KR960003003A - 레이저 다이오드 및 그 제조방법 - Google Patents
레이저 다이오드 및 그 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
전류 제한 특성이 향상된 고효율의 레이저 다이오드 및 그 제조방법에 관하여 개시한다.본 발명은 저면에 하부전극이 형성된 기판과,상기 기판상에 형성되는 활성층과,상기 활성층의 상부 및 하부에 각각 형성되는 상부 클래드층과 하부 클래드층과,상기 상부 크래드층에 부분적으로 전류를 공급하는 상부 전극을 갖춘 레이저 다이오드에 있어서,상기 활성층의 중앙부위에 역메사구조의 상부 클래드층이 형성되고,상기 활성층의 제한된 영역에 전류를 제한적으로 공급할 수 있도록 상기 상부 클래드층의 양측에 불순물이 도핑되지 않은 전류차단층이 형성된다. 본 발명에 의하면,상기 절연층,상기 전류차단층 및 역메사구조의 상부클래드층으로 인하여,전류 제한 효과가 우수하고,성능 및 신뢰성을 향상된 레이저 다이오드를 얻을 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 레이저 다이오드의 개략적 단면도이다.
Claims (6)
- 저면에 하부전극이 형성된 기판과,상기 기판상에 형성되는 활성층과,상기 활성층의 상부 및 하부에 각각 형성되는 상부 클래드층과 하부 클래드층과,상기 상부 클래드층에 부분적으로 전류를 공급하는 상부 전극을 갖춘 레이저 다이오드에 있어서,상기 활성층의 중앙부위에 역메사구조의 상부 클래드층이 형성되고,상기 활성층의 제한된 영역에 전류를 제한적으로 공급할 수 있도록 상기 상부 클래드층의 양측에 불순물이 도핑되지 않은 부도체용 전류차단층이 형성된 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드.
- 제1항에 있어서,상기 부도체용 전류 차단층은 GaAs로 구성하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드.
- 기판상에 하부 클래드층,활성층 및 전류차단층을 순차적으로 형성하는 단계;상기 전류차단층을 선택적으로 경사식각하여 상시 활성층의 중앙부위를 노출시키는 단계;상기 노출된 활성층의 중앙 부위에 선택적으로 상부 클래드층과 캡층을 성장시키는 단계;상기 캡층상의 중앙부위를 노출시키는 개구부를 갖는 절연층을 형성하는 단계;및 상기 개구부를 접촉하면서 상기 절연층상에 상부금속을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드의 제조방법.
- 제3항에 있어서,상기 활성층상에 식각 저지층을 형성하는 단계를 더 포함하여 상기 경사식각시 식각 저지 역할을 수행하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드의 제조방법.
- 제3항에 있어서,상기 전류 차단층은 불순물이 도핑되지 않은 GaAs로 형성하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드의 제조방법.
- 제3항에 있어서,상기 식각 저지층의 두께는 0.2~0.3㎛로 형성하며,상기 전류차단층의 두께는 2~2.5㎛로 형성하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드이 제조방법.※ 참고사항: 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940014832A KR960003003A (ko) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | 레이저 다이오드 및 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940014832A KR960003003A (ko) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | 레이저 다이오드 및 그 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960003003A true KR960003003A (ko) | 1996-01-26 |
Family
ID=66686388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940014832A KR960003003A (ko) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | 레이저 다이오드 및 그 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960003003A (ko) |
-
1994
- 1994-06-27 KR KR1019940014832A patent/KR960003003A/ko not_active Application Discontinuation
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