KR950020951A - 전자 빔 장치와 화상 형성 장치 - Google Patents

전자 빔 장치와 화상 형성 장치 Download PDF

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Abstract

대향 전극들 사이에 전자 방출 영역을 갖는 전자 방출 소자가 배치된 봉입부를 구비하는 전자 빔 장치에 있어서, 전자 방출 소자는 방출 전류가 소자 전압에 관련하여 특이하게 결정되는 특성을 나타낸다. 봉입부의 내부는 전자 방출 소자의 구조적 변화를 방지하기에 효과적인 가압하에 유지된다. 화상 형성 장치는 전자원 및 화상 형성 부재가 배치되는 봉입부를 구비하고, 전자원은 상기 전자 방출 소자를 구비한다. 방출 전류는 방출되는 전자의 양에 있어서 매우 적은 변화로 안정하고, 선명한 화상이 높은 콘트라스트로 발생되며, 계조 제어가 용이하게 달성될 수 있다.

Description

전자 빔 장치와 화상 형성 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제6도는 본 발명의 실시예에 따른 수직형 표면 전도형 전자 방출 소자의 개략도,
제10도는 본 발명의 실시예와 예(4)에 따른 화상 형성 장치의 개략도.

Claims (50)

  1. 대향 전극들 사이에 전자 방출 영역을 갖는 전자 방출 소자가 배치되어 있는 봉입부를 구비하는 전자 빔 장치에 있어서, 상기 전자 방출 소자는 방출 전류가 소자전압에 관련하여 특이하게(uniquely) 결정되는 것과 같은 특성을 나타내는 것으 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 전자 방출 소자는 방출 전류가 소자 전압에 관련하여 특이하게 결정되는 단조 증가 특성(monotonously increasing characteristic)을 나타내는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 전자 방출 소자는 방출 전류 및 소자 전류가 소자 전압에 관련하여 특이하게 결정되는 것과 특성을 나타내는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 전자 방출 소자는 방출 전류 및 소자 전류가 소자 전압에 관련하여 특이하게 결정되는 단조 증가 특성을 나타내는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 봉입부의 내부는 상기 전자 방출 소자의 구조적 변화를 방지하기에 효과적인 기압하에 유지되는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  6. 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 봉입부의 내부는 주 성분으로서 탄소를 포함하는 재료가 상기 전자 방출 소자에 침전되는 것을 방지하기에 효과적인 기압하에 유지되는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  7. 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 봉입부의 내부는 1×10-6Torr보다 높은 정도의 진공 기압하에 유지되는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 진공 진압은 1×10-8Torr보다 높은 정도에 있는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  9. 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 봉입부의 내부는 존재하는 탄소 화합물의 부분 압력이 1×10-8Torr 미만인 진고 기압하에 유지되는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  10. 제9항에 있어서, 존재하는 탄소 화합물의 상기부분 압력이 1×10-10Torr 미만인 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  11. 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서, 주 성분으로서 탄소를 포함하는 침전물이 상기 전자 방출 소자 상에 침전되는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  12. 제11항에 있어서, 주 성분으로서 탄소를 포함하는 상기 침전물이 흑연, 비정질 탄소 또는 이의 혼합물인 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  13. 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 전자 방출 소자는 복수로 배치되고, 복수의 전자 방출 소자의 각각은 입력 신호에 응답하여 전자를 방출하는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 장치는 각각의 행이 배선에 의해 병렬로 양 단부에 상호 연결된 복수의 전자 방출 소자를 포함하는 복수 행의 상기 전자 방출 소자와, 상기 전자 방출 소자로부터 방출된 전자 빔을 변조하기 위한 변조 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  15. 제13항에 있어서, 상기 복수의 전자 방출 소자는 어레이로 배열되고 X방향 배선의 m라인 및 Y방향 배선의 n라인에 연결되고, 상기 배선은 전기적으로 서로 절연된 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  16. 대향 전극들간에 전자 방출 영역을 갖는 전자 방출 소자가 배치되어 있는 봉입부를 구비하는 전자 빔 장치에 있어서, 상기 봉입부의 내부는 상기 전자 방출 소자의 구조적 변화를 방지하기에 효과적인 기압하에 유지되는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 봉입부의 내부는 주 성분으로서 탄소를 포함하는 재료가 상기 전자 방출 소자 상에 침전되는 것을 방지하기에 효과적인 기압하에 유지되는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  18. 제16항에 있어서, 상기 봉입부의 내부는 1×10-6Torr보다 높은 정도의 진공 기압하에 유지되는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 진공 기압은 1×10-8Torr보다 높은 정도에 있는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  20. 제16항에 있어서, 상기 봉입부의 내부는 존재하는 탄소 화합물의 부분 압력이 1×10-8Torr 미만인 진공 기압하에 유지되는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  21. 제20항에 있어서, 존재하는 탄소 화합물의 상기 부분 압력이 1×10-8Torr 미만인 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  22. 제16항 내지 제21항 중의 어느 한 항에 있어서, 주 성분으로서 탄소를 포함하는 침전물이 상기 전자 방출 소자 상에 침전되는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  23. 제22항에 있어서, 주 성분으로서 탄소를 포함하는 상기 침전물이 흑연, 비정질 탄소 또는 이의 혼합물인 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  24. 제16항 내지 제21항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 전자 방출 소자는 복수로 배치되고, 복수의 전자 방출 소자의 각각은 입력 신호에 응답하여 전자를 방출하는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  25. 제24항에 있어서, 상기 장치는 각각의 행이 배선에 의해 병렬로 양 단부에 상호 연결된 복수의 전자 방출 소자를 포함하는 복수 행의 상기 전자 방출 소자와, 상기 전자 방출 소자로부터 방출된 전자 빔을 변조하기 위한 변조 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  26. 제24항에 있어서, 상기 복수의 전자 방출 소자는 어레이로 배열되고 X방향 배선의 m라인 및 Y방향 배선의 n라인에 연결되고, 상기 배선은 전기적으로 서로 절연된 것을 특징으로 하는 전자 빔 장치.
  27. 전자원 및 화상 형성 부재가 배치된 봉입부를 구비하고, 입력 신호에 응답하여 화상을 발생하는 화성 형성 장치에 있어서, 상기 전자원은 대향 전극들 사이에 전자 방출 영역을 갖는 전자 방출 소자를 구비하고, 상기 전자 방출 소자는 방출 전류가 소자 전압에 관련하여 특이하게 결정되는 것과 같은 특성을 나타내는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  28. 제27항에 있어서, 상기 전자 방출 소자는 방출 전류가 소자 전압에 관련하여 특이하게 결정되는 단조 증가 특성을 나타내는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  29. 제27항에 있어서, 상기 전자 방출 소자는 방출 전류 및 소자 전류가 소자 전압에 관련하여 특이하게 결정되는 것과 같은 특성을 나타내는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  30. 제27항에 있어서, 상기 전자 방출 소자는 방출 전류 및 소자 전류가 소자 전압에 관련하여 특이하게 결정되는 단조 증가 특성을 나타내는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  31. 제27항 내지 제30항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 봉입부의 내부는 상기 전자 방출 소자의 구조적 변화를 방지하기에 효과적인 기압하에 유지되는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  32. 제27항 내지 제30항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 봉입부의 내부는 주 성분으로서 탄소를 포함하는 재료가 상기 전자 방출 소자 상에 침전되는 것을 방지하기에 효과적인 기압하에 유지되는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  33. 제27항 내지 제30항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 봉입부의 내부는 1×10-6Torr보다 높은 정도의 진공 기압하에 유지되는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  34. 제33항에 있어서, 상기 진공 기압은 1×10-8Torr보다 높은 정도에 있는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  35. 제27항 내지 제30항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 봉입부의 내부는 조재하는 탄소 화합물의 부분 압력이 1×10-8Torr 미만인 진공 기압하에 유지되는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  36. 제35항에 있어서, 존재하는 탄소 화합물의 상기 부분 압력이 1×10-10Torr 미만인 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  37. 제27항 내지 제30항 중의 어느 한 항에 있어서, 주 성분으로서 탄소를 포함하는 침전물이 상기 전자 방출 소자 상에 침전되는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  38. 제37항에 있어서, 주 성분으로서 탄소를 포함하는 상기 침전물이 흑연, 비정질 탄소 또는 이의 혼합물인 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  39. 제27항 내지 제30항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 장치는 행이 배선에 의해 병렬로 양 단부에 상호 연결된 복수의 전자 방출 소자를 포함하는 복수행의 상기 전자 방출 소자와, 상기 전자 방출 소자로부터 방출된 전자빔을 변조하기 위한 변조 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  40. 제27항 내지 제30항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 장치는 어레이로 배열되고 X방향 배선의 m라인 및 Y방향 배선의 n라인에 연결된 복수인 상기 전자 방출 소자를 구비하고, 상기 배선은 전기적으로 서로 절연되어 있는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  41. 전자원 및 화상 형성 부재가 배치된 봉입부를 구비하고, 입력 신호에 응답하여 화상을 발생하는 화성 형성 장치에 있어서, 상기 전자원은 대향 전극들 사이에 전자 방출 영역을 갖는 전자 방출 소자를 구비하고, 상기 봉입부의 내부는 상기 전자 방출 소자의 구조적 변화를 방지하기에 효과적인 기압하에 유지되는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  42. 제41항에 있어서, 상기 봉입부의 내부는 주 성분으로서 탄소를 포함하는 재료가 상기 전자 방출 소자에 침전되는 것을 방지하기에 효과적인 기압하에 유지되는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  43. 제42항에 있어서, 상기 봉입부의 내부는 1×10-6Torr보다 높은 정도의 진공 기압하에 유지되는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  44. 제43항에 있어서, 상기 진공 기압은 1×10-8Torr보다 높은 정도에 있는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  45. 제41항에 있어서, 상기 봉입부의 내부는 존재하는 탄소 화합물의 부분 압력이 1×10-8Torr 미만인 진공 기압하에 유지되는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  46. 제45항에 있어서, 존재하는 탄소 화합물의 상기 부분 압력이 1×1010Torr 미만인 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  47. 제41항 내지 제46항 중의 어느 한 항에 있어서, 주 성분으로 탄소를 포함하는 침전물이 상기 전자 방출 소자 상에 침전되는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  48. 제47항에 있어서, 주 성분으로서 탄소를 포함하는 상기 침전물이 흑연, 비정질 탄소 또는 이의 혼합물인 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  49. 제41항 내지 제46항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 장치는 각각의 행이 배선에 의해 병렬로 양 단부에 상호 연결된 복수의 전자 방출 소자를 포함하는 복수행의 상기 전자 방출 소자와, 상기 전자 방출 소자로부터 방출된 전자 빔을 변조하기 위한 변조 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
  50. 제41항 내지 제46항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 전자 방출 소자는 어레이로 배열되고 X방향 배선의 m라인 및 Y방향 배선의 n라인에 연결되고, 상기 배선은 전기적으로 서로 절연되어 있는 것을 특징으로 하는 화상 형성 장치.
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