JP2010177698A - 静電チャックの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板(12)上に1014Ωcm以上の抵抗を有する接着剤層(22)を形成し、接着剤層上に、電極が埋設されるとともに1014Ωcm以上の抵抗を有する表面絶縁層(14)を形成する。或いは、基板上に108 Ωcm以上1011Ωcm以下の抵抗を有する接着剤層を形成し、接着剤層上に、電極が埋設されるとともに108 Ωcm以上1011Ωcm以下の抵抗を有する表面絶縁層を形成することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の第1実施例の静電チャック10を示す図である。静電チャック10は、アルミニウムの基板12と、円板状のセラミックの表面絶縁層14とからなる。この表面絶縁層14は平坦な円板状の電極16a,16bを有する。各電極16a,16bは例えば半円形状、あるいは櫛歯状に形成されることができる。電極16a,16bは例えば蒸着により表面絶縁層14の表面に設けられ、導線18,20により電源に接続される。ウエハWは表面絶縁層14にのせられ、クーロン力により静電チャック10に保持される。
12 基板
14 表面絶縁層
16,16a,16b 電極
22 接着剤層
Claims (30)
- 基板上に1014Ωcm以上の抵抗を有する接着剤層を形成し、前記接着剤層上に、電極が埋設されるとともに1014Ωcm以上の抵抗を有する表面絶縁層を形成することを特徴とする静電チャックの製造方法。
- セラミックの第1グリーンシートと、電極が付されたセラミックの第2グリーンシートとの重ね合わせて、前記表面絶縁層を形成することを特徴とする請求項1に記載の静電チャックの製造方法。
- 前記第1グリーンシートと前記第2グリーンシートとを焼成することで前記表面絶縁層を形成することを特徴とする請求項2に記載の静電チャックの製造方法。
- 前記接着剤層を取り囲むシールを形成することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 前記表面絶縁層は、セラミックを含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 前記表面絶縁層は、Al2 O3 ,MgO,SiO2 ,およびCaOの内の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1に記載の静電チャックの製造方法。
- 前記接着剤層は、ジルコニア、マグネシア、およびアルミナの内の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 前記基板は、アルミニウムを含むことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 1個の前記電極が埋設されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 複数の前記電極が埋設されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 前記電極に接続される導線を形成することを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 前記導線を、前記基板側に配設することを特徴とする請求項11に記載の静電チャックの製造方法。
- 円板状の前記電極が埋設されることを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 半円形状の前記電極が埋設されることを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 櫛歯状の前記電極が埋設されることを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 基板上に108 Ωcm以上1011Ωcm以下の抵抗を有する接着剤層を形成し、前記接着剤層上に、電極が埋設されるとともに108 Ωcm以上1011Ωcm以下の抵抗を有する表面絶縁層を形成することを特徴とする静電チャックの製造方法。
- セラミックの第1グリーンシートと、電極が付されたセラミックの第2グリーンシートとの重ね合わせて、前記表面絶縁層を形成することを特徴とする請求項16に記載の静電チャックの製造方法。
- 前記第1グリーンシートと前記第2グリーンシートとを焼成することで前記表面絶縁層を形成することを特徴とする請求項17に記載の静電チャックの製造方法。
- 前記接着剤層を取り囲むシールを形成することを特徴とする請求項16〜18のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 前記表面絶縁層は、セラミックを含むことを特徴とする請求項16〜19のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 前記表面絶縁層は、Al2 O3 ,MgO,SiO2 ,CaO,TiO2 ,およびCr2 O2の内の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項16〜20のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 前記接着剤層は、ジルコニア、マグネシア、およびアルミナの内の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項16〜21のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 前記基板は、アルミニウムを含むことを特徴とする請求項16〜22のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 1個の前記電極が埋設されることを特徴とする請求項16〜23のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 複数の前記電極が埋設されることを特徴とする請求項16〜23のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 前記電極に接続される導線を形成することを特徴とする請求項16〜25のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 前記導線を、前記基板側に配設することを特徴とする請求項26に記載の静電チャックの製造方法。
- 円板状の前記電極が埋設されることを特徴とする請求項16〜27のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 半円形状の前記電極が埋設されることを特徴とする請求項16〜27のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
- 櫛歯状の前記電極が埋設されることを特徴とする請求項16〜27のいずれか1項に記載の静電チャックの製造方法。
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