KR970016838A - 마스크와 작업편의 위치맞춤 방법 및 장치 - Google Patents

마스크와 작업편의 위치맞춤 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

고정밀도의 위치맞춤을 할 수 있고, 순차 노광에 적용하는데 적합한 마스크와 작업편의 위치맞춤 방법 및 장치를 제공하기 위해 작업편 스테이지(4)상의 작업편 고정영역과 떨어진 위치에 반사부재(4a)를 설치한다. 그리고 노광광 조사장치(1)로부터 노광광을 마스크(M)에 조사하여, 상기 반사부재(4a)에 마스크(M)의 얼라인먼트·마크를 투영하고, 투영상을 수상하여 그 상대위치를 기억한다. 이어서 상기 노광광의 조사를 정지하고, 작업편(W)이 적재된 작업편 스테이지(4)를 마스크(M)의 얼라인먼트·마크가 작업편(W)상에 투영되는 위치로 이동시켜, 비노광광을 작업편(W)의 얼라인먼트·마크에 조사하고, 작업편의 얼라인먼트·마크를 수상하여 그 상대위치를 검출한다. 그리고, 양 얼라이먼트·마크의 위치가 중첩되도록 작업편(W) 및/또는 마스크(M)를 이동시킨다.

Description

마스크와 작업편의 위치맞춤 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예를 도시하는 도면이다.

Claims (4)

  1. 제1광조사부로부터 노광광을 마스크의 얼라이먼트·마크에 조사하고, 작업편 스테이지상에서 작업편 고정영역으로부터 떨어진 위치에 설치된 반사부재에 마스크의 얼라이먼트·마크를 투영하여 상기 투영상을 수상 화상처리하여 그 상대위치를 검출/기억하고, 제1광조사부로부터의 노광광의 방출을 정지한 후, 작업편이 적재된 작업편 스테이지를 마스크상의 얼라이먼트·마크가 상기 작업편상에 투영되는 위치로 이동시켜, 상기 제1광조사부 혹은 제2광 조사부로부터 비노광광을 작업편의 얼라이먼트·마크로 조사하고, 작업편의 얼라이먼트·마크를 수상 화상처리하여 상대위치를 검출/기억하고, 상기 양 얼라이먼트·마크의 상대위치 데이터를 연산하여 상기 양 얼라이먼트·마크가 중첩되도록 작업편 및/또는 마스크를 이동시키는 것을 특징으로 하는 마스크와 작업편의 위치맞춤 방법.
  2. 다수의 노광구역을 가지는 작엽편이 적재된 작업편 스테이즈를 소정량씩 이동시킴으로써, 작업편상의 상기 각 노광구역을 노광위치로 순차 이동시키고, 노광광을 마스크상에 조사하여 작업편상의 각 노광구역을 순차 노광할 시에, 작업편 스테이지상의 작업편 고정영역으로부터 떨어진 위치에 반사부재를 배치하고, 노광광을 마스크의 얼라이먼트·마크에 조사한 때에 상기 얼라인먼트·마크가 상기 반사부재상에 투영되는 위치에 작업편 스테이지를 이동시키고, 제1광조사부로부터 노광광을 마스크의 얼라이먼트·마크에 조사하고, 상기 반사부재에 마스크의 얼라이먼트·마크를 투영하여 상기 투영상을 수상 화상처리하여 그 상대위치를 검출/기억하고, 제1광조사부로부터의 노광광의 방출을 정지하고, 작업편 스테이지상에 적재된 작업편상에 상기 마스크의 얼라이먼트·마크의 투영상의 위치가 오도록 상기 작업편을 이동시켜, 상기 제1광조사부 혹은 제2광조사부로부터 비노광광을 작업편의 얼라이먼트·마크에 조사하고, 작업편의 얼라이먼트·마크를 수상 화상처리하여 그 상대위치를 검출/기억하고, 상기 양 얼라이먼트·마크의 상대위치 데이타를 연산해서 상기 양 얼라이먼트·마크가 중첩되도록 작업편 및/또는 마스크를 이동시켜, 마스크와 작업편의 위치 맞춤을 하는 것을 특징으로 하는 마스크와 작업편의 위치맞춤 방법.
  3. 마스크와 상기 마스크를 이동시키는 마스크 스테이지와, 투영렌즈와, 작업편과 상기 작업편을 이동시키는 작업편 스테이지와, 비노광광 혹은 노광광을 마스크의 얼라이먼트·마크 및/또는 마스크 스테이지에 조사하는 제1광조사부와, 작업편 스테이지상의 작업편 고정영역으로부터 떨어진 위치에 설치되고, 상기 제1광조사부로 부터 방출되는 노광광에 의한 마스크의 얼라이먼트·마크의 투영상에 결상하는 반사부재와, 마스크의 얼라이먼트·마크의 투영상을 수상함과 동시에, 상기 제1광조사부 혹은 제2광 조사부로부터 방출되는 비노광광에 의해 조명되는 작업편의 얼라이먼트·마크를 구상하는 수상수단과, 상기 수상수단이 수상한 화상 데이타에 의거하여, 마스크 및/또는 작업편을 이동시키고, 또 상기 제1광 조사부로부터의 노광광의 방출을 제어하는 제어수단을 구비하고, 상기 제어수단은 마스크의 얼라이먼트·마크의 투영위치에 상기 반사부재가 배치되도록 작업편 스에티지를 이동시켜, 제1광 조사부로부터 노광광을 마스크상에 조사해서, 상기 반사부재에 투영되는 마스크의 얼라이먼트·마크 투영상을 수상·화상처리하여 그 상대위치를 검출/기억하고, 제1의 광조사부로부터의 노광광의 방출을 정지한 후, 마스크상의 얼라이먼트·마크가 상기 작업편상에 투영되는 위치에 작업편을 이동시켜, 상기 제1의 광조사부 혹은 제2광조사부로부터 비노광광을 작업편의 얼라이먼트·마크에 조사하고, 작업편의 얼라이먼트·마크를 수상·화상처리하여 상대위치를 검출/기억하고, 상기 양 얼라이먼트·마크의 상대위치 데이타를 연산해서, 상기 양 얼라이먼트·마크가 중첩되도록 작업편 및/또는 마스크를 이동시켜, 마스크와 작업편의 위치맞춤을 행하는 것을 특징으로 하는 마스크와 작업편의 위치맞춤 장치.
  4. 마스크와 상기 마스크를 이동시키는 마스크 스테이지와, 투영 렌즈와, 다수의 노광구역을 가지는 작업편과, 상기 작업편을 이동시키는 작업편 스테이지와, 비노광광 혹은 노광광을 마스크의 얼라이먼트·마크 및/또는 마스크 패턴에 조사하는 제1광조사부와, 작업편 스테이지상의 작업편 고정영역으로부터 떨어진 위치에 설치되고, 상기 제1광조사부로부터 방출되는 노광광에 의한 마스크의 얼라이먼트·마크의 투영상이 결상하는 반사부재와, 마스크의 얼라이먼트·마크의 투영상을 수상함과 동시에, 상기 제1광조사부 혹은 제2광조사부로부터 방출되는 비노광광에 의해 조명되는 작업편의 얼라이먼트·마크를 수상하는 수상수단과, 작업편이 적재된 작업편 스테이지를 소정량씩 이동시켜 작업편상의 상기 각 노광구역을 노광위치로 순차 이동시키고, 상기 수상수단이 수상한 화상 데이타에 의거하여 마스크와 작업편의 얼라이먼트·마크가 중첩되도록 작업편 및/또는 마스크를 이동시켜 마스크와 작업편의 위치맞춤을 행하고, 노광광을 마스크상에 조사시켜 작업편상의 각 노광구역에 순차 노광시키는 제어수단을 구비하고, 상기 제어수단은 마스크의 얼라이먼트·마크의 투영위치에 상기 반사부재가 배치되도록 작업편 스테이지를 이동시켜, 제1광조사부로부터 노광광을 마스크상에 조사해서, 상기 반사부재에 투영되는 마스크의 얼라이먼트·마크 투영상을 수상·화상처리하여 그 상대위치를 검출/기억하고, 제1광조사부로부터의 노광광의 방출을 정지한 후, 마스크의 얼라이먼트·마크의 투영위치에 작업편상의 노광대상이 되는 노광구역이 위치하도록 작업편을 이동시켜, 상기 제1광조사부 혹은 제2광조사부로부터 비노광광을 작업편의 얼라이먼트·마크에 조사하여, 작업편의 얼라이먼트·마크를 수상 화상처리하여 상대위치를 검출/기억하고, 상기 양 얼라이먼트·마크의 상대위치 데이타를 연산해서, 상기 양 얼라이먼트·마크가 중첩하도록 작업편 및/또는 마스크를 이동시켜 마스크와 작업편의 위치맞춤을 하는 것을 특징으로 하는 마스크와 작업편의 위치맞춤 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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