KR960005929A - 자기 플럭스 처리용 정전 척 - Google Patents

Abstract

자기 플럭스(43)를 포함하는 처리챔버(40)에서 기판(42) 고정용 정전척(20)은 받침대상에 기판(42)을 받치기에 적합한 상부 표면을 갖는 받침대(22)를 포함한다. 내부에 전극(24)을 갖는 절연체(26)는 받침대(22)상에 있다. 강자성 물질을 포함하는 자기 분류기(34)는 (ⅰ) 받침대(22)상에, 또는 (ⅱ) 절연체(26) 내에, 또는 (ⅲ) 받침대(22) 바로 아래 및 인접한 곳에 위치된다.

Description

자기 플럭스 처리용 정전 척

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 정전 척을 포함하는 처리 챔버의 횡단면의 측면입면도이다.

Claims (35)

1. 자기 플럭스를 포함하는 처리 챔버에서 사용된 정전 척에 있어서, 상기 척은 (a) 기판을 받치기에 적합한 상부 표면을 갖는 받침대; (b) 내부에 전극을 갖는 받침대상의 절연체; 및 (c) 받침대 위에 강자성체 자기 분류기를 포함하며, 척이 처리 챔버내에서 기판을 정전기적으로 고정하기 위하여 사용되는 경우, 받침대 위의 자기 분류기는 챔버내에서 자기 척에 가까운 기판의 부분위에 감소될 자기 플럭스를 야기하는 것을 특징으로 하는 정전 척.
2. 자기 플럭스를 포함하는 처리 챔버에서 사용되는 정전 척에 있어서, 상기 척은 (a) 기판을 제공하기 적당한 상부 표면을 갖는 받침대; (b) 내부에 전극을 갖는 받침대상의 절연체; 및 (c) 받침대와 절연체 사이에 있으며 받침대와 직접 접촉된 강자성체 자기 분류기를 포함하며, 척이 처리 챔버내에서 기판을 정전기적으로 고정하기 위하여 사용되는 경우, 받침대 위의 자기 분류기는 챔버내에서 자기 척에 가까운 기판의 부분위에 감소될 자기 플럭스를 야기하는 것을 특징으로 하는 정전 척.
3. 자기 플럭스를 포함하는 처리 챔버에서 사용되는 정전 척에 있어서, 상기 척은 (a) 기판을 제공하기 적당한 상부 표면을 갖는 받침대; (b) 내부에 (ⅰ)전극, 및 (ⅱ) 강자성체 자기 분류기를 갖는 받침대상의 절연체를 포함하며, 척이 처리 챔버내에서 기판을 정전기적으로 고정하기 위하여 사용되는 경우, 절연체 내의 자기 분류기는 챔버내의 자기 플럭스가 전극에 인접한 기판의 부분위에서 감소될 것을 특징으로 하는 정전 척.
4. 자기 플럭스를 포함하는 처리 챔버에서 사용되는 정전 척에 있어서, 상기 척은 a) 기판을 제공하기 적당한 상부 표면을 갖는 받침대; b) 받침대상의 절연체; 및 c) 자기 분류기로 동작하기 위한 강자성체 물질을 포함하는 전극의 적어도 하나의 부분인 절연체 내의 전극을 포함하며, 척이 처리 챔버내에서 기판을 정전기적으로 고정하기 위하여 사용되는 경우, 전극내의 강자성체 물질은 챔버내에 자기 플럭스가 전극에 인접한 기판의 부분위에서 감소될 것을 특징으로 하는 정전 척.
5. 자기 플럭스를 포함하는 처리 챔버에서 사용되는 정전 척에 있어서, 상기 척은 (a) 하나의 받침대; (b) 기판을 받치기에 적당하고 그 내부에 공동을 가지는 받침대상의 기판 받침; (c) 기판 받침상의 절연된 전극; 및 (d) 기판 받침의 공동내의 강자성체 물질을 포함하는 자기 분류기를 포함하며, 척이 자기 플럭스를 포함하는 챔버내에서 기판을 정전기적으로 고정하기 위하여 사용되는 경우, 자기 분류기는 챔버내의 자기 플럭스가 분류기에 인접한 기판의 부분위에서 감소될 것을 특징으로 하는 정전 척.
6. 자기 플럭스를 포함하는 처리 챔버에서 사용되기 위한 정전 척에 있어서, 상기 척은 (a) 기판을 받치기에 적합한 상부 표면을 갖는 받침대; (b) 받침대상에 깊속히 묻힌 전극을 갖는 절연체; 및 (c) 강자성 물질을 포함하며, 베이스 바로 아래쪽에 배치되고, 및 받침대와 연속되는 연속적인 고리모양 자기 분류기를 포함하며, 척이 처리 챔버내에서 기판을 정전기적으로 고정하기 위하여 사용되는 경우, 자기 분류기는 챔버내의 자기플럭스가 분류기에 인접한 기판의 부분위에서 감소될 것을 특징으로 하는 정전 척.
7. 제6항에 있어서, (a) 받침대로 부터 아래쪽으로 확장된 주변 내벽, 및 (b) 접속기 받침 및 그들 사이의 간격으로 규정되는 받침대로 부터 확장된 전기적 접속기 받침을 더 포함하는 주변 내벽, 연속적인 고리모양 분류기의 부분이 접속기 받침 및 받침대 사이의 간격으로 확장되는 것을 특징으로 하는 정전 척.
8. 자기 플럭스에서 기판을 처리하기 위한 처리 챔버에 있어서, 상기 처리 챔버는; (a) 처리 챔버내에서 자기 플럭스를 생성하기 위한 자기 플럭스 생성기; 및 (b) 제1항의 정전 척을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리용 처리 챔버.
9. 제1항에 있어서, 받침대는 6 내지 10 인치의 직경을 갖는 원형 플레이트인 것을 특징으로 하는 정전 척.
10. 제1항에 있어서, 자기 분류기는 구조면에서 실질적으로 평면인 것을 특징으로 하는 정전 척.
11. 제1항에 있어서, 자기 분류기는 전극 주변에 원주형로 배치되는 것을 특징으로 하는 정전 척.
12. 제1항에 있어서, 자기 분류기는 고리묘양인 것을 특징으로 하는 정전 척.
13. 제12항에 있어서, 고리모양 자기 분류기는 내부 직경이 약 100㎜인 것을 특징으로 하는 정전 척.
14. 제12항에 있어서, 고리모양 자기 분류기는 외부 직경이 약 225㎜보다 작은 것을 특징으로 하는 정전 척.
15. 제1항에 있어서, 자기 분류기가 약 100 내지 1000미코론 범위의 두께를 갖는 특징으로 하는 정전 척.
16. 제1항에 있어서, 자기 분류기는 연속적인 것을 특징으로 하는 정전 척.
17. 제1항에 있어서, 자기 분류기는 세그먼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척.
18. 제17항에 있어서, 자기 분류기내의 세그먼트들은 두께들을 갖는 것을 특징으로 하는 정전 척.
19. 제1항에 있어서, 자기 분류기는 적어도 약 1000의 상관 자기 도자율을 갖는것을 특징으로 하는 정전 척.
20. 제1항에 있어서, 자기 분류기는 철, 니켈, 코발트, 및 그들의 합금으로 구성된 그룹으로 부터 선택된 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척.
21. 자기 플럭스를 얻을 수 있는 처리 챔버에서 사용되는 정전 척에 있어서, 상기 척은 (a) 상부 받침 표면을 갖는 비-강자성 물질의 받침대; (b) 내부에 전극 및 그 위에 기판을 받치기에 적합한 상부 표면을 가지는 받침대의 상부 표면상의 절연체; (c) 절연체의 상부 표면 아래의 강자성 물질로 된 자기 분류기, 상기 자기 분류기는 강자성 물질을 절연체의 둘레 방향으로 바람직하게 집중하는 구조를 갖는 것을 포함하며, 전극이 기판을 정전기적으로 고정하기 위하여 척에 사용되고, 자기 플럭스를 사용하는 기판의 처리과정이 진행중인 경우, 자기 분류기는 분류기의 강자성 물질의 분포에 따라 기판 위의 플럭스를 감소하는 것을 특징으로 하는 정전 척.
22. 제21항에 있어서, 상기 자기 분류기는 구조적으로 평면인 것을 특징으로 하는 정전 척.
23. 제21항에 있어서, 상기 자기 분류기는 구조적으로 고리모양인 것을 특징으로 하는 정전 척.
24. 제21항에 있어서, 상기 자기 분류기 및 전극은 하나의 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척.
25. 제21항에 있어서, 자기 분류기는 상기 받침대 위에 위치하는 것을 특징으로 하는 정전 척.
26. 제21항에 있어서, 자기 분류기는 받침대와 절연체 사이에 위치하고 받침대에 접촉되어 위치하는 것을 특징으로 하는 정전 척.
27. 제21항에 있어서, 자기 분류기는 절연체에 위치하는 것을 특징으로 하는 정전 척.
28. 제21항에 있어서, 자기 분류기는 받침대에 위치하는 것을 특징으로 하는 정전 척.
29. 제21항에 있어서, 자기 플럭스는 절연체의 상부 표면과 평행인 구성요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척.
30. 자기 플럭스내에서 기판을 처리하기 위한 정전 척을 형성하는 방법에 있어서, 상기 방법은; (a) 받침대 위에 기판을 받치기에 적합한 받침대를 형성하는 단계; (b) 받침대 위에 강자성 물질을 포함하는 자기 분류기를 형성하는 단계; (c) 절연체 내부, 받침대상, 및 자기 분류기에 인접한 전극을 갖는 절연체를 형성하는 단계를 포함하며, 척이 자기 플럭스를 포함하는 챔버내에 기판을 정전기적으로 고정하기 위하여 사용되는 경우, 자기 분류기는 챔버내에서 자기 척에 가까운 기판의 부분위에 감소될 자기 플럭스를 야기하는 것을 특징으로 하는 정전 척 형성 방법.
31. 제30항에 있어서, 자기 분류기는 받침대위에 직접 형성되는 것을 특징으로 하는 정전 척 형성 방법.
32. 제30항에 있어서, 자기 분류기는 절연체내에 형성되는 것을 특징으로 하는 정전 척 형성 방법.
33. 제30항에 있어서, 절연체내의 전극이 자기 분류기를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척 형성 방법.
34. 제30항에 있어서, 자기 분류기는 도금, 화학적 증기 증착, 또는 물리적 증기 증착을 포함하는 그룹으로 부터 선택된 방법에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 정전 척 형성 방법.
35. 제30항에 있어서, 자기 분류기는 철, 니켈, 코발트, 및 그들의 합금을 포함한 그룹으로 부터 선택된 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척 형성 방법.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.