端面に対する基準面とされている。

その周壁部２０ａには環状段差部２０ｆが設けられ、この環状段差部２０ｆにはその周回り方向に間隔を開けて下側から投影レンズＬＥＮを支承する半円柱形状の３個の支承突起２０ｇが形成されている。ここでは、その支承突起２０ｇは光軸Ｏの周回り方向に１２０度略対称位置に配置されている。その支承突起２０ｇの個数は３個であるが、３個以上であれば、これに限られるものではない。

周壁部２０ａには、図６に一部を拡大して示すように、その周回り方向に間隔を開けて少なくとも３箇所に開口部２０ｈが形成されている。ここでは、この開口部２０ｈはその支承突起２０ｇに対応する箇所に配置されているが、これに限られるものではない。

その開口部２０ｈには、接着用補助部材２０ｉが設けられている。この接着用補助部材２０ｉは図７に拡大して示すように、固定部２０ｊと密接部２０ｋとを有する。固定部２０ｊと密接部２０ｋとは弾性部２０ｍを介して互いに連結される。

ここでは、接着用補助部材２０ｉは金属製のブロック２０ｉ’により構成され、ブロック２０ｉ’に切り欠き２０ｎ、２０ｐを形成することにより、固定部２０ｊと弾性部２０ｍとが画成される。

固定部２０ｊにはネジ挿通穴２０ｊ’が形成されている。環状段差部２０ｆには開口部２０ｈの形成箇所にネジ穴（図示を略す）が形成されている。接着用補助部材２０ｉは、固定ネジ２０ｑによりその環状段差部２０ｆに固定される。そのネジ挿通穴２０ｊ’は固定ネジ２０ｑに対して若干の遊びを持たせて形成されている。これにより、環状枠部材に対して投影レンズＬＥＮの光軸を調整することが可能である。

弾性部２０ｍにはネジ穴２０ｍ’が形成されている。密接部２０ｋは紫外線を透過可能な透過材料としての直方体形状のアクリル板から構成されている。この密接部２０ｋは固定ネジ２０ｒにより弾性部２０ｍに固定されている。

その密接部２０ｋには投影レンズＬＥＮの外周部（コバ部）に臨む側の面に光エネルギーを照射することにより硬化する第１接着剤２０ｓが塗布されている。その第１接着剤２０ｓには、ここでは、紫外線硬化型の樹脂が用いられているが、可視光硬化型の樹脂を用いても良い。
（投影レンズＬＥＮの保持枠部材への接着方法）
この保持枠部材２０Ｃへの投影レンズＬＥＮの組み付けは、以下に説明する工程を経て行われる。

最初に、環状枠部材の開口部２０ｈに接着用補助部材２０ｉを取付け、投影レンズＬＥＮを保持枠部材２０Ｃに載置する。

ついで、公知の偏心検査装置（図示を略す）を用いて投影レンズＬＥＮの光軸の環状枠部材に対する偏心具合を確認し、光学設計で予定した交差範囲外である場合には、固定ネジ２０ｑを緩めるかあるいは締め付けるかによって各接着用補助部材２０ｉを調整する。その際、投影レンズＬＥＮの光軸の直角出しも行われる。

投影レンズＬＥＮの外周部２０ｔには密接部２０ｋが十数μｍの間隔を開けて第１接着部材２０ｓを介して密接している。

次に、開口部２０ｈを通じて第１接着部材２０ｓに光エネルギーとしての紫外線（ＵＶ光）を照射する。これにより、第１接着部材２０ｓが短時間で硬化する。ついで、図８に示すように、周壁部２０ａと投影レンズＬＥＮの外周部２０ｔとの間に後述する第２接着剤が垂れ落ちるのを防止するパッキン部材２０ｗを介挿する。そのパッキン部材２０ｗには例えばフッ素製のゴム紐が用いられるが、これに限られるものではない。

その次に、投影レンズＬＥＮの外周部２０ｔと環状枠部材の周壁部２０ａとの間に第２接着剤２０ｘを注入する。第２接着剤２０ｘは第１接着剤２０ｓよりも硬化時間の遅い硬化時間特性を有する自然硬化型の樹脂を用いる。

なお、この実施例では、パッキン部材２０ｗを周壁部２０ａと外周部２０ｔとの間に介在させて、第２接着剤２０ｘが垂れ流れ落ちるのを防止する構成としたが、粘性の大きい樹脂を第２接着剤２０ｘに用いることにすれば、必ずしもパッキン部材２０ｗを設ける必要はないものである。

このように、この投影レンズＬＥＮの保持装置への接着方法では、光学素子保持装置２０の一部を構成しかつ内周側に光学素子を保持する周壁部２０ａが形成された保持枠部材２０Ｃの周壁部２０ａと光学素子の外周部との間でしかもその周回り方向に間隔を開けて存在する少なくとも３箇所に光エネルギーを照射することにより硬化する第１接着剤２０ｓを介在させて保持枠部材２０Ｃに対する光学素子の光軸を調整する調整ステップと、第１接着剤２０ｓに光エネルギーを照射して第１接着剤２０ｓを硬化させる第１接着剤硬化ステップと、保持枠部材２０Ｃの周壁部２０ａと光学素子の外周部２０ｔとの間に第１接着剤２０ｓよりも硬化時間が遅い硬化時間特性を有する第２接着剤２０ｘを介在させて第２接着剤２０ｘを硬化させる第２接着剤硬化ステップとを実行することにより光学素子が保持枠部材２０Ｃに接着固定される。

要約すると、この投影レンズＬＥＮの保持装置の接着方法においては、光エネルギーの照射により硬化する第１接着剤２０ｓを用いて局所的に光学素子を保持枠部材２０Ｃに仮止めし、ついで、光学素子の外周部２０ｔを第１接着剤２０ｓよりも硬化時間の遅い第２接着剤２０ｘを用いて保持枠部材２０Ｃに固着する。従って、光学素子の歪みや変形を抑制しつつ光学素子を光学保持装置２０に固定できるという効果を奏する。

また、光エネルギーの照射により第１接着剤２０ｓを短時間で硬化させて、光学素子を保持枠部材２０Ｃに局所的に仮止めするので、第２接着剤２０ｘを用いて光学素子をその保持枠部材２０Ｃに固着させる際に、別の光学素子を別の保持枠部材に仮止めでき、生産効率を損なうことなく光学保持装置に光学素子を取り付けることができる。

以上説明した投影レンズＬＥＮの保持装置への接着方法は、保持枠部材２０Ｃに対する光学素子の光軸を調整する調整ステップを実行した後、第１接着剤２０ｓを用いて局所的に光学素子を保持枠部材２０Ｃに仮止めすることにしたが、保持枠部材２０Ｃに対する光学素子の調整を行う必要のないほど、高精度の保持枠部材２０Ｃを用いれば、以下に説明する方法を用いることもできる。

すなわち、光学素子保持装置の一部を構成しかつ内周側に光学素子を保持する周壁部が形成された保持枠部材２０Ｃの周壁部２０ａと光学素子の外周部２０ｔとの間でしかもその周回り方向に間隔を開けて存在する少なくとも３箇所に光エネルギーを照射することにより硬化する第１接着剤２０ｓを介在させて第１接着剤２０ｓに光エネルギーを照射して第１接着剤２０ｓを硬化させる第１接着剤硬化ステップと、保持枠部材２０Ｃの周壁部２０ａと光学素子の外周部２０ｔとの間に第１接着剤２０ｓよりも硬化時間が遅い硬化時間特性を有する第２接着剤２０ｘを介在させて第２接着剤２０ｘを硬化させる第２接着剤硬化ステップとを実行することにより光学素子を保持枠部材２０Ｃに接着固定しても良い。

投影レンズ群ＬＥＮＳを保持する他の保持枠部材２０Ｃにも、以上説明した接着方法を適用することができる。これらの保持枠部材２０Ｃは、レンズ鏡筒部２０Ａに公知の偏心検査装置（図示を略す）を用いて、心出しを行いつつ取り付けられる。
（接着用補助部材２０ｉの構成の他の実施例）
図９は本発明に係る接着方法に用いる接着用補助部材２０ｉの他の構成を示す斜視図である。この実施例では、固定部２０ｊは板バネ部材から構成されている。固定部２０ｊは固定ネジ２０ｑにより環状段差部２０ｆに固定される。

弾性部２０ｍは板バネ部材を切り欠いて折り曲げ起立させることにより形成されている。この弾性部２０ｍには密接部２０ｋとしての直方体形状のアクリル板が固定ネジ２０ｒにより固定されている。そのアクリル板には第１接着剤２０ｓが塗布されている。

ここでは、密接部２０ｋを光エネルギーを透過可能なアクリル板により形成したが、アクリル板を設ける代わりに、光エネルギーを通過させる切り欠き、貫通穴を含む通過穴（図示を略す）を有する部材により構成しても良い。

１０…露光装置
２０…光学素子保持装置
２０Ａ…レンズ鏡筒部
２０Ｃ…保持枠部材
２０ｔ…外周部
２０ａ…周壁部
２０ｉ…接着用補助部材
２０ｊ…固定部
２０ｋ…密接部
２０ｍ…弾性部
２０ｓ…第１接着剤
２０ｘ…第２接着剤
ＬＥＮ…投影レンズ（光学素子）

Claims (11)

1. 光学素子保持装置の一部を構成しかつ内周側に光学素子を保持する周壁部が形成された保持枠部材の前記周壁部と前記光学素子の外周部との間でしかもその周回り方向に間隔を開けて存在する少なくとも３箇所に光エネルギーを照射することにより硬化する第１接着剤を介在させて該第１接着剤に前記光エネルギーを照射して前記第１接着剤を硬化させる第１接着剤硬化ステップと、
   前記保持枠部材の前記周壁部の内周側と前記光学素子の外周部との間に前記第１接着剤よりも硬化時間が遅い硬化時間特性を有する第２接着剤を介在させて該第２接着剤を硬化させる第２接着剤硬化ステップと、を実行することにより前記光学素子を前記保持枠部材に接着固定し、
   前記光学素子は円形状の投影レンズからなり、前記周壁部は円形状であり、前記第１接着剤は紫外線硬化型接着剤であり、
   前記保持枠部材は、前記投影レンズをその外周部から包囲する環状枠部材と、該環状枠部材に固定される固定部と前記第１接着剤が塗布されて前記投影レンズの外周部に密接される密接部とを有する接着用補助部材と、から構成されていることを特徴とする光学素子保持装置への光学素子の接着方法。
2. 光学素子保持装置の一部を構成しかつ内周側に光学素子を保持する周壁部が形成された保持枠部材の前記周壁部と前記光学素子の外周部との間でしかもその周回り方向に間隔を開けて存在する少なくとも３箇所に光エネルギーを照射することにより硬化する第１接着剤を介在させて該第１接着剤に前記光エネルギーを照射して前記第１接着剤を硬化させる第１接着剤硬化ステップと、
   前記保持枠部材の前記周壁部の内周側と前記光学素子の外周部との間に前記第１接着剤よりも硬化時間が遅い硬化時間特性を有する第２接着剤を介在させて該第２接着剤を硬化させる第２接着剤硬化ステップと、を実行することにより前記光学素子を前記保持枠部材に接着固定し、
   前記光学素子は円形状の投影レンズからなり、前記周壁部は円形状であり、前記第１接着剤は可視光硬化型接着剤であり、
   前記保持枠部材は、前記投影レンズをその外周部から包囲する環状枠部材と、該環状枠部材に固定される固定部と前記第１接着剤が塗布されて前記投影レンズの外周部に密接される密接部とを有する接着用補助部材と、から構成されていることを特徴とする光学素子保持装置への光学素子の接着方法。
3. 前記密接部は前記光エネルギーを透過させる透過材料により構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光学素子保持装置への光学素子の接着方法。
4. 前記密接部は前記光エネルギーを通過させる通過穴を有する構成とされていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光学素子保持装置への光学素子の接着方法。
5. 前記密接部は弾性部を介して前記固定部に連結されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光学素子保持装置への光学素子の接着方法。
6. 前記保持枠部材の前記周壁部と前記光学素子の外周部との間に前記第２接着剤が垂れ落ちるのを防止するパッキン部材が介在されていることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の光学素子保持装置への光学素子の接着方法。
7. 光学素子保持装置の一部を構成しかつ内周側に光学素子を保持する周壁部が形成された保持枠部材の前記周壁部と前記光学素子の外周部との間でしかもその周回り方向に間隔を開けて存在する少なくとも３箇所に光エネルギーを照射することにより硬化する第１接着剤を介在させて前記保持枠部材に対する前記光学素子の光軸を調整する調整ステップと、
   前記第１接着剤に前記光エネルギーを照射して前記第１接着剤を硬化させる第１接着剤硬化ステップと、
   前記保持枠部材の前記周壁部と前記光学素子の外周部との間に前記第１接着剤よりも硬化時間が遅い硬化時間特性を有する第２接着剤を介在させて該第２接着剤を硬化させる第２接着剤硬化ステップと、を実行することにより前記光学素子を前記保持枠部材に接着固定し、
   前記保持枠部材は、前記光学素子としての投影レンズをその外周部から包囲する環状枠部材と、該環状枠部材に固定される固定部と前記第１接着剤が塗布されて前記投影レンズの外周部に密接される密接部とを有する接着用補助部材と、から構成され、該接着用補助部材を用いて前記投影レンズの光軸を調整することを特徴とする光学素子保持装置への光学素子の接着方法。
8. 前記接着用補助部材は、弾性部を介して前記密接部と前記固定部とが連結されていることを特徴とする請求項７に記載の光学素子保持装置への光学素子の接着方法。
9. 内周側に投影レンズをその外周部から包囲して保持する周壁部が形成された環状枠部材と、
   該環状枠部材の周回り方向に間隔を開けて少なくとも３箇所に形成された開口部と、
   前記環状枠部材に固定される固定部と第１接着剤が塗布されて前記投影レンズの外周部に密接される密接部とを有して前記各開口部に配設される接着用補助部材とを備え、該接着用補助部材は前記固定部と前記密接部との間に弾性部を有し、前記投影レンズの外周部と前記環状枠部材の前記周壁部との間には前記第１接着剤よりも硬化時間の遅い第２接着剤が介在され、前記第１接着剤には前記開口部を通じて光エネルギーを照射することにより硬化する樹脂が用いられていることを特徴とする光学素子保持装置。
10. 前記環状枠部材の前記周壁部と前記投影レンズの外周部との間に前記第２接着剤が垂れ落ちるのを防止するパッキン部材が介在されていることを特徴とする請求項９に記載の光学素子保持装置。
11. 請求項９又は請求項１０に記載の光学素子保持装置を有する露光装置。