JP2009157325A - 露光照明装置及び露光パターンの位置ずれ調整方法 - Google Patents
露光照明装置及び露光パターンの位置ずれ調整方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】紫外線を放射する光源3と、前記光源3から放射された紫外線の照明光を平行光にしてフォトマスク1に照射するコンデンサレンズ5と、前記光源3とコンデンサレンズ5との間に配設され、前記フォトマスク1に照射される照明光の輝度分布を均一にするフライアイレンズ6と、前記コンデンサレンズ5とフライアイレンズ6との間の光学距離を調整する光学距離調整手段7と、を備えたものである。
【選択図】図1
Description
光源3から放射された紫外線の照明光は、集光レンズ10によってロッドレンズ9の前端面9aに集光される。ロッドレンズ9の前端面9aに入射した照明光の光線は、ロッドレンズ9内を通過する際にロッドレンズ9の内面で多重反射して混合されてロッドレンズ9の後端面9bから射出する。これにより、射出する照明光の強度分布は、横断面内で略均一となる。
同図(a)に示すように、コンデンサレンズ5とフライアイレンズ6との間の光学距離を拡げると、コンデンサレンズ5を射出する照明光は収束し、照明光の横断面周辺部に大きなディクリネーション角θが発生する。また、同図(b)に示すように、コンデンサレンズ5とフライアイレンズ6との間の光学距離が適正値である場合、即ちコンデンサレンズ5の前焦点位置とフライアイレンズ6の後焦点位置とが完全に一致している場合には、コンデンサレンズ5を射出する照明光は、光軸に平行な平行光となり、ディクリネーション角θはゼロとなる。そして、同図(c)に示すように、コンデンサレンズ5とフライアイレンズ6との間の光学距離を縮めると、コンデンサレンズ5を射出する照明光は発散し、照明光の横断面周辺部に大きなディクリネーション角が発生する。このように、コンデンサレンズ5とフライアイレンズ6との間の光学距離を変化させることにより、ディクリネーション角θを変えることができる。
2…基板
3…光源
5…コンデンサレンズ(コリメート手段)
6…フライアイレンズ
7…光学距離調整手段
Claims (7)
- 紫外線を放射する光源と、
前記光源から放射された紫外線の照明光を平行光にしてフォトマスクに照射するコリメート手段と、
前記光源とコリメート手段との間に配設され、前記フォトマスクに照射される照明光の輝度分布を均一にするフライアイレンズと、
前記コリメート手段とフライアイレンズとの間の光学距離を調整する光学距離調整手段と、
を備えたことを特徴とする露光照明装置。 - 前記光学距離調整手段は、前記コリメート手段をその光軸方向に移動するものであることを特徴とする請求項1記載の露光照明装置。
- 前記光学距離調整手段は、前記フライアイレンズをその光軸方向に移動するものであることを特徴とする請求項1記載の露光照明装置。
- 紫外線を放射する光源と、前記光源から放射された紫外線の照明光を平行光にしてフォトマスクに照射するコリメート手段と、前記光源とコリメート手段との間に配設され、前記フォトマスクに照射される照明光の輝度分布を均一にするフライアイレンズと、を備え、基板上に露光パターンを形成する露光照明装置における露光パターンの位置ずれ調整方法であって、
前記基板上に形成された露光パターンの所定位置からの位置ずれ量が略最小となるように前記コリメート手段とフライアイレンズとの間の光学距離を調整する、
ことを特徴とする露光パターンの位置ずれ調整方法。 - 前記コリメート手段とフライアイレンズとの間の光学距離の調整は、前記コリメート手段をその光軸方向に移動して行なうものであることを特徴とする請求項4記載の露光パターンの位置ずれ調整方法。
- 前記コリメート手段とフライアイレンズとの間の光学距離の調整は、前記フライアイレンズをその光軸方向に移動して行なうものであることを特徴とする請求項4記載の露光パターンの位置ずれ調整方法。
- 前記コリメート手段とフライアイレンズとの間の光学距離の調整は、前記基板上の露光領域の一方の縁部から他方の縁部に向かって並んだ複数の露光パターンの位置ずれ量の平均値が略最小となるように行なうことを特徴とする請求項4〜6のいずれか1項に記載の露光パターンの位置ずれ調整方法。
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