JPH0829117A - 画像処理方法及びその装置 - Google Patents
画像処理方法及びその装置Info
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- JPH0829117A JPH0829117A JP6165168A JP16516894A JPH0829117A JP H0829117 A JPH0829117 A JP H0829117A JP 6165168 A JP6165168 A JP 6165168A JP 16516894 A JP16516894 A JP 16516894A JP H0829117 A JPH0829117 A JP H0829117A
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、各画像データの線幅が異なっていも
これら画像データ間に位置ずれを発生せずに位置合わせ
すること。 【構成】画像切り出し部(18)により参照画像データ(1)
と検査画像データ(2) の端に掛かるパターンを削除する
とともにエッジを有するパターンを切り出し、これら切
り出された各画像データの重心位置を重心算出部(19)に
より算出する。そして、位置ずれ量検出部(20)により各
重心位置から各画像データ(1,2) 間の位置ずれ量を検出
し、これら位置ずれ量に基づいて位置補正部(21)により
各画像データ(1,2) の位置補正を行う。
これら画像データ間に位置ずれを発生せずに位置合わせ
すること。 【構成】画像切り出し部(18)により参照画像データ(1)
と検査画像データ(2) の端に掛かるパターンを削除する
とともにエッジを有するパターンを切り出し、これら切
り出された各画像データの重心位置を重心算出部(19)に
より算出する。そして、位置ずれ量検出部(20)により各
重心位置から各画像データ(1,2) 間の位置ずれ量を検出
し、これら位置ずれ量に基づいて位置補正部(21)により
各画像データ(1,2) の位置補正を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば参照画像データ
と検査画像データとの画像間の位置ずれ量を検出し、か
つこの位置ずれ量に基づいて各画像データの位置合わせ
を行う画像処理装置に関する。
と検査画像データとの画像間の位置ずれ量を検出し、か
つこの位置ずれ量に基づいて各画像データの位置合わせ
を行う画像処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体ウエハ等の被検査体の欠
陥検査を行う場合には、この被検査体を撮像し、この撮
像により得られる検査画像データと参照画像データとを
比較して被検査体上の欠陥を検出している。
陥検査を行う場合には、この被検査体を撮像し、この撮
像により得られる検査画像データと参照画像データとを
比較して被検査体上の欠陥を検出している。
【０００３】この欠陥検査に際しては、検査画像データ
と参照画像データとの位置合わせを行わなければなら
ず、この位置合わせには、２値画像のパターンマッチン
グが用いられている。
と参照画像データとの位置合わせを行わなければなら
ず、この位置合わせには、２値画像のパターンマッチン
グが用いられている。
【０００４】このパターンマッチングによる位置合わせ
では、位置合わせを行う各画像データの画像がほぼ等し
く、２値化処理後のパターンも理想的には等しくなるこ
とが必要である。
では、位置合わせを行う各画像データの画像がほぼ等し
く、２値化処理後のパターンも理想的には等しくなるこ
とが必要である。
【０００５】しかしながら、現実の位置合わせ対象とな
る参照画像データと検査画像データとでは、例えばその
パターンの線幅に違いが生じたりし、この線幅の違いに
より参照画像データと検査画像データとの位置ずれ検出
量に誤差が生じる。
る参照画像データと検査画像データとでは、例えばその
パターンの線幅に違いが生じたりし、この線幅の違いに
より参照画像データと検査画像データとの位置ずれ検出
量に誤差が生じる。
【０００６】例えば、図１２に示すように２値化の参照
画像データと検査画像データとのパターンマッチングを
行う場合、これら参照画像データのパターン１と検査画
像データのパターン２との各線幅が異なると、いずれか
一方のパターンエッジで位置合わせしてしまい、他方の
エッジでの位置ずれ量が却って大きくなることがある。
画像データと検査画像データとのパターンマッチングを
行う場合、これら参照画像データのパターン１と検査画
像データのパターン２との各線幅が異なると、いずれか
一方のパターンエッジで位置合わせしてしまい、他方の
エッジでの位置ずれ量が却って大きくなることがある。
【０００７】従って、各画像データにおけるパターンの
線幅が異なる場合、これら画像データ間の位置ずれ量を
検出することが必要であり、又この位置ずれ量を補正し
て正確に位置合わせする必要がある。
線幅が異なる場合、これら画像データ間の位置ずれ量を
検出することが必要であり、又この位置ずれ量を補正し
て正確に位置合わせする必要がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】以上のように参照画像
データと検査画像データとの各線幅が異なると、これら
画像データをパターンマッチングしても、その位置ずれ
量が返って大きくなる。そこで本発明は、各画像データ
の線幅が異なっていもこれら画像データ間の位置ずれ量
を正確に検出できる画像処理方法及びその装置を提供す
ることを目的とする。
データと検査画像データとの各線幅が異なると、これら
画像データをパターンマッチングしても、その位置ずれ
量が返って大きくなる。そこで本発明は、各画像データ
の線幅が異なっていもこれら画像データ間の位置ずれ量
を正確に検出できる画像処理方法及びその装置を提供す
ることを目的とする。
【０００９】又、本発明は、各画像データの線幅が異な
ることによって画像データ間に位置ずれを発生せずに位
置合わせができる画像処理方法及びその装置を提供する
ことを目的とする。
ることによって画像データ間に位置ずれを発生せずに位
置合わせができる画像処理方法及びその装置を提供する
ことを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１によれば、少な
くとも２つの画像データにおけるエッジを有するパター
ンを切り出しする第１のステップと、この第１のステッ
プによりパターンの切り出された各画像データの重心位
置を算出する第２のステップと、この第２のステップに
より算出された各重心位置から各画像データ間の位置ず
れ量を検出する第３のステップと、を有して上記目的を
達成しようとする画像処理方法である。
くとも２つの画像データにおけるエッジを有するパター
ンを切り出しする第１のステップと、この第１のステッ
プによりパターンの切り出された各画像データの重心位
置を算出する第２のステップと、この第２のステップに
より算出された各重心位置から各画像データ間の位置ず
れ量を検出する第３のステップと、を有して上記目的を
達成しようとする画像処理方法である。
【００１１】請求項２によれば、少なくとも２つの画像
データにおけるエッジを有するパターンを切り出しする
第１のステップと、この第１のステップによりパターン
の切り出しされた各画像データの重心位置を算出する第
２のステップと、この第２のステップにより算出された
各重心位置から各画像データ間の位置ずれ量を検出する
第３のステップと、この第３のステップにより検出され
た位置ずれ量に基づいて各画像データの位置補正を行う
第４のステップと、を有して上記目的を達成しようとす
る画像処理方法である。
データにおけるエッジを有するパターンを切り出しする
第１のステップと、この第１のステップによりパターン
の切り出しされた各画像データの重心位置を算出する第
２のステップと、この第２のステップにより算出された
各重心位置から各画像データ間の位置ずれ量を検出する
第３のステップと、この第３のステップにより検出され
た位置ずれ量に基づいて各画像データの位置補正を行う
第４のステップと、を有して上記目的を達成しようとす
る画像処理方法である。
【００１２】請求項３によれば、各重心位置の平均から
各画像データ間の位置ずれ量を検出する。請求項４によ
れば、少なくとも２つの画像データに対してそれぞれＸ
方向及びＹ方向に走査し、各画像データにおける端に掛
かるパターンを削除しエッジを有するパターンを切り出
しする。
各画像データ間の位置ずれ量を検出する。請求項４によ
れば、少なくとも２つの画像データに対してそれぞれＸ
方向及びＹ方向に走査し、各画像データにおける端に掛
かるパターンを削除しエッジを有するパターンを切り出
しする。
【００１３】請求項５によれば、少なくとも２つの画像
データにおけるエッジを有するパターンを切り出しする
画像切り出し手段と、この画像切り出し手段によりパタ
ーンの切り出された各画像データの重心位置を算出する
重心算出手段と、この重心算出手段により算出された各
重心位置から各画像データ間の位置ずれ量を検出する位
置ずれ量検出手段と、を有して上記目的を達成しようと
する画像処理装置である。
データにおけるエッジを有するパターンを切り出しする
画像切り出し手段と、この画像切り出し手段によりパタ
ーンの切り出された各画像データの重心位置を算出する
重心算出手段と、この重心算出手段により算出された各
重心位置から各画像データ間の位置ずれ量を検出する位
置ずれ量検出手段と、を有して上記目的を達成しようと
する画像処理装置である。
【００１４】請求項６によれば、少なくとも２つの画像
データにおけるエッジを有するパターンを切り出しする
画像切り出し手段と、この画像切り出し手段によりパタ
ーンの切り出された各画像データの重心位置を算出する
重心算出手段と、この重心算出手段により算出された各
重心位置から各画像データ間の位置ずれ量を検出する位
置ずれ量検出手段と、この位置ずれ量検出手段により検
出さされた位置ずれ量に基づいて各画像データの位置補
正を行う位置補正手段と、を有して上記目的を達成しよ
うとする画像処理装置である。
データにおけるエッジを有するパターンを切り出しする
画像切り出し手段と、この画像切り出し手段によりパタ
ーンの切り出された各画像データの重心位置を算出する
重心算出手段と、この重心算出手段により算出された各
重心位置から各画像データ間の位置ずれ量を検出する位
置ずれ量検出手段と、この位置ずれ量検出手段により検
出さされた位置ずれ量に基づいて各画像データの位置補
正を行う位置補正手段と、を有して上記目的を達成しよ
うとする画像処理装置である。
【００１５】請求項７によれば、位置ずれ量検出手段
は、各重心位置の平均から各画像データ間の位置ずれ量
を検出する。請求項８によれば、画像切り出し手段は、
少なくとも２つの画像データに対してそれぞれＸ方向及
びＹ方向に走査し、各画像データにおける端に掛かるパ
ターンを削除し、エッジを有するパターンを切り出しす
るものである。
は、各重心位置の平均から各画像データ間の位置ずれ量
を検出する。請求項８によれば、画像切り出し手段は、
少なくとも２つの画像データに対してそれぞれＸ方向及
びＹ方向に走査し、各画像データにおける端に掛かるパ
ターンを削除し、エッジを有するパターンを切り出しす
るものである。
【００１６】
【作用】請求項１によれば、少なくとも２つの画像デー
タにおけるエッジを有するパターンを切り出し、次にこ
れら切り出しされた各画像データの重心位置を算出す
る。次にこれら重心位置から各画像データ間の位置ずれ
量を検出する。これにより、各画像データの線幅が異な
っていも各画像データ間の位置ずれ量を正確に検出でき
る。
タにおけるエッジを有するパターンを切り出し、次にこ
れら切り出しされた各画像データの重心位置を算出す
る。次にこれら重心位置から各画像データ間の位置ずれ
量を検出する。これにより、各画像データの線幅が異な
っていも各画像データ間の位置ずれ量を正確に検出でき
る。
【００１７】請求項２によれば、少なくとも２つの画像
データにおけるエッジの有するパターンを切り出し、次
にこれら切り出しされた各画像データの重心位置を算出
する。次にこれら重心位置から各画像データ間の位置ず
れ量を検出し、この位置ずれ量に基づいて各画像データ
の位置補正を行う。これにより、各画像データの線幅が
異なっていもこれら画像データ間に位置ずれを発生せず
に位置合わせできる。
データにおけるエッジの有するパターンを切り出し、次
にこれら切り出しされた各画像データの重心位置を算出
する。次にこれら重心位置から各画像データ間の位置ず
れ量を検出し、この位置ずれ量に基づいて各画像データ
の位置補正を行う。これにより、各画像データの線幅が
異なっていもこれら画像データ間に位置ずれを発生せず
に位置合わせできる。
【００１８】請求項３によれば、各重心位置の平均から
各画像データ間の位置ずれ量を検出する。請求項４によ
れば、少なくとも２つの画像データに対してそれぞれＸ
方向及びＹ方向に走査して、各画像データの端に掛かる
パターンを削除するとともにエッジを有するパターンを
切り出す。
各画像データ間の位置ずれ量を検出する。請求項４によ
れば、少なくとも２つの画像データに対してそれぞれＸ
方向及びＹ方向に走査して、各画像データの端に掛かる
パターンを削除するとともにエッジを有するパターンを
切り出す。
【００１９】請求項５によれば、画像切り出し手段によ
り例えば２つの画像データのエッジを有するパターンを
切り出し、これら切り出しされた各画像データの重心位
置を重心算出手段により算出する。そして、位置ずれ量
検出手段により各重心位置から各画像データ間の位置ず
れ量を検出する。これにより、各画像データの線幅が異
なっていも各画像データ間の位置ずれ量を正確に検出で
きる。
り例えば２つの画像データのエッジを有するパターンを
切り出し、これら切り出しされた各画像データの重心位
置を重心算出手段により算出する。そして、位置ずれ量
検出手段により各重心位置から各画像データ間の位置ず
れ量を検出する。これにより、各画像データの線幅が異
なっていも各画像データ間の位置ずれ量を正確に検出で
きる。
【００２０】請求項６によれば、画像切り出し手段によ
り例えば２つの画像データのエッジを有するパターンを
切り出し、これら切り出しされた各画像データの重心位
置を重心算出手段により算出する。そして、位置ずれ量
検出手段により各重心位置から各画像データ間の位置ず
れ量を検出し、これら位置ずれ量に基づいて位置補正手
段により各画像データの位置補正を行う。これにより、
各画像データの線幅が異なっていもこれら画像データ間
に位置ずれを発生せずに位置合わせできる。
り例えば２つの画像データのエッジを有するパターンを
切り出し、これら切り出しされた各画像データの重心位
置を重心算出手段により算出する。そして、位置ずれ量
検出手段により各重心位置から各画像データ間の位置ず
れ量を検出し、これら位置ずれ量に基づいて位置補正手
段により各画像データの位置補正を行う。これにより、
各画像データの線幅が異なっていもこれら画像データ間
に位置ずれを発生せずに位置合わせできる。
【００２１】請求項７によれば、位置ずれ量検出手段に
よって各重心位置の平均から各画像データ間の位置ずれ
量を検出する。請求項８によれば、画像切り出し手段
は、例えば２つの画像データに対してそれぞれＸ方向及
びＹ方向に走査し、各画像データの端に掛かるパターン
を削除するとともにエッジを有するパターンを各画像デ
ータ中から切り出しする。
よって各重心位置の平均から各画像データ間の位置ずれ
量を検出する。請求項８によれば、画像切り出し手段
は、例えば２つの画像データに対してそれぞれＸ方向及
びＹ方向に走査し、各画像データの端に掛かるパターン
を削除するとともにエッジを有するパターンを各画像デ
ータ中から切り出しする。
【００２２】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。図１は画像データの位置合わせを行う画
像処理装置の構成図である。ＣＰＵ等から成る主制御部
１０には、バス１１を介して各画像メモリ１２、１３及
び主画像メモリ１４が接続されている。
して説明する。図１は画像データの位置合わせを行う画
像処理装置の構成図である。ＣＰＵ等から成る主制御部
１０には、バス１１を介して各画像メモリ１２、１３及
び主画像メモリ１４が接続されている。
【００２３】これら画像メモリ１２、１３のうち一方の
画像メモリ１２には、入力部１５を介して参照画像デー
タ１が入力し記憶されるものとなっている。又、他方の
画像メモリ１３には、入力部１６を介して検査画像デー
タ１が入力し記憶されるものとなっている。
画像メモリ１２には、入力部１５を介して参照画像デー
タ１が入力し記憶されるものとなっている。又、他方の
画像メモリ１３には、入力部１６を介して検査画像デー
タ１が入力し記憶されるものとなっている。
【００２４】上記主制御部１０には、バス１１を介して
プログラムメモリ１７、画像切り出し部１８、重心算出
部１９、位置ずれ検出部２０及び位置補正部２１が接続
されている。
プログラムメモリ１７、画像切り出し部１８、重心算出
部１９、位置ずれ検出部２０及び位置補正部２１が接続
されている。
【００２５】主制御部１０は、プログラムメモリ１７に
予め記憶されている図２に示す位置合わせフローチャー
トのプログラムに従って画像切り出し部１８、重心算出
部１９、位置ずれ検出部２０及び位置補正部２１に指令
を発して動作制御する機能を有している。
予め記憶されている図２に示す位置合わせフローチャー
トのプログラムに従って画像切り出し部１８、重心算出
部１９、位置ずれ検出部２０及び位置補正部２１に指令
を発して動作制御する機能を有している。
【００２６】画像切り出し部１８は、各画像メモリ１
２、１３にそれぞれ記憶される参照画像データ１と検査
画像データ２とを読み出し、これら参照画像データ１と
検査画像データ２とにおける端に掛かるパターン削除す
る機能を有している。
２、１３にそれぞれ記憶される参照画像データ１と検査
画像データ２とを読み出し、これら参照画像データ１と
検査画像データ２とにおける端に掛かるパターン削除す
る機能を有している。
【００２７】具体的に画像切り出し部１８は、参照画像
データ１と検査画像データ２に対してそれぞれＸ方向、
Ｙ方向に走査し、これらＸ、Ｙ方向ごとに各画像データ
１、２の端に掛かるパターンを削除して、エッジを有す
るパターンを切り出しする機能を有している。
データ１と検査画像データ２に対してそれぞれＸ方向、
Ｙ方向に走査し、これらＸ、Ｙ方向ごとに各画像データ
１、２の端に掛かるパターンを削除して、エッジを有す
るパターンを切り出しする機能を有している。
【００２８】従って、画像切り出し部１８は、参照画像
データ１に対してＸ方向、Ｙ方向の各方向でそれぞれ走
査してパターンの切り出し削除を行った２つの参照画像
データ、及び検査画像データ２に対してＸ方向、Ｙ方向
の各方向でそれぞれ走査してパターンの切り出し削除を
行った２つの検査画像データの計４つの画像データを得
る機能を有している。
データ１に対してＸ方向、Ｙ方向の各方向でそれぞれ走
査してパターンの切り出し削除を行った２つの参照画像
データ、及び検査画像データ２に対してＸ方向、Ｙ方向
の各方向でそれぞれ走査してパターンの切り出し削除を
行った２つの検査画像データの計４つの画像データを得
る機能を有している。
【００２９】重心算出部１９は、画像切り出し部１８に
よりパターンの切り出しされた２つの参照画像データ１
及び２つの検査画像データ２の各重心位置を算出する機
能を有している。
よりパターンの切り出しされた２つの参照画像データ１
及び２つの検査画像データ２の各重心位置を算出する機
能を有している。
【００３０】この重心位置の算出は、次の通り行われ
る。例えば、画像データ１、２（画像データｆ）の各点
（ｘ，ｙ）における濃度値を（ｘ，ｙ）の質量と見なす
と、これら画像データｆにおいて重心を定義できる。こ
れら画像データｆの重心は、
る。例えば、画像データ１、２（画像データｆ）の各点
（ｘ，ｙ）における濃度値を（ｘ，ｙ）の質量と見なす
と、これら画像データｆにおいて重心を定義できる。こ
れら画像データｆの重心は、
【００３１】
【数１】 なる座標を持つ点（Ａ，Ｂ）となる。
【００３２】そして、ディジタル画像に対しては、積分
は総和となる。簡単な例を示すと、次の画像データの濃
度値に対し、 ２１１ ３１０ ３２１ の重心は、次の通り計算される。なお、原点は、左下の
点である。
は総和となる。簡単な例を示すと、次の画像データの濃
度値に対し、 ２１１ ３１０ ３２１ の重心は、次の通り計算される。なお、原点は、左下の
点である。
【００３３】 ΣΣｆ（ｘ，ｙ）＝１４ ΣΣｘｆ（ｘ，ｙ）＝８ ΣΣｙｆ（ｘ，ｙ）＝１２ Ａ＝４／７ Ｂ＝６／７ となる。
【００３４】位置ずれ量検出部２０は、重心算出部１９
により算出された２つの参照画像データ及び２つの検査
画像データにおける各重心位置を比較して、参照画像デ
ータ１と検査画像データ２とのＸ方向及びＹ方向の位置
ずれ量を検出する機能を有している。
により算出された２つの参照画像データ及び２つの検査
画像データにおける各重心位置を比較して、参照画像デ
ータ１と検査画像データ２とのＸ方向及びＹ方向の位置
ずれ量を検出する機能を有している。
【００３５】すなわち、Ｘ方向の位置ずれ量ＸｓとＹ方
向の位置ずれ量Ｙｓとは、 Ｘｓ＝（検査画像データのＸパターンの重心位置） −（参照画像データのＸパターンの重心位置） …(3) Ｙｓ＝（検査画像データのＹパターンの重心位置） （−参照画像データのＹパターンの重心位置） …(4) により求められる。
向の位置ずれ量Ｙｓとは、 Ｘｓ＝（検査画像データのＸパターンの重心位置） −（参照画像データのＸパターンの重心位置） …(3) Ｙｓ＝（検査画像データのＹパターンの重心位置） （−参照画像データのＹパターンの重心位置） …(4) により求められる。
【００３６】位置補正部２１は、位置ずれ量検出部２０
により検出されたＸ方向及びＹ方向の位置ずれ量に基づ
いて参照画像データ１と検査画像データ２との位置補正
を行う機能を有している。
により検出されたＸ方向及びＹ方向の位置ずれ量に基づ
いて参照画像データ１と検査画像データ２との位置補正
を行う機能を有している。
【００３７】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。参照画像データ１は、入力部１５を通し
て画像メモリ１２に記憶される。図３(a) はかかる参照
画像データ１の模式図である。この参照画像データ１に
おいて各パターンａ１〜ｆ１が形成されている。
いて説明する。参照画像データ１は、入力部１５を通し
て画像メモリ１２に記憶される。図３(a) はかかる参照
画像データ１の模式図である。この参照画像データ１に
おいて各パターンａ１〜ｆ１が形成されている。
【００３８】又、検査画像データ２は、入力部１６を通
して画像メモリ１３に記憶される。図３(b) はかかる検
査画像データ２の模式図である。この検査画像データ２
において各パターンａ２〜ｆ２が形成されている。
して画像メモリ１３に記憶される。図３(b) はかかる検
査画像データ２の模式図である。この検査画像データ２
において各パターンａ２〜ｆ２が形成されている。
【００３９】このように参照画像データ１及び検査画像
データ２が各画像メモリ１２、１３に記憶されると、主
制御部１０は、ステップ＃１において、画像切り出し部
１８に動作指令を発する。
データ２が各画像メモリ１２、１３に記憶されると、主
制御部１０は、ステップ＃１において、画像切り出し部
１８に動作指令を発する。
【００４０】この画像切り出し部１８は、先ず参照画像
データ１に対してＸ、Ｙ方向にそれぞれ走査して、この
参照画像データ１における端に掛かるパターンを削除す
るとともにエッジを有するパターンを切り出しする。
データ１に対してＸ、Ｙ方向にそれぞれ走査して、この
参照画像データ１における端に掛かるパターンを削除す
るとともにエッジを有するパターンを切り出しする。
【００４１】すなわち、画像切り出し部１８は、参照画
像データ１に対してＸ方向に走査し、このＸ方向の各端
ｐ１、ｐ２に掛かる各パターンａ１、ｄ１、ｅ１、ｆ１
を削除する。
像データ１に対してＸ方向に走査し、このＸ方向の各端
ｐ１、ｐ２に掛かる各パターンａ１、ｄ１、ｅ１、ｆ１
を削除する。
【００４２】これにより、画像切り出し部１８は、図４
(a) に示すようにＸ方向にエッジを有する各パターンｂ
１、ｃ１のＸパターンの参照画像データを切り出す。
又、画像切り出し部１８は、参照画像データ１に対して
Ｙ方向に走査し、このＹ方向の各端ｑ１、ｑ２に掛かる
各パターンａ１、ｄ１、ｆ１を削除する。なお、パター
ンｂ１の端ｑ１に掛かる部分は削除される。
(a) に示すようにＸ方向にエッジを有する各パターンｂ
１、ｃ１のＸパターンの参照画像データを切り出す。
又、画像切り出し部１８は、参照画像データ１に対して
Ｙ方向に走査し、このＹ方向の各端ｑ１、ｑ２に掛かる
各パターンａ１、ｄ１、ｆ１を削除する。なお、パター
ンｂ１の端ｑ１に掛かる部分は削除される。
【００４３】これにより、画像切り出し部１８は、図４
(b) に示すようにＹ方向にエッジを有する各パターンｂ
１、ｃ１、ｅ１のＹパターンの参照画像データを切り出
す。次に、画像切り出し部１８は、ステップ＃２におい
て、検査画像データ２に対してＸ方向に走査し、このＸ
方向の各端ｐ１、ｐ２に掛かる各パターンａ２、ｄ２、
ｅ２、ｆ２を削除する。
(b) に示すようにＹ方向にエッジを有する各パターンｂ
１、ｃ１、ｅ１のＹパターンの参照画像データを切り出
す。次に、画像切り出し部１８は、ステップ＃２におい
て、検査画像データ２に対してＸ方向に走査し、このＸ
方向の各端ｐ１、ｐ２に掛かる各パターンａ２、ｄ２、
ｅ２、ｆ２を削除する。
【００４４】これにより、画像切り出し部１８は、図５
(a) に示すようにＸ方向にエッジを有する各パターンｂ
２、ｃ２のＸパターンの検査画像データを切り出す。
又、画像切り出し部１８は、検査画像データ２に対して
Ｙ方向に走査し、このＹ方向の各端ｑ１、ｑ２に掛かる
各パターンａ２、ｄ２、ｆ２を削除する。なお、パター
ンｂ２の端ｑ１に掛かる部分は削除される。
(a) に示すようにＸ方向にエッジを有する各パターンｂ
２、ｃ２のＸパターンの検査画像データを切り出す。
又、画像切り出し部１８は、検査画像データ２に対して
Ｙ方向に走査し、このＹ方向の各端ｑ１、ｑ２に掛かる
各パターンａ２、ｄ２、ｆ２を削除する。なお、パター
ンｂ２の端ｑ１に掛かる部分は削除される。
【００４５】これにより、画像切り出し部１８は、図５
(b) に示すようにＹ方向にエッジを有する各パターンｂ
２、ｃ２、ｅ２のＹパターンの検査画像データを切り出
す。次に主制御部１０は、ステップ＃３において重心算
出部１９に動作指令を発する。
(b) に示すようにＹ方向にエッジを有する各パターンｂ
２、ｃ２、ｅ２のＹパターンの検査画像データを切り出
す。次に主制御部１０は、ステップ＃３において重心算
出部１９に動作指令を発する。
【００４６】この重心算出部１９は、画像切り出し部１
８によりパターンの切り出しされた参照画像データ１の
Ｘ、Ｙ方向パターンの各画像データ、及び検査画像デー
タ２のＸ、Ｙ方向パターンの各画像データにおける各重
心位置を上記式(1)(2)を演算することにより求める。
８によりパターンの切り出しされた参照画像データ１の
Ｘ、Ｙ方向パターンの各画像データ、及び検査画像デー
タ２のＸ、Ｙ方向パターンの各画像データにおける各重
心位置を上記式(1)(2)を演算することにより求める。
【００４７】すなわち、図４(a) に示すように参照画像
データ１のＸ方向パターンの重心位置Ｇｘ１、及び同図
(b) に示すようにＹ方向パターンの重心位置Ｇｙ１が求
められる。
データ１のＸ方向パターンの重心位置Ｇｘ１、及び同図
(b) に示すようにＹ方向パターンの重心位置Ｇｙ１が求
められる。
【００４８】又、図５(a) に示すように検査画像データ
２のＸ方向パターンの重心位置Ｇｘ２、及び同図(b) に
示すようにＹ方向パターンの重心位置Ｇｙ２が求められ
る。次に主制御部１０は、ステップ＃４において位置ず
れ量検出部２０に動作指令を発する。
２のＸ方向パターンの重心位置Ｇｘ２、及び同図(b) に
示すようにＹ方向パターンの重心位置Ｇｙ２が求められ
る。次に主制御部１０は、ステップ＃４において位置ず
れ量検出部２０に動作指令を発する。
【００４９】この位置ずれ量検出部２０は、重心算出部
１９により算出された参照画像データ１のＸ方向パター
ンの重心位置Ｇｘ１、Ｙ方向パターンの重心位置Ｇｙ
１、及び検査画像データ２のＸ方向パターンの重心位置
Ｇｘ２、Ｙ方向パターンの重心位置Ｇｙ２を受け、上記
式(3) 及び(4) を演算してＸ方向及びＹ方向の各位置ず
れ量を検出する。
１９により算出された参照画像データ１のＸ方向パター
ンの重心位置Ｇｘ１、Ｙ方向パターンの重心位置Ｇｙ
１、及び検査画像データ２のＸ方向パターンの重心位置
Ｇｘ２、Ｙ方向パターンの重心位置Ｇｙ２を受け、上記
式(3) 及び(4) を演算してＸ方向及びＹ方向の各位置ず
れ量を検出する。
【００５０】すなわち、Ｘ、Ｙ方向の各位置ずれ量Ｘ
ｓ、Ｙｓは、 Ｘｓ＝Ｘ方向パターンの重心位置Ｇｘ２−重心位置Ｇｘ１ …(5) Ｙｓ＝Ｙ方向パターンの重心位置Ｇｙ２−重心位置Ｇｙ１ …(6) により求められる。
ｓ、Ｙｓは、 Ｘｓ＝Ｘ方向パターンの重心位置Ｇｘ２−重心位置Ｇｘ１ …(5) Ｙｓ＝Ｙ方向パターンの重心位置Ｇｙ２−重心位置Ｇｙ１ …(6) により求められる。
【００５１】従って、参照画像データ１と検査画像デー
タ２とは、Ｘ方向に重心位置Ｇｘ２−重心位置Ｇｘ１、
Ｙ方向に重心位置Ｇｙ２−重心位置Ｇｙ１の位置ずれを
生じていることが検出される。
タ２とは、Ｘ方向に重心位置Ｇｘ２−重心位置Ｇｘ１、
Ｙ方向に重心位置Ｇｙ２−重心位置Ｇｙ１の位置ずれを
生じていることが検出される。
【００５２】次に主制御部１０は、ステップ＃５におい
て位置ずれ補正部２１に動作指令を発する。この位置ず
れ補正部２１は、位置ずれ量検出部２０により検出され
たＸ方向及びＹ方向の各位置ずれ量Ｘｓ、Ｙｓに基づい
て参照画像データ１と検査画像データ２との位置補正を
行う。
て位置ずれ補正部２１に動作指令を発する。この位置ず
れ補正部２１は、位置ずれ量検出部２０により検出され
たＸ方向及びＹ方向の各位置ずれ量Ｘｓ、Ｙｓに基づい
て参照画像データ１と検査画像データ２との位置補正を
行う。
【００５３】このように上記一実施例においては、参照
画像データ１と検査画像データ２とにおける端に掛かる
各パターンを削除するとともにエッジの有するパターン
を切り出し、これら切り出された各画像データの重心位
置を算出し、次にこれら重心位置から参照画像データ１
と検査画像データ２との間の位置ずれ量を検出するよう
にしたので、参照画像データ１と検査画像データ２とに
おいて各パターンａ〜ｆ幅や線幅が異なっていても、こ
れら参照画像データ１と検査画像データ２との位置ずれ
量をＸ、Ｙ方向において精度高く検出できる。
画像データ１と検査画像データ２とにおける端に掛かる
各パターンを削除するとともにエッジの有するパターン
を切り出し、これら切り出された各画像データの重心位
置を算出し、次にこれら重心位置から参照画像データ１
と検査画像データ２との間の位置ずれ量を検出するよう
にしたので、参照画像データ１と検査画像データ２とに
おいて各パターンａ〜ｆ幅や線幅が異なっていても、こ
れら参照画像データ１と検査画像データ２との位置ずれ
量をＸ、Ｙ方向において精度高く検出できる。
【００５４】さらに、これらＸ、Ｙ方向の位置ずれ量に
基づいて参照画像データ１と検査画像データ２との位置
補正を行うので、これら参照画像データ１と検査画像デ
ータ２の各パターンａ〜ｆ幅や線幅が異なっていも、こ
れら参照画像データ１と検査画像データ２との間に位置
ずれを発生せずに高精度に位置合わせしてパターンマッ
チングできる。
基づいて参照画像データ１と検査画像データ２との位置
補正を行うので、これら参照画像データ１と検査画像デ
ータ２の各パターンａ〜ｆ幅や線幅が異なっていも、こ
れら参照画像データ１と検査画像データ２との間に位置
ずれを発生せずに高精度に位置合わせしてパターンマッ
チングできる。
【００５５】すなわち、図６に示すように参照画像デー
タ１と検査画像データ２との各パターン幅に差があって
も、これら画像データ１、２の各重心は、部分（イ）に
おいて同一座標を示すが、各部分（ロ）（ハ）では画像
データの端に掛かるために、位置ずれを起こす。
タ１と検査画像データ２との各パターン幅に差があって
も、これら画像データ１、２の各重心は、部分（イ）に
おいて同一座標を示すが、各部分（ロ）（ハ）では画像
データの端に掛かるために、位置ずれを起こす。
【００５６】ところが、上記一実施例では、参照画像デ
ータ１と検査画像データ２とにおける端に掛かる各パタ
ーンを削除してエッジを有するパターンを切り出しする
ので、参照画像データ１と検査画像データ２とにおいて
各パターンａ〜ｆ幅や線幅が異なっていても、参照画像
データ１と検査画像データ２との位置ずれ量をＸ、Ｙ方
向において精度高く検出でき、かつこれら参照画像デー
タ１と検査画像データ２とを高精度に位置合わせしてパ
ターンマッチングできる。
ータ１と検査画像データ２とにおける端に掛かる各パタ
ーンを削除してエッジを有するパターンを切り出しする
ので、参照画像データ１と検査画像データ２とにおいて
各パターンａ〜ｆ幅や線幅が異なっていても、参照画像
データ１と検査画像データ２との位置ずれ量をＸ、Ｙ方
向において精度高く検出でき、かつこれら参照画像デー
タ１と検査画像データ２とを高精度に位置合わせしてパ
ターンマッチングできる。
【００５７】ここで、参照画像データ１と検査画像デー
タ２とを位置合わせする場合、パターン幅等が異なって
いて位置ずれが生じると、疑似欠陥と判断されてしま
い、この疑似欠陥が大きな影響を与える。
タ２とを位置合わせする場合、パターン幅等が異なって
いて位置ずれが生じると、疑似欠陥と判断されてしま
い、この疑似欠陥が大きな影響を与える。
【００５８】又、半導体ウエハ、液晶ディスプレイ等の
被検査体の欠陥検出に適用すれば、参照画像データ１と
検査画像データ２とを高精度に位置合わせできることか
ら、欠陥検出の精度をも高めることができる。
被検査体の欠陥検出に適用すれば、参照画像データ１と
検査画像データ２とを高精度に位置合わせできることか
ら、欠陥検出の精度をも高めることができる。
【００５９】なお、本発明は、上記一実施例に限定され
るものでなく次の通り変形してもよい。例えば、重心算
出部１９は、図４(a) に示す参照画像データ１のＸ方向
のパターンに対してＹ方向に投影処理し、この投影処理
データからＸ方向重心Ｇｘ１を求めるとともに、同図
(b) に示す参照画像データ１のＹ方向のパターンに対し
てＸ方向に投影処理し、この投影処理データからＹ方向
重心Ｇｙ１を求め、かつ図５(a) に示す検査画像データ
２のＸ方向のパターンに対してＹ方向に投影処理し、こ
の投影処理データからＸ方向重心Ｇｘ２を求めるととも
に、同図(b) に示す検査画像データ２のＹ方向のパター
ンに対してＸ方向に投影処理し、この投影処理データか
らＹ方向重心Ｇｙ２を求めるようにしてもよい。
るものでなく次の通り変形してもよい。例えば、重心算
出部１９は、図４(a) に示す参照画像データ１のＸ方向
のパターンに対してＹ方向に投影処理し、この投影処理
データからＸ方向重心Ｇｘ１を求めるとともに、同図
(b) に示す参照画像データ１のＹ方向のパターンに対し
てＸ方向に投影処理し、この投影処理データからＹ方向
重心Ｇｙ１を求め、かつ図５(a) に示す検査画像データ
２のＸ方向のパターンに対してＹ方向に投影処理し、こ
の投影処理データからＸ方向重心Ｇｘ２を求めるととも
に、同図(b) に示す検査画像データ２のＹ方向のパター
ンに対してＸ方向に投影処理し、この投影処理データか
らＹ方向重心Ｇｙ２を求めるようにしてもよい。
【００６０】又、図７に示すように各画素Ａ〜Ｅを Ａ´＝０．９Ａ＋０．１Ｂ に従ってずらす際、図４(a)(b)に示すｂ１、ｃ１、ｅ１
の重心をそれぞれ求めて、その平均を図８に示すように
とって全体的に平均して画素をずらす方法と、図４(a)
に当て嵌めたときの例で図９に示すようにｂ１、ｃ１の
重心をそれぞれ求めて、ｂ１、ｃ１の間を補間してその
分画素をずらす方法とが考えられる。
の重心をそれぞれ求めて、その平均を図８に示すように
とって全体的に平均して画素をずらす方法と、図４(a)
に当て嵌めたときの例で図９に示すようにｂ１、ｃ１の
重心をそれぞれ求めて、ｂ１、ｃ１の間を補間してその
分画素をずらす方法とが考えられる。
【００６１】図４(a) ではもちろんＹ方向補間すること
となる。さらに、参照画像データ１と検査画像データ２
との位置ずれ量検出及びその位置合わせに限らず、各種
画像データの位置ずれ量検出及びその位置合わせに適用
でき、さらに画像データは２つに限らず複数の画像デー
タ間での位置ずれ量検出及びその位置合わせに適用でき
る。
となる。さらに、参照画像データ１と検査画像データ２
との位置ずれ量検出及びその位置合わせに限らず、各種
画像データの位置ずれ量検出及びその位置合わせに適用
でき、さらに画像データは２つに限らず複数の画像デー
タ間での位置ずれ量検出及びその位置合わせに適用でき
る。
【００６２】又、２値画像のパターンマッチングによる
位置合わせと、本発明のパターン重心を求めることによ
る位置合わせとを併用しても上記同様の効果を得ること
ができる。
位置合わせと、本発明のパターン重心を求めることによ
る位置合わせとを併用しても上記同様の効果を得ること
ができる。
【００６３】すなわち、図１０に示すように画像データ
にエッジ部のみしかないときには、Ｘ方向、Ｙ方向でパ
ターン切出しをすると画像がなくなるので、このような
場合には、図１１に示すように２値画像のパターンマッ
チングを行って位置合わせを行う。
にエッジ部のみしかないときには、Ｘ方向、Ｙ方向でパ
ターン切出しをすると画像がなくなるので、このような
場合には、図１１に示すように２値画像のパターンマッ
チングを行って位置合わせを行う。
【００６４】例えば、ステップ＃１０において参照画像
データをＸ方向、Ｙ方向に切出し、次のステップ＃１１
で検査画像データをＸ方向、Ｙ方向に切出す。次にステ
ップ＃１２においてこれら参照画像データ及び検査画像
データが、エッジ部のみであるかを判断し、エッジ部の
みでなければ、ステップ＃１３に移って重心測定を行
い、次のステップ＃１４において位置ずれ量を検出し、
次のステップ＃１５において位置ずれを補正する。
データをＸ方向、Ｙ方向に切出し、次のステップ＃１１
で検査画像データをＸ方向、Ｙ方向に切出す。次にステ
ップ＃１２においてこれら参照画像データ及び検査画像
データが、エッジ部のみであるかを判断し、エッジ部の
みでなければ、ステップ＃１３に移って重心測定を行
い、次のステップ＃１４において位置ずれ量を検出し、
次のステップ＃１５において位置ずれを補正する。
【００６５】ところが、ステップ＃１２において参照画
像データ及び検査画像データが、エッジ部のみであると
判断されると、ステップ＃１６に移って２値画像のパタ
ーンマッチングを行い、次のステップ＃１７において位
置ずれ量を検出し、そしてステップ＃１５において位置
ずれを補正する。
像データ及び検査画像データが、エッジ部のみであると
判断されると、ステップ＃１６に移って２値画像のパタ
ーンマッチングを行い、次のステップ＃１７において位
置ずれ量を検出し、そしてステップ＃１５において位置
ずれを補正する。
【００６６】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、各
画像データの線幅が異なっていもこれら画像データ間の
位置ずれ量を正確に検出できる画像処理方法及びその装
置を提供できる。
画像データの線幅が異なっていもこれら画像データ間の
位置ずれ量を正確に検出できる画像処理方法及びその装
置を提供できる。
【００６７】又、本発明によれば、各画像データの線幅
が異なっていもこれら画像データ間に位置ずれを発生せ
ずに位置合わせができる画像処理方法及びその装置を提
供できる。
が異なっていもこれら画像データ間に位置ずれを発生せ
ずに位置合わせができる画像処理方法及びその装置を提
供できる。
【図１】本発明に係わる画像処理装置の一実施例を示す
構成図。
構成図。
【図２】同装置における画像処理フローチャート。
【図３】参照画像データ及び検査画像データを示す模式
図。
図。
【図４】参照画像データに対してＸＹ方向の切り出しを
行った模式図。
行った模式図。
【図５】検査画像データに対してＸＹ方向の切り出しを
行った模式図。
行った模式図。
【図６】位置ずれの影響を説明するための図。
【図７】本発明の変形例である画素ずらしを示す図。
【図８】画素を全体的に平均してずらす方法を示す図。
【図９】画素を全体的に補間してずらす方法を示す図。
【図１０】エッジ部のみの画像データを示す模式図。
【図１１】パターンマッチングと重心測定による位置ず
れ補正を組み合わせた場合の流れ図。
れ補正を組み合わせた場合の流れ図。
【図１２】従来のパターンマッチングを示す図。
１０…主制御部、１１…バス、１２，１３…画像メモ
リ、１４…主画像メモリ、１５，１６…入力部、１７…
プログラムメモリ、１８…画像切り出し部、１９…重心
算出部、２０…位置ずれ検出部、２１…位置補正部。
リ、１４…主画像メモリ、１５，１６…入力部、１７…
プログラムメモリ、１８…画像切り出し部、１９…重心
算出部、２０…位置ずれ検出部、２１…位置補正部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０６Ｔ 7/60 Ｈ０１Ｌ 21/027 21/66 Ｊ 7514−4Ｍ 9061−5Ｈ Ｇ０６Ｆ 15/70 ３５０ Ｚ Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０２ Ｖ
Claims (8)
- 【請求項１】 少なくとも２つの画像データにおいてエ
ッジを有するパターンを切り出す第１のステップと、 この第１のステップによりパターンの切り出された各画
像データの重心位置を算出する第２のステップと、 この第２のステップにより算出された各重心位置から前
記各画像データ間の位置ずれ量を検出する第３のステッ
プと、 を有することを特徴とする画像処理方法。 - 【請求項２】 少なくとも２つの画像データにおいてエ
ッジを有するパターンを切り出す第１のステップと、 この第１のステップによりパターンの切り出された各画
像データの重心位置を算出する第２のステップと、 この第２のステップにより算出された各重心位置から前
記各画像データ間の位置ずれ量を検出する第３のステッ
プと、 この第３のステップにより検出された位置ずれ量に基づ
いて前記各画像データの位置補正を行う第４のステップ
と、を有することを特徴とする画像処理方法。 - 【請求項３】 第３のステップは、各重心位置の平均か
ら各画像データ間の位置ずれ量を検出することを特徴と
する請求項１又は２記載の画像処理方法。 - 【請求項４】 少なくとも２つの画像データに対してそ
れぞれＸ方向及びＹ方向に走査し、前記各画像データに
おける端に掛かるパターンを削除してエッジを有するパ
ターンを切り出しすることを特徴とする請求項１又は２
記載の画像処理方法。 - 【請求項５】 少なくとも２つの画像データにおけるエ
ッジを有するパターンを切り出す画像切り出し手段と、 この画像切り出し手段によりパターンの切り出された各
画像データの重心位置を算出する重心算出手段と、 この重心算出手段により算出された各重心位置から前記
各画像データ間の位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出
手段と、を有することを特徴とする画像処理装置。 - 【請求項６】 少なくとも２つの画像データにおけるエ
ッジを有するパターンを切り出す画像切り出し手段と、 この画像切り出し手段によりパターンの切り出された各
画像データの重心位置を算出する重心算出手段と、 この重心算出手段により算出された各重心位置から前記
各画像データ間の位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出
手段と、 この位置ずれ量検出手段により検出された位置ずれ量に
基づいて前記各画像データの位置補正を行う位置補正手
段と、を有することを特徴とする画像処理装置。 - 【請求項７】 位置ずれ量検出手段は、各重心位置の平
均から各画像データ間の位置ずれ量を検出することを特
徴とする請求項５又は６記載の画像処理装置。 - 【請求項８】 画像切り出し手段は、少なくとも２つの
画像データに対してそれぞれＸ方向及びＹ方向に走査
し、前記各画像データにおける端に掛かるパターンを削
除してエッジの有するパターンを切り出しすることを特
徴とする請求項５又は６記載の画像処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6165168A JPH0829117A (ja) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | 画像処理方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6165168A JPH0829117A (ja) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | 画像処理方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0829117A true JPH0829117A (ja) | 1996-02-02 |
Family
ID=15807157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6165168A Pending JPH0829117A (ja) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | 画像処理方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0829117A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009157325A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-16 | V Technology Co Ltd | 露光照明装置及び露光パターンの位置ずれ調整方法 |
-
1994
- 1994-07-18 JP JP6165168A patent/JPH0829117A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009157325A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-16 | V Technology Co Ltd | 露光照明装置及び露光パターンの位置ずれ調整方法 |
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