KR970007512A - 마스크와 마스크 또는 마스크와 작업편의 위치맞춤 방법 및 장치 - Google Patents

마스크와 마스크 또는 마스크와 작업편의 위치맞춤 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

더미를 사용하지 않고, 얼라이먼트용의 광원으로써 다색광을 사용할 수 있고, 수차보정의 필요가 없는 위치 맞춤방법 및 장치를 제공하기 위해 작업편(W)을 제거한 상태에서 광 조사부(LH2)에서 노광 파장광을 마스크(M2)에 조사하고, 적어도 작업편측이 텔리센트릭인 투영 렌즈(L1, L2)를 통하여 마스크(M1)에 투영시켜, 마스크(M2)의 얼라이먼트 마크(MA2)의 투영상과 마스크(M1)의 얼라이먼트 마크(MA1)가 중첩되도록 마스크(M1)(마스크 M2)를 이동시킨다. 또, 상기 조사광을 빔 스플릿터(BS)에 의해 분기하여, 얼라인먼트 마크(MA2)의 위치를 기억해 둔다. 다음에, 노광 파장광의 방출을 정지하고, 작업편(W)을 소정위치에 삽입하여, 광 조사부(LE)로부터 다색 비노광 파장광을 조사하여 작업편(W)의 얼라이먼트 마크(WA1)의 위치를 검출하고, 기억해 둔 얼라이먼트 마크(MA2)의 위치와 중첩되도록 작업편(W)을 이동시킨다.

Description

마스크와 마스크 또는 마스크와 작업편의 위치맞춤 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예의 위치맞춤장치의 구성을 도시하는 도면이다.

Claims (6)

  1. 광 조사부에서 노광 파장광을 제1마스크의 얼라이먼트 마크에 조사하고, 제2마스크의 얼라이먼트 마크와, 적어도 마스크측과 반대측이 텔리센트릭인 제1투영렌즈 및 제2투영렌즈를 통하여 제2마스크에 투영되는 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 투영상을 수상·화상처리하여 그 상대위치를 검출하고, 상기 양 얼라이먼트 마크의 상대위치 데이타를 연산해서, 상기 양 얼라이먼트 마크가 중첩되도록 제2마스크 및 또는 제1마스크를 이동시키는 것을 특징으로 하는 마스크와 마스크의 위치맞춤방법.
  2. 작업편을 제거한 상태에서 제1광 조사부에서 노광파장광을 제1마스크의 얼라이먼트 마크에 조사하고, 제2마스크의 얼라이먼트 마크와 적어도 작업편측 텔리센트릭인 제1투영렌즈 및 제2투영렌즈를 통하여 제2마스크에 투영되는 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 투영상을 수상해서, 양 얼라이먼트 마크의 상대위치를 검출하며, 상기 양 얼라이먼트 마크의 상대위치 데이타에 의거하여, 상기 양 얼라이먼트 마크가 중첩되도록 제1마스크 및/또는 제1마스크를 이동시키고, 상기 제1마스크의 얼라이먼트 마크에 대한 조사광을 제1투영렌즈 및 제2투영렌즈 사이에서 분기 또는 되돌아가게 해서, 상기 제1마스크의 얼라이먼트 마크를 수상하고 그 상대위치를 검출/기억 해 두며, 제1의 광 조사부로부터의 노광 파장광을 방출을 정지해서 작업편을 제1, 제2투영렌즈사이의 소정위치에 삽입하고, 제2광 조사부로부터 비노광 파장광을 작업편의 얼라이먼트 마크에 조사하고, 상기 작업편의 얼라이먼트 마크를 수상하여 그 상대위치를 검출/기억하고, 먼저 기억해 둔 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 상대위치 데이타와 상기 작업편의 얼라이먼트 마크의 상대위치 데이타에 의거하여, 양자가 중첩되도록 작업편을 이동시키는 것을 특징으로 하는 마스크와 작업편의 위치맞춤방법.
  3. 작업편을 제거한 상태에서 제1광 조사부에서 노광 파장광을 제1마스크의 얼라이먼트 마크에 조사하고, 제1마스크의 얼라이먼트 마크에 대한 조사광을 적어도 작업편측이 텔리센트릭인 제1투영렌즈를 통과시켜, 상기 통과광을 제1분기광과 제2분기광으로 분기하고, 상기 제1분기광을 적어도 작업편층이 텔리센트릭인 제2투영렌즈를 통과시켜, 상기 통과광을 제1분기광과 제2분기광으로 분기하고, 상기 제1분기광을 적어도 작업편측이 텔리센트릭인 제2투영렌즈를 통과시켜 제2마스크에투영되는 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 투영상과 제2마스크의 얼라이먼트 마크를 수상하여, 양 얼라이먼트 마크의 상대위치를 검출하고 상기 제2분기광을 사용하여 상기 제1마스크의 얼라이먼트 마크를 수상해서, 그 상대위치를 검출/기억해 두고, 상기 양 얼라이먼트 마크의 상대위치 데이타에 의거하여 상기 양 얼라이먼트 마크가 중첩되도록 제1마스크 및/또는 제1마스크를 이동시키고, 상기 제1광 조사부로부터의 노광 파장광의 방출을 정지해서, 작업편을 제1, 제2의 투영렌즈사이의 소정위치에 삽입하고, 제2의 광 조사부로부터 비노광 파장광을 작업편의 얼라이머트 마크에 조사하고, 상기 작업편의 얼라이먼트 마크를 수상해서, 그 상대위치를 검출/기억하고, 먼저 기억해 둔 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 상대위치 데이타와 상기 작업편의 얼라이먼트 마크의 상대위치 데이타에 의거하여 양자가 중첩되도록 작업편을 이동시키는 것을 특징으로 하는 마스크와 작업편의 위치맞춤방법.
  4. 제1마스크와, 상기 제1마스크를 이동시키는 제1마스크 스테이지 이동기구와, 적어도 마스크측과 반대측이 텔리센트릭인 제1투영렌즈와, 제2마스크와 상기 제2마스크를 이동시키는 제2마스크 스테이지 이동기구와, 적어도 마스크측과 반대측이 텔리센트릭인 제2투영렌즈와, 노광 파장광을 제1마스크의 얼라이먼트 마크에 조사하는 광 조사부와, 상기 광 조사부로부터 방출되는 노광 파장광에 의해 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 투영상을 수상함과 동시에, 제2마스크의 얼라이먼트 마크를 수상하는 수상수단과, 상기 수단수단이 수상한 화상 데이타에 의거하여, 제1마스크 스테이지 이동기구 및 제2마스크 스테이지 이동기구를 제어하는 제어수단을 구비하고, 상기 제어수단은 상기 광 조사부가 노광 파장광을 방출하고 있을 때, 제2마스크의 얼라이먼트 마크와 제1투영렌즈 및 제2투영렌즈를 통하여 제2마스크에 투영되는 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 투영상을 수상·화상처리하여 그 상대위치를 검출하고, 상기 양 얼라이먼트 마크의 상대위치 데이타를 연산해서 상기 양 얼라이먼트 마크가 중첩되도록 제2마스크 및 또는 제1마스크를 이동시키는 것을 특징으로 하는 마스크와 마스크의 위치맞춤방법.
  5. 제1마스크와, 상기 제1마스크를 이동시키는 제1마스크 스테이지 이동기구와, 적어도 마스크측과 반대측이 텔리센트릭인 제1투영렌즈와 작업편과 상기 작업편을 이동시키는 작업편 스테이지 이동기구와, 제2마스크와, 상기 제2마스크를 이동시키는 제2마스크 스테이지 이동기구와, 적어도 마스크측과 반대측이 텔리센트릭인 제2투영렌즈와, 노광 파장광을 제1마스크의 얼라이먼트 마크에 조사하는 제1광 조사부와, 비노광 파장광을 작업편의 얼라이먼트 마크에 조사하는 제2광 조사부와, 상기 제1광 조사부로부터 방출되는 노광 파장광에 의해 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 투영상을 수상함과 동시에, 제2마스크의 얼라이먼트 마크를 수상하는 제1수상수단과, 상기 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 조사광을 제1투영렌즈 및 제2투영렌즈 사이에서 분기시키는 광분기수단 또는 상기 조사광을 되돌리는 광되돌림수단과, 상기 분기수단에 의해 분기된 분기광 또는 상기 광되돌림수단에 의해 되돌려진 되돌림광에 의한 상기 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 투영상을 수상함과 동시에, 상기 제2광 조사부로부터 방출되는 비노광 파장광에 의한 작업편의 얼라이먼트 마크를 수상하는 제2수상수단과, 제1수상수단이 수상한 화상데이타에 의거하여 제1마스크 스테이지 이동기구 및/또는 제2마스크 스테이지 이동기구를 제어함과 동시에, 상기 제2수상수단이 수상한 화상 데이타에 의거하여, 작업편 스테이지 이동기구를 제어하는 제어수단을 구비하고, 상기 제어수단은 작업편을 제거한 상태에서 상기 제1의 광 조사부로부터 노광 파장광을 방출시키고, 제2마스크의 얼라이먼트 마크와 제1투영렌즈 및 제2투영렌즈를 통하여 제2마스크에 투영되는 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 투영상을 수상·화상처리해서 그 상대위치를 검출하고, 상기 제2마스크의 얼라이먼트 마크와 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 투영상의 상대위치 데이타를 연산해서, 양자가 중첩되도록 제2마스크/및 또는 제1마스크를 이동시키고, 상기 제1마스크의 얼라이먼트 마크에 대한 조사광을 제1투영렌즈 및 제2투영렌즈의 사이에서 분기시킨 분기광 또는 되돌려진 되돌림광에 의한 상기 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 투영상을 수상 화상처리해서 그 상대위치를 검출/기억하고, 제1광 조사부로부터의 노광 파장광의 방출을 정지해서 작업편을 제1, 제2의 투영렌즈 사이의 소정위치에 삽입하고, 제2의 광 조사부로부터 비노광 파장광을 방출시켜, 작업편의 얼라이먼트 마크를 수상·화상처리해서 그 상대위치를 검출하고, 먼저 기억해 둔 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 상대위치 데이타와 상기 작업편의 얼라이먼트 마크의 상대위치 데이타에 의거하여 양자가 중첩되도록 작업편을 이동시키는 것을 특징으로 하는 마스크와 마스크의 위치맞춤장치.
  6. 제1마스크와, 상기 제1마스크를 이동시키는 제1마스크 스테이지 이동기구와, 적어도 마스크측과 반대측이 텔리센트릭인 제1투영렌즈와, 작업편과, 상기 작업편을 이동시키는 작업편 스테이지 이동기구와, 제2마스크와 상기 제2마스크를 이동시키는 제2마스크 스테이지 이동기구와 적어도 마스크측과 반대측이 텔리센트릭인 제2투영렌즈와 노광 파장광을 제1마스크의 얼라이먼트 마크에 조사하는 제1의 광 조사부와, 비노광 파장광을 작업편의 얼라이먼트 마크에 조사하는 제2의 광 조사부와 상기 제1광 조사부로부터 방출되는 노광 파장광에 의해 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 투영상을 수상함과 동시에, 제2마스크의 얼라이먼트 마크를 수상하는 제1수상수단과, 상기 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 조사광을 제1투영렌즈 및 제2투영렌즈 사이에서 분기시키는 광분기수단과, 상기 광 분기수단에 의해 분기된 분기광에 의한 상기 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 투영상을 수상함과 동시에, 상기 제2광 조사부로부터 방출되는 비노광 파장광에 의한 작업편의 얼라이먼트 마크를 수상하는 제2수상수단과, 상기 제1수상수단이 수상한 화상데이타에 의거하여, 제1마스크 스테이지 이동기구 및 또는 제2마스크 스테이지 이동기구를 제어함과 동시에, 상기 제2수상수단이 수상한 화상 데이타에 의거하여, 작업편 스테이지 이동기구를 제어하는 제어수단을 구비하고, 상기 제어수단은 작업편을 제거한 상태에서 상기 제1의 광 조사부로부터 노광 파장광을 방출시켜, 제2마스크의 얼라이먼트 마크와 ,제1투영렌즈 및 제2투영렌즈를 통하여 제1마스크에 투영되는 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 투영상을 수상·화상처리하여 그 상대위치를 검출하고, 동시에 상기 제1마스크의 얼라이먼트 마크에 대한 조사광을 제1투영렌즈 및 제2투영렌즈 사이에서 분기시킨 분기광에 의한 상게 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 투영상을 수상·화상처리하여 그 상대위치를 검출하고, 동시에 상기 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 투영상을 수상·화상처리하여 그 상대위치를 검출/기억해 두고, 상기 제2마스크의 얼라이먼트 마크와 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 투영상의 상대위치 데이타를 연산해서, 양자가 중첩되도록 제2마스크 및 또는 제1마스크를 이동시키고, 제1의 광 조사부로부터의 노광 파장광의 방출을 정지해서 작업편을 제1, 제2의 투영렌즈 사이의 소정위치에 삽입하고, 제2의 광 조사부로부터 비노광 파장광을 방출시켜 작업편의 얼라이먼트 마크를 수상·화상처리해서 그 상대위치를 검출하고, 먼저 기억 해 둔 제1마스크의 얼라이먼트 마크의 상대위치 데이타와 상기 작업편의 얼라이먼트 마크의 상대위치 데이타에 의거하여 양자가 중첩되도록 작업편을 이동시키는 것을 특징으로 하는 마스크와 작업편의 위치맞춤장치.
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